专利名称：无基片高分子薄膜湿敏元件的制作方法
技术领域：
本实用新型属于传感器领域中的湿敏元件，特别是通过元件电容变化测定气氛湿度的湿敏元件。
高分子薄膜电容式湿敏元件，是以高分子为介电质的平板电容器，分为有基片和无基片两种。有基片的一种，其结构是在绝缘基片上淀积与刻蚀出金属下电极，下电极上面涂高分子感湿膜，感湿膜上面再淀积一层极薄的透湿上电极而形成的湿敏元件。这种湿敏元件制作时，要刻蚀下电极图形，有的还刻蚀感湿膜，还有的上电极也要刻蚀。采用光刻工序，一是要增加设备，二是操作水平要求较高，如果工艺条件控制不好，成品率就会大大下降。有基片湿敏元件，响应速度较快，适用于气象高空探测及要求响应速度快的场合。无基片的一种，其结构是在高分子感湿膜的两面直接蒸镀或溅射透湿电极而形成的湿敏元件。这种湿敏元件制作时不用光刻工序，制作简单易行、成品率较高。无基片湿敏元件，响应速度比有基片湿敏元件稍慢些，但也可以满足一般应用的要求，例如空调方面的应用或者某些控制系统上的应用。无基片湿敏元件在生产中，主要难点在于其引线与透湿电极如何连接的问题。现有技术中，无基片湿敏元件的引线连接有两种结构。一种是靠两片能互相卡紧的塑料片所形成的保护罩，将引脚压在感湿膜透湿电极的引出部分上。这种结构，特制的引脚制作的很壮实，保护罩引脚固定槽难以保证引脚一点不动，在焊接时搬动引脚或安装碰了保护罩，都会改变引脚与透湿电极的接触状况，输出容量便会有变化，存在接触不良的缺点。例如美国一家公司生产的GEI-Cap湿敏元件就属于这种结构。另一种是用带有引脚的多触点弹簧片压在透湿电极上，并将其固定在两片互相卡紧的保护罩内。这种结构引脚又做的较薄弱，弹簧片触点直接压在感湿膜的有效面积上，电极与引脚连接仍属接触式，仍有触点接触不良的缺点。例如，荷兰一家公司生产的H1型湿敏元件就属于这种结构。
为了克服上述现有技术中存在的缺点，本实用新型的发明目的是提供一种触点接触好、测量可靠性高的无基片高分子薄膜湿敏元件。
为了达到上述的发明目的，本实用新型的技术方案以如下方式实现无基片高分子薄膜湿敏元件，它包括高分子感湿膜及在其两背面利用掩模蒸镀或溅射方法形成的透湿电极。其结构特点是，将带透湿电极的感湿膜置在带引脚沟槽的保护罩内，引脚沟槽里压嵌有引脚，由导电胶将各引脚与感湿膜上透湿电极的引出部分粘结，保护罩背面设有可插嵌在其内的后盖。
按照上述的技术方案，所述的高分子感湿膜是采用纤维素类、聚酰亚胺类或其它高分子材料以及它们不同类别之间或者同类的不同品种之间按不同比例混合的高分子材料中的任意一种；所述的导电胶包括任何种类的导电胶。
由于本实用新型利用导电胶将引脚与感湿膜的透湿电极粘结，引脚又被嵌装在引脚沟槽内，因而使原接触式导电变为一体化导电。同现有技术相比，大大改变了导电状况，提高了测量的可靠性。有广泛推广的使用价值和广阔的市场前景。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步的描述。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的A-A向结构剖面示意图。
参看图1和图2，无基片高分子薄膜湿敏元件，包括利用纤维素类、聚酰亚胺类或其它高分子材料以及它们不同类别之间或者同类的不同品种之间按不同比例混合的高分子材料中的任意一种制成感湿膜1，在感湿膜1的两背面利用掩模蒸镀或者溅射方法形成两个很薄的透湿电极2，在保护罩6内所设的一个引脚沟槽5里，先压嵌上一个引脚3，并在引脚3上涂导电胶4，将带透湿电极2的感湿膜1放在保护罩6里，使透湿电极2的引出部分与引脚3粘结。在另一个引脚3上再涂上导电胶4，压嵌在另一沟槽5里，将其与感湿膜电极2另一引出部分粘结。然后，用塑料片8将各引脚与电极粘结部分固定，最后将后盖7插嵌并封装在保护罩6的背面。上述所使用的导电胶4可以是任何种类的导电胶。
权利要求1.一种无基片高分子薄膜湿敏元件，它包括高分子感湿膜(1)及其在感湿膜(1)两背面利用掩模蒸镀或溅射方法形成的透湿电极(2)，其特征在于将带透湿电极(2)的感湿膜(1)置在带引脚沟槽的保护罩(6)内，引脚沟槽(5)里压嵌有引脚(3)，由导电胶(4)将各引脚(3)与感湿膜(1)上的透湿电极(2)粘结，保护罩(6)背面设有可插嵌在其内的后盖(7)。
2.按照权利要求1所述的无基片高分子薄膜湿敏元件，其特征在于所述各引脚(3)与透湿电极(2)粘结部分用所设塑料片(8)或其它方式固定。
3.按照权利要求1或2所述的无基片高分子薄膜湿敏元件，其特征在于所述高分子感湿膜(1)是采用纤维素类、聚酰亚胺类或其它高分子材料以及它们不同类别之间或者同类的不同品种之间按不同比例混合的高分子材料中的任意一种。
4.按照权利要求3所述的无基片高分子薄膜湿敏元件，其特征在于所述导电胶(4)包括任何种类的导电胶。
专利摘要一种无基片高分子薄膜湿敏元件,包括感湿膜及其两背面的透湿电极。其结构特点是,将带透湿电极的感湿膜置在带引脚沟槽的保护罩内,引脚沟槽里压嵌有引脚,由导电胶将各引脚与感湿膜上的透湿电极引出部分粘结,再用塑料片将引脚固定。本实用新型同现有技术相比,使接触式导电变为一体化导电,大大改变了导电状况,提高了测量的可靠性。适用于空调或者某些控制系统通过元件电容变化测定气氛的湿度,有广泛推广使用的价值。
文档编号G01N27/22GK2393097SQ9924866
公开日2000年8月23日 申请日期1999年9月28日 优先权日1999年9月28日
发明者郝光宗, 邢丽缘, 梁强威 申请人:清华同方股份有限公司