错位场干涉仪的制作方法

文档序号:93242阅读:434来源:国知局
专利名称:错位场干涉仪的制作方法
本发明提出的领域,属技术光学领域。
现有的干涉仪,普遍采用的结构原理是用平板玻璃的一个镀半透半反膜的端面作分束器,以分振幅的方法将一束入射光分裂成两束光,其中的一束光是干涉仪的基准光,另一束光通过被检测的物场使波面发生畸变,则这个畸变正好记录了物场的结构特征;然后,再将这束畸变的物光与基准光相干叠加,则干涉条纹就反映了波面畸变的特征。因而也反映了物场的结构特征。现有干涉仪的典型结构,以迈光尔逊干涉仪为代表。这些干涉仪对于不清晰的物场,没有增强象的反衬度的功能。
本发明的目的,在于提出一种能增强图象结构特征识别的干涉仪。它可以使轮廓线不清晰的物场和模糊不清的图象,经干涉仪的光学信息处理后,使它的结构特征比较清楚地显示出来。
本发明的光学结构原理,如图所示。其中的〔1〕为相干光源;〔2〕为准直透镜;〔3〕为物场,P-P为它的基准+线;〔4〕为物镜;〔5〕为半透半反膜,它镀在平面平行玻璃板的一个端面上;〔6〕是屋脊,它由平面反射镜M1和M1′所组成;〔7〕也是屋脊,它由平面反射镜M2和M′2所组成;〔8〕是调焦+线。屋脊〔7〕作为整体,它可以沿箭头A-A方向平移;其中的反射镜M2′,又可以沿箭头B-B方向平移。
将屋脊〔7〕沿A-A移动到适当位置,便可使P-P上的+线对物镜〔4〕所成之象经干涉仪的两屋脊(即两臂)反射后沿光轴方向重合;再将反射镜M2′沿B-B移动到适当位置,便可使上述两个+线的象完全重合;然后适当移动Q-Q,使其上的+线与P-P的象重合。这是干涉仪工作时的起始状态。
设物场的光扰动复振幅分布为O(x,y,z),其中z为光轴方向;它对物镜〔4〕所成之象经干涉仪两臂反射后的光扰动复振幅分布为O1′(x′,y′,z′)和O2′(x′,y′,z′)。设在起始状态,有O1′(x′,y′,z′)=O2′(x′,y′,z′)=O′(x′,y′,z′)如果将屋脊〔7〕沿A-A方向平移,则两臂所反射的象场将在z轴方向产生错位。若记错位量为Δz′,则复合象场为O′(x′,y′,z′)+O′(x′,y′,z′+Δz′)上式表明,此时的象场为沿z′轴方向的梯度场。
如果对起始状态的干涉仪,将M2′沿B-B方向平移,则两臂所反射的象场将在x轴方向产生错位,若记错位量为Δx′,则复合象场为O′(x′,y′,z′)+O′(x′+Δx′,y′,z′)上式表明,此时的象场为沿x′轴方向的梯度场。因为物镜的成象具有迴转对称特性,所以只要将物场或干涉仪绕光轴旋转90°,即得沿y′轴方向的梯度场。
由此可见,本发明可以显示任意方向上的错位复合象场,亦即本发明可以显示任意方向上的梯度场。遮断任意一臂上的光路,梯度场即还原成普通的象场。将象场与梯度场作比较,对辨认精细结构是有利的。
图中所给出的物体,是透明体。对于不透明的物场,照明方式为漫反射照明。
附图为本发明的结构图。
附图中的〔1〕是相干光源、〔2〕是准直透镜、〔3〕是物场、〔4〕是物镜、〔5〕是半透半反膜、〔6〕是屋脊、〔7〕是整体屋脊、〔8〕是调焦+线。
权利要求
1.一种用分振幅的方法将一束入射光波分裂成两束,这两束光通过两臂后又重新会合而相干叠加的干涉仪,其特征是实施分振幅的这一束光系为被相干光源照明的工作区对物镜成象后的象方光束。
2.权项1所说的干涉仪,其特征是两臂上的反射镜是两个均由两块按90°的二面角放置的平面反射镜所组成的屋脊,两屋脊的稜线均与干涉仪之分束器的分光膜平面平行,且两屋脊中的反射镜各有一块与干涉仪之分束器的分光膜平面平行。
专利摘要
本发明提出的错位场干涉仪,属技术光学领域。其结构原理如图所示。其特点是从干涉仪两臂射出来重新会合相干叠加的两光波,都是同一物场的象;适当移动有关零件,可以获得两个沿任意方向在空间上有微量错位的象场。这两个错位象场相干叠加的结果,就是沿错位方向的梯度场。它能使不清晰的物场变得比较清晰,使模糊的轮廓显示得更加分明。
文档编号G01B9/02GK85105776SQ85105776
公开日1987年2月4日 申请日期1985年7月31日
发明者王其祥 申请人:华东工学院导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan
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