]图20(a)是表示在工序A3中对第一闪烁器单元阵列和第二闪烁器单元阵列以及受光元件阵列进行定位的第三方法的立体图。
[0050]图20(b)是表示由第三方法定位的第一闪烁器单元阵列和第二闪烁器单元阵列以及受光元件阵列的俯视图。
[0051]图20(c)是自A方向观察图20(b)的侧视图。
[0052]图21 (a)是表示在工序A3中对第一闪烁器单元阵列和第二闪烁器单元阵列以及受光元件阵列进行定位的第四方法的分解立体图。
[0053]图21(b)是表示由第四方法定位的第一闪烁器单元阵列和第二闪烁器单元阵列以及受光元件阵列的立体图。
【具体实施方式】
[0054]以下参照附图对本发明的实施方式进行详细说明，但本发明并不限定于此。如没有特别说明，各实施方式的说明也适用于其他的实施方式。
[0055]图1是表示本发明的制造双阵列型放射线检测器的方法的流程图。该方法包括:工序Al，在该工序Al中，自第一闪烁器板获得第一闪烁器单元阵列，该第一闪烁器单元阵列隔着反射层具有至少mXn个第一闪烁器单元；工序A2，在该工序A2中，通过切割第一闪烁器单元阵列，从而获得至少η个第一单阵列，该第一单阵列隔着反射层具有至少mX I个第一闪烁器单元；工序BI，在该工序BI中，自第二闪烁器板获得第二闪烁器单元阵列，该第二闪烁器单元阵列隔着反射层具有至少mXn个第二闪烁器单元；工序B2，在该工序B2中，通过切割第二闪烁器单元阵列，从而获得至少η个第二单阵列，该第二单阵列隔着反射层具有至少mX I个第二闪烁器单元；工序A3，在该工序A3中，对一个第一单阵列和一个第二单阵列、以及至少包括mX 2个受光元件的受光元件阵列进行对准；工序A4，在该工序A4中，将第一单阵列和第二单阵列与受光元件阵列粘接起来。
[0056](I)工序 Al
[0057]第一闪烁器单元阵列的形成工序Al具有:利用蜡、双面粘合性的粘贴片等将第一闪烁器板固定于支承板的工序；以及利用旋转砂轮、多线切割机等对第一闪烁器板在正交的两个方向进行多次切割的工序。工序Al中使用双面粘合性的粘贴片时，不只能够高效地形成第一闪烁器单元阵列，还因为能够共享夹具，因此能够降低制造成本。使用粘贴片的方法也能够适用于工序Al，BI的任一者，因此借助图2的流程图仅说明工序Al，但当然其说明也能够直接地适用于工序BI。
[0058](I)固定工序
[0059]将在双面具有粘合层、并且将各粘合层被分隔片包覆的固定用粘贴片25切割成覆盖支承板24的上表面的大小后，剥离一侧的分隔片，将其粘贴于支承板24的上表面(步骤1-1)。接下来，剥离固定用粘贴片25的另一侧的分隔片，使固定用粘贴片25的粘合层26暴露，如图3所示那样，使第一闪烁器板23的正面27朝向下进行粘贴(步骤1_2)。具有热剥离型粘合层26的固定用粘贴片25能够借助加热而容易地剥离，从而有助于提高作业效率。支承板24侧的粘合层也同样为热剥离型的话，固定用粘贴片25也能够容易地借助加热自支承板24剥离。
[0060](2)分割工序
[0061]如图4和图5所示，利用金刚石砂轮等旋转砂轮％，在第一闪烁器板23上以d3的宽度平行地进行m+1次切割，并且在正交的方向以d4的宽度平行地进行n+1次切割，从而形成m+1条平行的Z方向切割槽29和n+1条平行的Y方向切割槽30 (步骤1_3)。也能够替代旋转砂轮9b而借助由多条的切割线构成的多线切割机在第一闪烁器板23上同时形成多个切割槽。而且，也可以首先利用旋转砂轮9b在第一闪烁器板23上形成较浅的切割槽29、30，利用固定用粘贴片25将第一闪烁器板23固定于支承板24后，再进一步对切割槽29、30进行切割。
[0062]各切割槽29，30具有到达固定用粘贴片25的深度，因此虽然第一闪烁器板23被分割成(m+2) X (n+2)个的第一闪烁器单元2a，但清除缘部的话，能获得至少mXn个的第一闪烁器单元2a。可以如图6所示那样成为清除缘部而由至少mXn个的第一闪烁器单元2a构成的第一闪烁器单元阵列1，也可以如图4所示那样留下宽幅的外周闪烁器单元31。在留下外周闪烁器单元31的情况下，在后续的工序中清除时正好能够获得mXn个第一闪烁器单元2a。在任一种情况下，m+1条的Z方向切割槽29中的外侧的两条都形成第一闪烁器单元阵列I的侧面5L和5R，n+1条Y方向切割槽30中的外侧的两条都形成第一闪烁器单元阵列I的侧面5F和5B。
[0063]由于各第一闪烁器单元2a被固定用粘贴片25固定于支承板24，因此准确地维持第一闪烁器单元2a彼此的间隔。优选在切割成第一闪烁器单元2a后且进入包覆工序之前，为了除去加工肩等而实施清洗和干燥。
[0064](3)包覆工序
[0065]首先，如图7所示那样形成用于积存液态反射层用树脂的框体(步骤1-4)。优选框体与步骤1-1中使用的框体相同地由具有热剥离型粘合层的粘贴片形成。框体用粘贴片32F和32B具有与支承板24的Y方向的尺寸La相同的长度、以及第一闪烁器板的厚度hl、要形成的反射层用树脂层的厚度h2和支承板24的侧面粘贴余量h3的合计尺寸(hl+h2+h3)以上的宽度。框体用粘贴片32L和32R具有与支承板24的Z方向的尺寸Lb相同的长度、以及与框体用粘贴片32F和32B相同的宽度(hl+h2+h3以上)。以包围第一闪烁器单元2a的方式将这些框体用粘贴片32F、32B、32L、32R粘贴于支承板24的侧面。使框体用粘贴片32F、32B、32L、32R的热剥离型粘合层全部位于内侧时，向支承板24的粘合以及加热剥离变得容易。毫无疑问，也可以将在双面具有热剥离型粘合层的粘贴片用于框体。
[0066]将粘贴于支承板24的侧面的框体用粘贴片32F、32B、32L、32R的各端部粘合，从而形成四方框体。被固定用粘贴片25围成的空间可以视为具有开口 33的容器。作为形成容器的其他方法，也可以将粘贴框体用粘贴片32F、32B、32L、32R的各端而形成的框体粘合于支承板24的侧面。而且，还可以将易于自反射层用树脂剥离的氟树脂等树脂的框体粘合于支承板24的侧面，从而形成容器。
[0067]接下来，向由框体用粘贴片32F、32B、32L、32R围成的容器内注入液态反射层用树脂(步骤1-5)。反射层用树脂进入第一闪烁器单元2a的全部的间隙29、30，并且覆盖第一闪烁器单元阵列I的上表面和侧面。如此，能够获得被反射层用树脂包覆的第一闪烁器单元2a。液态反射层用树脂花费时间地安静注入，从而树脂层的厚度均匀。
[0068]使填充于第一闪烁器单元2a的间隙的反射层用树脂固化，从而能够获得一体化有mXn个第一闪烁器单元2a的第一闪烁器单元阵列I。在第一闪烁器单元阵列I的侧面5F、5L、5R和5B以及反面6a也涂布相同的反射层用树脂后，进行固化。因此，只有第一闪烁器单元阵列I的正面7a不被反射层用树脂覆盖，第一闪烁器单元2a暴露。作为反射层用树脂，优选在热固化型树脂中混入氧化钛微粒而成的树脂。另外，作为支承板也可以使用固化的板状的反射层用树脂。
[0069]在Y方向排列的m个第一闪烁器单元2a的间隙中填充的反射层用树脂构成反射层3，在Z方向排列的η列的第一闪烁器单元2a的间隙中填充的反射用树脂构成切削余量层4。因此，mXn个的第一闪烁器单元2a隔着反射层3和切削余量层4 一体化。图6中，为了简化而用直线示出反射层3和切削余量层4。
[0070]图5放大表示第一闪烁器单元阵列I的正面7a的一部分。在Y方向排列的第一闪烁器单元2a隔着厚度d3的反射层3排列，在Z方向并排的第一闪烁器单元2a隔着厚度d4的切削余量层4排列。覆盖第一闪烁器单元阵列I的侧面5L(相当于Y方向端部的第一闪烁器单元2a的外端面。)的反射层用树脂具有厚度d5Y，覆盖第一闪烁器单元阵列I的侧面5B(相当于Z方向端部的第一闪烁器单元2a的外端面。)的反射层用树脂具有厚度d5Z0
[0071]树脂包覆工序之后，使用第一加热装置加热至上述树脂的加热固化温度，使反射层用树脂固化(步骤1-6)。通过反射层用树脂的固化，至少mXn个的第一闪烁器单元2a被一体化。优选反射层用树脂为在液态的热固化性树脂中混入氧化钛微粒而成的树脂。例如使用环氧树脂的情况下，优选加热固化时间为I?6小时。
[0072](4)剥离工序
[0073]使用第一加热装置将反射层用树脂固化后，剥离框体用粘贴片32F、32B、32L、32R以及固定用粘贴片25，得到树脂固化集合体(步骤1-7)。固化的树脂成为反射层。具有热剥离型粘合层的固定用粘贴片25以及框体用粘贴片32F、32B、32L、32R在使用热板等第二加热装置加热至反射层用树脂的固化温度以上(例如80°C以上)时粘合力降低，能够容易地剥离。
[0074]由于在反射层用树脂的加热固化前，固定用粘贴片25与第一闪烁器单元2a以充分的粘合力密合，反射层用树脂不会进入两者的间隙。因此，在经过加热固化工序和加热剥离工序后获得的树脂固化集合体的正面，将各第一闪烁器单元2a的一个面露出来，但正面以外的全部的面都被反射层覆盖。
[0075]如图8所示，对树脂固化集合体的正面7a进行平坦地研磨，直到第一闪烁器单元2a成为厚度h4，从而获得具有至少mX η个第一闪烁器单元2a的第一闪烁器