专利名称:流量传感器的制作方法
本发明涉及流体流量传感器，特别是，但不仅仅是，涉及液压控制中所用的流量传感器。
在英国书第1335041号中公开了一种配备有一个提供液压反馈用的流量传感器的流压致动控制。在某些情况下，流量传感器包括一段滑阀或筒管，这种滑阀或筒管可以在仿形喉道里活动，以产生所需的流量传感，在一种实施例中，将筒管的两端加工成一定形状，并受到弹簧的作用，其喉道是普通的圆筒，即不是仿形的。已经发现仿形喉道的使用是比较花钱的，因为所需的机械加工操作不完全是直截了当的。此外，如果要改变流量传感器的特性，就需要提供一种有不同剖面的喉道，从而要改变传感器整个壳体。虽然，这曾经是优选的过程，而不是使用形状经过加工的筒管，因为后者是比较长的。而流量传感器又常常需要装在空间很宝贵的地方。此外，在先前这种安排中，使用来自流量传感器的液压反馈不允许对系统的增益作任何调整，而使用电的反馈时是可以影响该系统的增益的。
本发明提供的流量传感器包括一个壳体、至少一个流体的入口和一个流体的出口、以及一个滑阀，该壳体与一个通孔一起组成，该入口和出口容许来往于传感器的流体流入和流出，该滑阀可以滑动地装在通孔里，且具有至少一个形状加工过的端部，通过此端部使流体从入口流到出口，该滑阀也具有装在其内部并顶在两个隔开的支座之间的弹性装置，这两个支座是这样连到滑阀内部的，即它们在阀内与滑阀朝同一方向移动，但它们沿滑阀移动的相反方向滑动，当没有流体流动时，滑阀要装在滑阀零位处封闭出口的地方，而当有流体流动时，滑阀要移动克服弹性装置的作用以打开出口，移动的程度代表流体的流率，且要被与短管相联的传感装置检测得以提供也代表流体流量的输出信号。
流量传感器可以是单向的，也可以是双向的，在后一情况下，将滑阀的两端部按弹性装置仿形，弹性装置用来将短管推到零位而不管其先前移动的方向如何。弹性装置最好以螺旋压缩弹簧的形式装在两个支座之间，弹簧可以装在一根杆上，其一端可调地装进流量传感器的壳体里，而且延伸在滑阀里，支座则要装在杆上，使得其距离保持最大，但随短管的移动而减少。
传感滑阀移动的装置例如可以是一个线性可变差接变压器(LVDT)、一个压力换能器或者一个电位计，以提供代表流体流动的电输出信号，而且这种信号在装有流量传感器的控制仪器中可以用作反馈信号。
一个小的固定的量孔可以用来提供传感器入口和出口间的永久泄漏或旁路连接。其优点在于，即使在非常低的流率下，固定量孔两端的压力降也变得相当高，因而引起滑阀移动(反过来又产生一个代表流量的输出)。故即使在低流率下也可产生反馈信号，这是一个明显的优点。显然，固定量孔的尺寸是可以变化的以改变传感器的特性，在这方面，发现使用可变的量孔是特别有利的。
此外，固定或可变的量孔可以和叠接的传感器滑阀一起使用，虽然需要时也可以使用零搭接。
根据本发明的流量传感器有许多用途，例如，在入口节流/出口节流系统或在溢流调节系统(可以用在电梯或升降机控制系统)中用作反馈元件。
现要通过实例参考附图来较详细地叙述本发明的双向流量传感器，这些附图是图1是体现流量传感器以横剖面示出的一个实施例的液压管路，
图2是图1在线Ⅱ-Ⅱ上的剖面，图3是本发明另一个实施例的横剖面图，图4是图3在线Ⅳ-Ⅳ上的剖面，图5至10是有助于讨论图1和3流量传感器性能的曲线图(有些是综合的)，图11是再一个实施例横剖面图，图12和13是分别与图9和10相似的曲线图。
图14是一个可以结合进图1、3和11的流量传感器的最佳配置的放大片断，图15是图14的最佳配置的校准和测试设备的管路图，图16是有助于解释图15的校准和测试设备的曲线图，以及图17、18和19说明本发明流量传感器的应用。
首先参考图1和2，整个流量传感器图1表示，为清晰起见，将它相对于与之相关的电磁四通控制阀2和双作用液压致动器3加以放大。流量传感器1包括一个矩形横截面的壳体4，该壳体4上有一中心通孔5和二个从壳体4相对侧钻得的并偏离通孔5轴线的侧孔6和7，这两侧孔从壳体的外侧伸至通孔5，以便根据流体流动的方向(请记住传感器是双向的)提供流体的入口或流体的出口。一滑阀或筒管8可滑动地装在通孔5中，图1中示其处于零位，这适用于没有流体流过器件的情况。在滑阀8的零位处，在通孔5上，滑阀8的主体封成了两个环形阀口9和11，阀口9可通过一个与控制孔平行伸展的并从入口/出口6伸展至另一个与阀口9相通的并在传感器壳体4的外部17处被塞住的孔16的钻孔15与入口/出口6连接，环形阀口11可通过与钻孔15和16相似的钻孔12和13连接到入口/出口7，钻孔13被在14处塞死，被在21处塞住的并与钻孔22互通的另一个钻孔19的一端有一个固定的旁路或泄漏量孔18，钻孔22又与钻孔13互通，从而与入口/出口7互通。在与入口/出口6接通的通孔5的端部有一泄漏量孔18，通过它使两个入口/出口6、7持久相通。流量传感器1的壳体4有两个端盖23和24，它们分别以密封方式封盖通孔5的端部。
滑阀8呈中空圆筒状，它有一通孔25，其中装有呈压缩对中弹簧26状的弹性装置，弹簧26装在两个隔开的可滑动地装在杆29上的支座27和28之间并对其施加压力，杆29轴向地伸进滑阀8里，其一端用调整装置31可调地装在端盖23中。支座27和28分别被一个穿过杆29的销钉32和杆29上的台肩33置在最大的间距。支座27和28被各自的簧环34连接到滑阀8。如图1所见到的，滑阀8的左端部被一圆盘35封盖，圆盘35被连到装在端盖24上的LVDT37的致动杆36上。滑阀8的两端在38处被斜削。
现考虑图1的液压控制总安排，加压的流体被允许进入管道39上的控制阀2，并由后者根据控制阀2的置位，或引导到入口6，从而通过流量传感器1经出口7至致动器3的环状端部，或是引导到致动器3的整个端部，从而使流体从环状端部流至流量传感器1的入口7，通过传感器至出口6，并因而经阀2至贮罐。在流量传感器1的滑阀在图1的零位，且控制阀2置在引导加压流体进入新的入口6的情况下，流量传感器的运作如下当加压流体通过入口/出口6进入由通孔5所形成的流量传感器的端室10时，如图1所见，当滑阀8的两端所形成的压力差一旦足于克服弹簧26的预载，滑阀8就向右边移动，由于滑阀8移向右边，支座27随之移动，但支座28因杆29上的台肩33而保持静止，因而在支座28和滑阀通孔25之间发生相对滑动运动。由于滑阀的这种方式的移动，阀口11因滑阀左侧上的锥部38而逐渐打开，流体流量愈大，滑阀的动程也愈大，从而使阀口11的开口也愈大。阀口9保持封闭，但流体经钻孔13和12流至现已打开的出口7，因而流至致动器3的一端以使之移动。如果流率减少，滑阀会因弹簧26的作用而移向左边，流动停止时，滑阀回到零位。滑阀8的运动被传到LVDT37的致动杆36，因而由后者产生一个代表短管运动从而代表流体流量的电输出信号。就如常规做法一样，该输出信号被用作反馈信号，并将它加到代数相加接点41，管道40上的请求信号也加到接点41，这两个信号间的差值提供一个误差信号，它经一激励放大器42而加到控制阀2的控制阀2的控制电磁线圈，于是控制到致动器3的流量。
现转到图3和4，图示流量传感器1的另一个实施例，其中相同的元件有相同的参考号码。这个实施例基本上和图1的相似，其间差别在于阀口9和11与入口/出口6和7间有互连装置。在这个实施例中，入口/出口6和7都是侧向的钻孔(与图1顶部和底部钻孔相反)，而且这些钻孔分别与配备在控制孔5与两端的端室43和44连接。这些端室43和44，经过传感器壳体4的各自切去部分45和46，与配置在流量传感器壳体4里的并平行于控制孔5伸展的各对盲孔47和48相通。其中一对盲孔47和另一对盲孔48经传感器壳体4另外的切去部分49和51与阀口9和阀口11相连接。
滑阀8的内部配置与图1的相同，流量传感器1的运作也照旧。但图3的实施例优于图1，理由如下(ⅰ)侧旁的入口/出口6、7使传感器可以用于夹心结构，例如用在阀门和安装表面之间。
(ⅱ)在入口和出口间的流动路径的横截面积增加的同时，传感器的总的外部尺寸保持不变，故可减少压力损失，从而提高系统的效率而不须增加传感器的尺寸。
(ⅲ)因钻孔是比较截了当的，故制造传感器的壳体是比较容易和比较便宜的，而省去图1的管塞14和17。
在图1和图3的入口节流/出口节流系统中，能源可以是一个固定的或压力补偿可变排量泵，而且系统既能控制反向负载也能控制辅助负载。
应该注意，图1和3展示的滑阀8关于计量边缘52实际上无搭接，但一般将使用叠接的滑阀，它连同固定的量孔18有助于低流量的工作特性，这可将从图5至10得以理解。
现转到图5至10，这些图是解释图1和3实施例操作特性的各种曲线图。首先看图5，这是流量(Q)(以每分升为单位)对滑阀8沿底部行程Y(以毫米为单位)和对沿顶部压力降(△P)(以巴为单位)的曲线图。曲线是根据滑阀相对于与滑阀8端部有关的测量边缘52在各边上搭接-2毫米(关于一个叠接)(即总共-4毫米)而得到的。曲线53按图1实施例，而曲线54是按图3实施例的流量(Q)对压力降(△P)作出的曲线。曲线55是流量对滑阀8的动程即行程Y作出的曲线。必须注意，锥部38在滑阀8各端的角α是16.7°。例如，可以看出，对于曲线55(对于图1和图3实施例)而言，流量是每分300升时，滑阀行程Y约为8.9毫米，对于曲线53(图1实施例)有16.5巴的压力降，而对于曲线54(图3实施例)有13.4巴的压力降。故图3实施例对某一已知流率呈现较低的压力降，而由于流量路径有较大的横截面积(如前面已经讨论过的)，故较图1实施例有较高的效率。
图6是图5的曲线55第一部分的放大，但展示出制造公差关于滑阀8和通孔5间的径向间隙t和关于搭接条件u的影响。图中示出关于径向间隙t＝0.0127毫米的三个搭接条件和示出t＝0.0025毫米的一个搭接条件。图7图示的曲线基本上一般相应于图8的曲线55，但使用压力换能器而不是LVDT37，图中的曲线50是由图1实施例得到的，而曲线60是由图3实施例得到的。图8是根据滑阀8和通孔5间两个不同径向间隙t得到的图10曲线50、60第一部分放大图。
图9表示图3实施例得到的四条曲线，曲线80和81是分别以α＝16.7°和8°的不同的两个滑阀端部锥形38，以及分别以D＝2.6厘米和2.9厘米的滑阀端部直径得到的压力降△P对流量Q的曲线。曲线82和83(其α和D1值分别和曲线80和81的相同)是流量Q对滑阀行程Y的曲线。从曲线82和83可以看出，对于每分150升的流量Q，α＝8°和D1＝2.9厘米来说，滑阀行程为10.65毫米，而对于α＝16.7°和D1＝2.6厘米来说，行程为7.8毫米。故滑阀8端部上的锥体38愈大，传感器的灵敏度就愈低。但在观察曲线80和81时，仍然就每分钟150升的流量而论，对于α＝8°和D1＝2.9厘米，压降为14.8巴，而对于α＝16.7°和D1＝2.6厘米，压降为10.6巴。故滑阀锥体38愈大，传感器因较低的压降而有较高的效率。因此，在灵敏度和效率间存在着一个折衷方案。注意曲线82和83，叠接U已经从2毫米增加到4毫米。
图10是用于图9曲线82和83的放大图，并展示使用较小的固定量孔α0、0.23毫米的直径d0和粘度v＝15厘沱的流体时对滑阀8和通孔5间三个不同径向间隙t得到的结果。故为了要减少径向间隙t对传感器灵敏度的影响，最好使t保持尽可能地小，但实际上不大于t＝0.00635毫米。
图5至图10的曲线附有解释传感器工作特性的某些参数。所讨论的参数定义如下D＝传感器壳体4中的通孔5的直径。
D1＝滑阀8锥体外端部的直径。
D2＝滑阀8的通孔直径25。
α＝滑阀8两端的锥体38的角度t＝滑阀8和通孔5之间的径向间隙。
u＝在叠接表示为负搭接时，滑阀8相对于测量边缘52的搭接条件。
F＝弹簧26的预载。
S＝弹簧26的弹簧刚度。
d＝钻孔12和15的直径。
do＝固定量孔18的直径。
ao＝固定量孔18的横截面积。
V＝液压流体的粘度。
在图1和3的实施例中，圆盘35是带孔的，故作用在滑阀上的使滑阀克服弹簧作用移动的压力差是由通孔5和25的横截面积差提供的。支座27和28以及连带的簧环34用以防止任何流体的主流通过滑阀中心，而会出现通过滑阀中心的某些泄漏，低流率时这样就会不利地影响阀门的流动特性。因而，在图11的实施例中，将圆盘35作为滑阀8的一部分，或在该处将之密封，并在支座27和28中设置小孔90，可以克服这种缺点。这样一来，压力差的有效面积就是通孔5的整个横截面积，即滑阀8的横截面积。这是因为孔口6是入口，故加压的流体将作用在滑阀8的整个左侧端部上，而且如孔口7是入口，加压的流体将作用在滑阀8的环形右侧端部上和作用在圆盘的全部内表面上，流体是通过支座小孔90到达圆盘上。除了圆盘35和支座27、28的改变外，图14的实施例与图1的相似。
现转到图12，图中展示如图9的相同曲线，此外，还展示由图11的封闭滑阀装置得到的两条额外曲线91和92。比较曲线81和91(因曲线91是以α＝8°得到的)，可以看出，对于某一给定流率，较低的压力降△P是用一封闭滑阀得到的，而在比较曲线83和92(因曲线92是以α＝8°，D1＝2.9厘米得到的)时可知，对于某一给定的流率，滑阀8的较大位移是用一封闭滑阀得到的。
在图13中所示的两条曲线，是以封闭滑阀8但使用和图10曲线相同的t值得到的。对于给定的流率，可知滑阀8的较大位移是使用图11的封闭滑阀结构得到的。
在图1、3和11的实施例中，使用了固定的旁路或泄漏量孔18，但已经发现，用可变的或可调的量孔，例如图14中在95处所示的，来代替固定的量孔是特别有利的。可调量孔95事实上是一个双量孔的器件，因为它装有锥形阀构件96以给出较粗的调整(例如使用60°的锥体)，而针阀97则给出较细的调整(例如用16°的锥体)。在阀体98的端部装有阀构件96，该阀体车有螺纹，且拧入螺纹通孔99，螺纹通孔99相当于图1、3和11实施例的通孔或钻孔19。在通孔99中装有锥口孔101以提供一较小的量孔(一般为8毫米的直径)，阀构件96和这较小的量孔共同运作以控制流体从流量传感器量孔5到钻孔22的流量，反之亦然。针阀97同轴装进主或粗阀96里，并被拧入有螺纹的中心通孔102中，该通孔102通过针阀与透孔101联通。钻孔或通孔103配置壳体98内使通孔102和壳体98的缩小端104的外部相通，从而与构成通孔或钻孔22锥口孔的通孔105(一般为8毫米的直径)联通。
现转到图15，该图展示校正和测试装有图14可变量孔用的管路图。测试中的流量传感器1与和它同类型流量传感器的形式的校正装置串联相连接，校正装置的流量传感器已经单独校正过。滑柱型的控制阀107被连接到测试中的流量传感器1，并从一泵108供应以液压流体，还备有液箱连接109。液压流体通过控制阀107的流量受一放大器111控制，放大器111响应相加器件112所产生的误差电压Ve，加到相加器件112上的有来自请求电位计或信号产生器113的请求电压Vd，和来自电压转换器114的电压Vo，来自测试中的传感器1的输出电压Vt加在电压转换器114上，输出电压Vt是从传感器的LVDT37得到的。校正装置106的输出被加至仪表马达115的一个输入端，仪表马达的第二输入端被直接连到控制阀107。仪表马达115的电输出信号被连到流速计116，流速计116产生的电输出信号被加到X-Y记录仪、紫外光记录仪或示波器117的Y输入端。检测校正装置106时，请求电压Vd被连接到记录仪117的X输入端，而流速计的输出端则连接到Y输入端。当要校正测试中的传感器1时，记录仪117的Y输入端被连接到校正装置106的LVDT37的输出端，而X输入端则连接到测试中的传感器1的LVDT37的输出端。
校正过程如下1.将请求电压Vd置于与流量传感器滑阀8所需行程相对应刚好在其叠接区里面的电压值。
2.由监测流速计116的电压输出或来自校正装置106的电压输出Vm来记录输出流量。
3.调节测试中的传感器1的可变量孔95，以便从LVDT37给出所需流量(低档时的最大流量)或输出电压，使得测试中的传感器1的输出电压Vt等于来自校正装置106的输出电压Vm。
4.在被调位置中锁定可变测量孔95(图14中未示出锁定装置)，并重新检测读数，以保证流率在锁定可变量孔时不改变。一般通过转动粗阀构件96，并使针阀97保持闭合以调整可变量孔95。但如需极精细的调整，则应闭合主阀构件96和调整针阀以给出通过针阀的所需流量。另一种方法是连续调整两个阀96和97。
图16是流率Q对电压的曲线图，并说明曲线如何根据可变量孔95是打开还是缩小而变化。实线曲线106是测试中的传感器的曲线，而虚线曲线107是校正装置的曲线。
作为与图1、3和11所示固定量孔相反的可变量孔95措施，可以给一标准的流量传感器提供一个对具体应用的已知传感器流量量程给出所需调整的可变量孔。这种安排的优点如下1.增加流量传感器的灵活性。
2.应用与图15和16有关的所述校准步骤减少泄漏。
3.在现场中使用的给定传感器的流量特性需要时可以重新置定。
4.因为固定量孔更易被液压流体中的固体污染物堵塞，故使用了与装有固定量孔18的圆形孔口相反的装有可变量孔95的环形流量量孔后，可以改进耐污染的能力。
5.流量传感器的标准化，减少了待加工可变零件的数目。
6.可变量孔95的陡沿量孔保证传感器的流量特性与温度无关。
图17、18和19是本发明流量传感器1的几种不同应用。这种流量传感器例如可以是图1、3、11或14的形式，它在图1和11中作为入口节流/出口节流中的元件示出。图17、18和19中的流量传感器1使用在溢流调节系统。
图17和18展示的压力/流量(PQ)控制系统包括有低成本的元件，而最简单的形式是图17的PQ控制系统，系统中包括一固定排代泵61，一个比例压力控制阀62，一个按本发明的流量传感器1以及一个装有阻容网络64形式的积分器的激励放大器63。流量传感器1完成两种功能，即提供压力流量的关系和起流量反馈换能器的作用。在流量控制模式中，压力控制阀62控制阀前压力P并通过将任何剩余的流量溢回贮液槽65而起溢流调节阀的作用。可以看出，该系统是闭合回路结构，它保证该系统对压力和温度的变化不灵感。压力控制是通过将激励放大器63的输入信号P限幅制而取得的。阻-容网络64在流量控制模式中增加稳定状态和动态性能。
现转到图18，它对于使用非对称油缸或致动器66的图17来说是另一个可供选择的系统。作为双向器件的流量传感器1现被连接在油缸66的环状侧面和四通控制阀67中一个辅助口之间。为了取得双向的负反馈，应将极性转换开关68装进与阀67的控制电磁线圈69相连的反馈信号电路。图6安排的优点在于系统具有对称信号流量特性，而流量传感器1的流率是以致动器66的油缸的圆环面积为依据的。
现转看图19，它说明一个适用于控制单作用油缸或致动器的系统，原来是为一具体电梯或升降机控制应用而研制的。该系统包括一个装有一特殊滑阀72的四通比例控制阀71，这方面可参考共同待批的欧洲专利申请第82.304405.2号。该系统还包括一固定的排代泵73、一个由换向阀(受两个电磁线圈70和75控制)操作的导向单向阀74、一个按本发明的流量传感器1和一个激励放大器76。单向和排油阀74和75必须符合电梯或升降机控制系统的严格的安全规则或要求。图7系统的三种不同操作模式如下1.致动器不动2.电力上升3.重力下降在致动器不动模式中，正被控制的油缸或致动器77是由置中弹簧封闭主滑阀72和单向阀74固定，两个电磁线圈70和75都在处在断电状态，从而使导向供液和导向检测压力向贮液槽泄放。将阀71的压力口P和槽口T2相通，就可使泵73卸载。
在电力上升模式中，阀71的滑阀72被移至左边，如图19所见，从而使辅助口A与供液口P相接通，并节制泵通过模口T2的溢出流量来控制至致动器77的流量。使电磁线圈75通电，从而在产生导向供液压力的同时，保持导向检测压力泄放。
在重力下降模式中，阀门71的滑阀72被移至右边，如图19中所见，故通过槽口T2给泵73卸载，而且通过节制从辅助口A至槽口T1的流量来控制致动器77的速度。在这个模式中，给电磁线圈70和75通电，从而产生导向供液压力和导向检测压力。这个系统的流量反馈回路保证这两个实际操作模式中能高度重复速度、加速和减速控制。
可以了解到本应用的流量传感器是简单但有高效的器件，它有许多应用，特别能用在液压控制系统中，该流量传感器生产起来也比较不花钱，而且如某一给定的传感器操作起来要具有不同的工作特性，则只需要以不同结构的滑阀替换滑阀8，而传感器的主壳体保持原封不动，和/或改变固定量孔18的尺寸。但可以了解，某一给定传感器的性能不仅可以由滑阀8端部的不同形状也可以由电子装置加以改变。尽管在附图中已经展示了滑阀8端部简单匀称的锥形，可以理解，滑阀端部更复杂的形状也可以有效地产生所需的流量特性。
与已知流量传感器相比，该流量传感器是比较小的，而且可以例如插在辅助管道中，从而可使它与现有控制阀一起使用而无需修改后者以适应该流量传感器。
此外，在某些应用中，例如那些在图1、11、17、18和19中所说明的应用中，因为系统的性能主要根据流量传感器1的特性而定，故可以利用特性较低的控制元件。
权利要求
1.一种流量传感器包括一个壳体(4)、至少一个流体的入口(6，7)和一个流体的出口(7，6)和一个滑阀(8)，该壳体与一个通孔(5)一起组成，该入口和出口容许来往于传感器的流体流入和流出，该滑阀可以滑动地装在该通孔里，且具有至少一个形状加工过的端部(38)，通过此端部使流体从入口流到出口，该流量传感器的特征在于，该滑阀(8)也具有装在其内部并顶在两个隔开的支座(27，28)之间的弹性装置(26)，而这两个支座是这样连到滑阀内部的，即它们在管内与滑阀朝同一方向移动，但它们沿滑阀移动的相反方向滑动，当没有流体流动时，滑阀要装在滑阀零位处以封闭出口，而当有流体流动时，短管要移动克服弹性装置的作用以打开出口，移动的程度要代表流体的流率，且要被与滑阀相连的传感装置(37)检测得以提供也代表流体流量的输出信号。
2.根据权利要求
1的一个流量传感器，其特征在于，该传感器是双向的，滑阀(8)的两端(38)要仿型，而且该弹性装置(26)不管其先前运动的方向如何，都要推动短管至零位。
3.根据权利要求
1或2的一个流量传感器，其特征在于，该弹性装置以螺旋压缩弹簧(26)的形状装在两个支座(27，28)之间，弹簧可以装在一根杆(29)上，其一端可调地装进流量传感器的壳体(4)里，而且延伸在短管(8)里，支座则要装在杆上，使得其距离保持最大，但随滑阀的移动而减少。
4.根据任一个前述权利要求
中的一种流量传感器，其特征在于，该传感装置(37)是属于能产生一个电输出信号的那类装置。
5.根据权利要求
4的一种流量传感器，其特征在于，该传感装置是一个接到滑阀(8)的以线性可变差接变压器(37)形式的装置。
6.根据权利要求
5的一种流量传感器，其特征在于，该传感装置(37)经一附在滑阀一端的构件(35)而连到短管(8)的装置，该构件要为流体的流通而开有小孔。
7.根据权利要求
5的一种流量传感器，其特征在于，该传感装置(37)经一与滑阀一端形成整体或将滑阀一端密封的坚固构件而连接到滑阀(8)，而且隔开的支座装置(27，28)因要流通流体而开有小孔(90)。
8.根据任一前述权利要求
中的一种流量传感器，其特征在于，它还包括装在壳体(4)中的一个量孔(18，95)，以便在入口(6，7)和出口(7，6)间提供一个永久的泄漏通道。
9.根据权利要求
8的一种流量传感器，其特征在于，该量孔是一个固定量孔(18)。
10.根据权利要求
8的一种流量传感器，其特征在于，该量孔是一个可变量孔。
11.根据权利要求
10的一种流量传感器，其特征在于，该可变量孔包括一个可粗调的量孔(96)和一个可细调的量孔(97)，这两个测量孔可以单独使用其中一个，也可以组合使用。
12.根据任一个前述权利要求
的一种流量传感器，其特征在于，该入口(6，7)和出口(7，6)由侧边钻孔相通，该钻孔与配置在壳体(4)的通孔(25)的端部的各自端室(43，44)相通，该端室经该传感器壳体的各自切去部分(45，46)与一般平行于通孔(5)延伸的传感器壳体中的各对盲孔(47，48)相通。
专利摘要
一种流量传感器包括一个与通孔(5)一起组成的壳体(4)、一个流体入口(6，7)和一个流体出口(7，6)、以及一个端部(38)而使流体从入口流到出口的滑阀(8)，流量传感器的特征在于，滑阀(8)也有装在其内部并顶在两相隔的支座(27，28)之间的弹性装置(26)，当没有流体流动时，滑阀要装在滑阀零位处封闭出口的地方，而当有流体流动时，滑阀要移动克服弹性装置的作用以打开出口，移动的程度要代表流体的流率，且要被传感装置(37)检测得。
文档编号G01F1/34GK87103501SQ87103501
公开日1988年4月13日 申请日期1987年4月21日
发明者罗纳德·伯纳德·沃尔特斯, 彼得·迈克尔·哈梅 申请人:维克斯系统有限公司导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan