0具有位移用马达841、设置在与位移用马达841连结的主轴(未图示)的前端的工具安装部843、以及安装于工具位移部840并保持主轴的保持部842。工具850经由力检测装置I而安装于工具位移部840的工具安装部843，并用于根据从工具位移部840给予的位移而对被加工部件860进行加工。工具850不特别限定，但例如为扳手，十字螺丝刀、平头螺丝刀、刀具、圆盘锯、钳、锥子、钻头、铣刀等。
[0306]力检测装置I具有对施加于工具850的外力进行检测的功能。通过将力检测装置I检测出的外力反馈至进给用马达831、位移用马达841，从而部件加工装置800能够更精密地执行部件加工作业。另外，通过力检测装置I检测出的外力，能够检测工具850向障碍物的接触等。因此，能够在障碍物等接触到工具850的情况下紧急停止，从而部件加工装置800能够执行更安全的部件加工作业。
[0307]移动体的实施方式
[0308]接下来，基于图20对移动体的实施方式进行说明。以下，对于本实施方式，以与前述的第1、第2实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项，省略其说明。
[0309]图20是表示使用了本发明的力检测装置的移动体的I个例子的图。图20的移动体900的移动体900能够通过被给予的动力而移动。移动体900不特别限定，例如为汽车、自行车、飞机、船、电车等交通工具，双足步行机器人、车轮移动机器人等机器人等。
[0310]移动体900具有主体910 (例如交通工具的壳体、机器人的主体等)、供给用于使主体910移动的动力的动力部920、对通过主体910的移动而产生的外力进行检测的本发明的力检测装置1、以及控制部930。此外，作为力检测装置1，使用与前述的各实施方式相同的力检测装置。
[0311]若通过从动力部920供给的动力使主体910移动，则随着移动而产生振动、加速度等。力检测装置I对基于随着移动而产生的振动、加速度等的外力进行检测。由力检测装置I检测出的外力被传递至控制部930。控制部930根据从力检测装置I传递的外力来控制动力部920等，由此能够执行姿势控制、振动控制以及加速控制等控制。
[0312]以上，基于图示的实施方式对本发明的传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置进行了说明，但本发明不限定于此，各部分的结构能够置换为具有相同的功能的任意的结构。另外，也可以对本发明附加其他的任意的构成物。
[0313]另外，本发明也可以组合上述实施方式中的任意的两个以上的结构(特征)。
[0314]另外，在本发明中，也可以省略外壳。
[0315]另外，在本发明中，也可以代替加压螺栓，例如使用不具有对元件施加加压的功能的部件，另外，也可以采用螺栓以外的固定方法。
[0316]另外，本发明的机器人只要具有臂，便不限定于臂型机器人(机器人臂)，也可以为其他形式的机器人，例如，SCARA机器人、脚式步行(行走)机器人等。
[0317]另外，本发明的力检测装置(传感器元件)不限定于机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置、部件加工装置以及移动体，还能够适用于其他的装置，例如，其他的输送装置、其他的检查装置、振动计、加速度计、重力计、动力计、地震计、倾斜计等测定装置、输入装置等。
[0318]附图标记说明:
[0319]I…力检测装置；2…第I基板；21...凸部；211…上表面；25...内螺纹；3…第2基板;35…孔;36…下表面；4…模拟电路板;40…外力检测电路;401…AD转换器;402…运算部;41、42…孔;5…数字电路板;51、52…孔;6…传感器设备;60…外壳;61…基部；611…凹部；62...盖体；625…中央部；626…外周部；63...端子；71…加压螺栓；715…头部；7价..外螺纹；90a、90b、90c…转换输出电路；91…运算放大器;92…电容器;93…开关兀件；10...电荷输出兀件；11、15、16、17…接地电极层；12...第I传感器；121...第I压电体层；122...输出电极层；123…第2压电体层；13…第2传感器；131…第3压电体层；132…输出电极层；133…第4压电体层；14…第3传感器;141…第5压电体层；142…输出电极层;143…第6压电体层;110…层叠体;110a、110b、110c、110d…侧面;120…第I侧面端子;130…第2侧面端子;140…第3侧面端子;150…第4侧面端子;191…电极主体；192…连接部;500...单臂机器人；510…基台；520…臂；521…第I臂要素；522…第2臂要素；523…第3臂要素；524…第4臂要素；525…第5臂要素；530…末端执行器；531…第I指；532…第2指；600…多臂机器人；610…基台；620…第I臂；621…第I臂要素；622…第2臂要素；630…第2臂；631…第I臂要素；632…第2臂要素；640a…第I末端执行器；641a...第I指；642a…第2指；640b…第2末端执行器；641b…第I指；642b…第2指；700…电子部件检查装置；710…基台；711…电子部件；712u...上游侧工作台；712cl...下游侧工作台；713…拍摄装置；714…检查台；720…支承台；731…Y工作台；732…臂部；733…X工作台；734…拍摄照相机；740…电子部件输送装置；741…把持部；742…旋转轴；743…微调板；744x、744y、744 Θ…压电马达；750…控制装置；800…部件加工装置；810…基台；820…支柱;830…进给机构；831...进给用马达；832...引导部；840...工具位移部；841...位移用马达；842...保持部；843…工具安装部;850…工具;860…被加工部件;900…移动体;910…主体;920…动力部；930…控制部。
【主权项】
1.一种传感器元件，其特征在于，具有: X切割板； 第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴Z与该第IY切割板的晶轴X正交的方式配置； 第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴X与该第Ti切割板的晶轴X正交的方式配置； 层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴Z为法线的所述侧面。
2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于， 各所述侧面端子连接有所述层叠体的厚度方向的多个内部电极。
3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于， 所述层叠体的所述侧面具备两对对置的对置面， 设置在一方的所述对置面的侧面端子的个数与设置在另一方的所述对置面的侧面端子的个数相等。
4.根据权利要求3所述的传感器元件，其特征在于， 所述多个侧面端子由输出所述X切割板中产生的电荷的第I侧面端子、输出所述第IY切割板中产生的电荷的第2侧面端子、输出所述第2Y切割板中产生的电荷的第3侧面端子、以及将所述层叠体接地的第4侧面端子构成，在两对对置面中的I对对置面上，在一方的对置面上设置有两个侧面端子，在另一方的对置面上设置有两个侧面端子。
5.根据权利要求1?4中的任一项所述的传感器兀件,其特征在于， 所述X切割板被设置在所述第IY切割板与所述第Ti切割板之间。
6.根据权利要求1?5中的任一项所述的传感器兀件,其特征在于， 所述层叠体分别包括多个所述X切割板、所述第IY切割板以及所述第Ti切割板。
7.—种传感器元件，其特征在于，具有: X切割板；第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴I与该第IY切割板的晶轴z正交的方式配置；第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴Z与该第Ti切割板的晶轴Z正交的方式配置；层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板彼此之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在除了以所述X切割板的所述晶轴y为法线的面之外的区域。
8.—种传感器元件，其特征在于， 在将相互正交的3个轴设为A轴、B轴以及C轴时，具有: X切割板，其根据沿所述A轴方向的外力而输出电荷；第IY切割板，其根据沿所述B轴方向的外力而输出电荷；第2Y切割板,其以相对于所述第IY切割板,绕该第IY切割板的厚度方向的轴旋转了 90°的状态而配置，并根据沿所述C轴方向的外力而输出电荷；层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板彼此之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子中的与所述X切割板接触的所述侧面端子设置在因其热变形而使所述X切割板沿所述B轴方向被施加的外力比沿所述C轴方向被施加的外力小这一区域。
9.一种力检测装置，其特征在于，具备: 如下的传感器元件；以及 基于从所述传感器元件输出的电压来检测所述外力的外力检测电路， 其中，所述传感器元件的特征在于，具有: X切割板;第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴Z与该第IY切割板的晶轴X正交的方式配置；第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴X与该第Ti切割板的晶轴X正交的方式配置；层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板彼此之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴z为法线的所述侧面。
10.根据权利要求9所述的力检测装置，其特征在于， 设置有3个以上所述传感器元件。
11.一种机器人,其特征在于,具备: 至少一个臂连结体，其具有多条臂，并通过将所述多条臂的相邻的所述臂彼此以能够转动的方式连结而形成； 末端执行器，其被设置在所述臂连结体的前端侧；以及 力检测装置，其被设置在所述臂连结体与所述末端执行器之间，并检测施加于所述末端执行器的外力， 所述力检测装置的特征在于，具备: 如下的传感器元件；以及 基于从所述传感器元件输出的电压来检测所述外力的外力检测电路， 其中，所述传感器元件的特征在于，具有: X切割板； 第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴Z与该第IY切割板的晶轴X正交的方式配置；第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴X与该第Ti切割板的晶轴X正交的方式配置； 层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴Z为法线的所述侧面。
12.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备: 把持部，其把持电子部件；以及 力检测装置，其检测施加于所述把持部的所述外力， 所述力检测装置的特征在于，具备: 如下的传感器元件；以及 基于从所述传感器元件输出的电压来检测所述外力的外力检测电路， 其中，所述传感器元件的特征在于，具有: X切割板； 第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴z与该第IY切割板的晶轴X正交的方式配置；第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴X与该第Ti切割板的晶轴X正交的方式配置； 层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴z为法线的所述侧面。
13.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备: 把持部，其把持电子部件； 检查部，其检查所述电子部件；以及 力检测装置，其检测施加于所述把持部的外力， 所述力检测装置的特征在于，具备: 如下的传感器元件；以及 基于从所述传感器元件输出的电压来检测所述外力的外力检测电路， 其中，传感器元件的特征在于，具有: X切割板； 第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴Z与该第IY切割板的晶轴X正交的方式配置；第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴X与该第Ti切割板的晶轴X正交的方式配置； 层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴Z为法线的所述侧面。
14.一种部件加工装置，其特征在于，具备: 工具位移部，其安装工具并使所述工具位移；以及 力检测装置，其检测施加于所述工具的外力， 所述力检测装置的特征在于，具备: 如下的传感器元件；以及 基于从所述传感器元件输出的电压来检测所述外力的外力检测电路， 其中，所述传感器元件的特征在于，具有: X切割板； 第IY切割板，其以所述X切割板的晶轴Z与该第IY切割板的晶轴X正交的方式配置；第Ti切割板，其以所述第IY切割板的所述晶轴X与该第Ti切割板的晶轴X正交的方式配置； 层叠体，其具备多个电极层，并具备沿该层叠体的厚度方向的侧面，该多个电极层包括设置在所述切割板之间的内部电极层；以及 多个侧面端子，它们被设置在所述层叠体的侧面，并包括与各所述内部电极层连接的侧面端子， 将所述多个侧面端子设置在以所述X切割板的所述晶轴Z为法线的所述侧面。
【专利摘要】本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：第1以及第2压电体层；第3以及第4压电体层，其以第1以及第2压电体层的晶轴z与该第3以及第4压电体层的晶轴x正交的方式配置；第5以及第6压电体层，其以第3以及第4压电体层的晶轴x与该第5以及第6压电体层的晶轴x正交的方式配置；层叠体，其具备包括设置在压电体层彼此之间的内部电极层的多个电极层；以及多个侧面端子，它们被设置在层叠体的侧面，并包括与各电极层连接的侧面端子，将多个侧面端子设置在以第1以及第2压电体层的晶轴z为法线的侧面。
【IPC分类】G01L1-16, B25J19-02
【公开号】CN104596680
【申请号】CN201410594158
【发明人】河合宏纪, 松沢明, 神谷俊幸
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年10月29日