专利名称：一种湿度传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种湿度传感器，特别是一种利用固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器测氧原理制作的、能在温度不大于250℃环境中测量气体中水分含量的湿度传感器。
在许多用干燥气体进行保护的工业生产或材料贮运过程中，监测这些气体中的水分含量至关重要。在湿度测量领域，应用各种材料，采用各种原理制作的湿度传感器很多。如氧化铝湿度传感器(CN2129414Y)，陶瓷湿度传感器(CN2168250Y)，高分子湿敏元件(CN2101237U)，复合型湿度传感器湿敏元件(CN11777102A)，热敏电阻湿度传感器(CN1142263A)等利用感湿材料对水分子的物理吸附现象实现对湿度的测量，当环境度大于100℃时，上述各种传感器感湿材料对水分子的吸附量将变得非常少(接近物理吸附极限值)，因此，当环境温度大于100℃时，上述各类湿度传感器均不能对环境中的湿度进行测量。热传导式传感器(CN1142263A)因不能吸收水分，因此其长期稳定性好，但是，热敏电阻在温度100℃～150℃范围内时的输出电压与湿度无关，所以它也不能在100℃以上实现对气体中湿度的测量。
本实用新型的目的是提供一种既可在低于100℃环境下测量气体中的湿度，同时能在100℃～250℃环境下测量气体中湿度的湿度传感器。
本实用新型的构造特点是将两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器组合在一起，具体可通过以下制作过程来实现先用模具成形制作氧化锆薄片1，将氧化锆薄片1放在高温烧结炉中烧结，在薄片1上制作一个扩散孔2，然后在薄片两侧印刷电极3、电极4，将两个上述具有扩散孔与电极的氧化锆薄片上的电极4用同一盖件5覆盖，并将盖件5与两个电极4所在的氧化锆薄片分别通过玻璃釉质6密封粘接。在盖件5与电极4之间形成扩散室7，扩散室通过氧化锆薄片上的扩散孔与外界相通。
本实用新型利用固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器的测氧原理进行湿度测量。
图1为所述氧传感器的工作原理图，该氧传感器包括固体电解质氧化锆薄片1，在薄片1两侧印刷有电极3、电极4、薄片1中央有扩散孔2。盖件5将电极4包覆，且在电极4与盖件5之间形成扩散室7。如图1所示，在电极3、4之间施加电压V，在固体电解质氧化锆薄片加热到350℃以上时，在电极3、4(其中电极3为阳极，电极4为阴极)上发生如下反应阴极……………………(1)阳极O2-→12O2+2e-……………………(2)]]>上述反应的表现形式是在回路上产生电流I，在干燥空气中，当电压V继续增加到V1时，电流I不再随电压V增加而增加，而是成一稳定电流值I0，然而当电压V继续增大超过V2时，电流I从I0续增大，这一现象如图2所示电流—电压特性就是固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器工作原理特性图。电流I是氧离子的流动而形成的，不同氧浓度的I0值都不一样，按照这个特性，通过测I0值即可计算得到气体中氧浓度值。
在空气中有水蒸气时，科研人员将前述电压V值增大到V3时，电流I出现了第一个稳定值I1，直至将电压增大至V4电流值I从I1继续变化，当电压继续增大到V5时，电流I出现第二个稳定值I2，直到电压增加到V6时，电流I从I2继续变化，如图3所示，这一现象的微观机理如下阴极……………………(1)…………………(3)阳极O2-→12O2+2e-………………………(2)]]>此时的I值同样是由于氧离子的流动形成的，只是此时氧离子来源于气体O2和H2O中被电分解的氧离子之和。
权利要求1.一种湿度传感器其特征在于它包括两个氧化锆薄片1，在氧化锆薄片1中央有一个扩散孔2，同时氧化锆薄片1两侧分别印刷有电极3、4，将此两个氧化锆1通过玻璃釉质6与盖件5分别粘接，在两个氧化锆薄片1与盖件5之间分别形成扩散室7。
2.如权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于其中所述的两个氧化锆薄片1对称粘接于盖件5两侧，且在两侧分别形成相同的扩散室7。
3.如权利要求1所述的湿度传感器，其特征在于其中所述的两个氧化锆薄片1对称粘接于盖件5同侧，且在同侧形成两个相同的扩散室7。
专利摘要一种能在高温(≤250℃)状态下测定气体中湿度的湿度传感器,包括两个氧化锆薄片,薄片中央有一个扩散孔,薄片两侧印刷有第一电极、第二电极,两个薄片上的第二电极被同一盖件覆盖且在两个第二电极与盖件间分别形成各自的扩散室。该湿度传感器的优点是可在250℃以下温度范围内测量气体中的湿度。
文档编号G01N27/12GK2375963SQ9923079
公开日2000年4月26日 申请日期1999年1月20日 优先权日1999年1月20日
发明者张益康, 杨邦朝 申请人:康达(成都)电子有限公司