电容式气压传感器的制作方法

文档序号:6132839阅读:352来源:国知局
专利名称:电容式气压传感器的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电容式气压传感器,特别是一种外电容式气压传感器,适用于气象及航空领域中地面至30公里高度范围内的大气压力、飞行高度等参数的测量。
目前在气象和航空领域中测量地面至30公里高度范围内的大气压力和飞行高度所用的电容式气压传感器,其平板电容均做在真空膜盒内,对其元件波纹膜片的致性要求高,调试困难,成品率较低。
本实用新型的目的就是为了提高成品率,提供一种结构简单、灵敏度高、对元件的一致性要求不高、易于调试的电容式气压传感器。
本实用新型的目的是这样实现的将组成平板电容的动片做在真空膜盒外,再罩上一个在壳底印有定片的绝缘外壳,组成一组平板电容,这样既调试方便,也不必苛求波膜纹膜片的高度一致性,制造工艺简便,成品率提高,且在气压愈低时平板电容的定片与动片之间的距离愈小,测量灵敏度愈高,尤其适用于高空测量。
现结合附图对本实用新型一实施例进行进一步说明

图1为本实用新型纵截面的结构剖视图。
由图可知,本实用新型包括有定片1、动片2、真空膜盒3和绝缘外壳4、螺杆5。
首先用陶瓷材料制作一个圆柱形的绝缘外壳4,在壳底内印制出银合金定片1,再用两片铜质波纹膜片密封焊接成真空膜盒3,并将其中心部位与铜质动片2的中心突出处进行焊接,还要将真空膜盒3的另一面的中心部位与螺杆5进行焊接,最后将螺杆5旋入陶瓷绝缘外壳4的顶盖中心,使得绝缘外壳顶盖与壳体结合成一体,定片1与动片2即组成一组平板电容,本实用新型便得以完成。由于组成平板电容的定片1和动片2位于真空膜盒3的外部,调试十分方便,故对元件的一致性要求不高,成品率大大提高。此外本实用新型随着气压的降低,其电容量变化愈来愈大,灵敏度愈来愈高(在150-10pha范围内,其灵敏度小于8.75hpa-0.1pf),所以特别适用于高空测量。
本实用新型的绝缘外壳4还可用塑料制成。
权利要求1.一种电容式气压传感器,包括有定片1、动片2、真空膜盒3,其特征在于还包括有一个绝缘外壳4,所述的真空膜盒3由两片金属波纹膜片密封焊接而成,其一面的中心部位与动片2的中心突出部位相焊接,另一面的中心部位焊有螺杆5的一端,另一端旋入绝缘外壳4的顶盖中心,而绝缘外壳4的壳底印制有金属定片1,它与动片2组成平板电容,且绝缘外壳4的顶盖与壳体结合成一体。
专利摘要本实用新型涉及一种外电容式气压传感器,其主要特征是在一个绝缘外壳的壳底印制有定片,真空膜盒一面的中心突出部位与动片焊接,其另一面的中心部位焊有螺杆,该螺杆另一端旋在绝缘外壳的顶盖中心,定片与动片组成平板电容且位于真空膜盒的外部,故调试十分方便,对波纹膜片的一致性要求不高,制造工艺简便,成品率高。本实用新型随着气压的降低其电容量变化愈来愈大,灵敏度愈来愈高,故特别适用于气象和航空领域中高空测量大气压力和飞行高度。
文档编号G01L23/10GK2280285SQ9623080
公开日1998年4月29日 申请日期1996年9月28日 优先权日1996年9月28日
发明者苏守义 申请人:上海无线电二十三厂
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