一种端口对准器的制造方法

文档序号:9630354阅读:312来源:国知局
一种端口对准器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及连接装置,具体为一种端口对准器。本发明能够实现精准移动对准,具有操作简单、对准方便的特点,具有较好的应用前景。
【背景技术】
[0002]在材料表面科学研究中,需要研究表面几个原子层内原子的排列情况、电子状态、吸附在表面上的外来原子或分子,以及在表面几个原子层内的外来杂质的电子状态和其它物化性质。在进行材料的表面分析时,通常需要在超高真空环境中进行,且往往需要对相应的样品进行操纵或通过离子束、光束对样品表面进行处理,因此离子源、光源和操纵杆等部件必须与样品精确对中。
[0003]目前,现有的端口对准装置通常结构较为复杂,操作不便,且生产成本较高,难以满足实际应用的需要。
[0004]因此,迫切需要一种新的端口对准装置,以解决上述问题。

【发明内容】

[0005]本发明的发明目的在于:针对现有的端口对准装置通常结构较为复杂、操作不便、生产成本较高的问题,提供一种端口对准器。本发明具有结构简单,使用方便,可靠性好的特点,能够通过端口对准器自身的调节,满足离子源、光源和操纵杆等部件的对中操作需求。同时,本发明能够实现位置锁定,间接达到使相关部件位置锁定的目的。本发明设计合理,结构简单,使用方便,生产成本低,具有较好的应用前景。
[0006]为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种端口对准器,包括第一连接管、第二连接管、波纹连接管、第一法兰盘、第二法兰盘、连接调整件,所述第一法兰盘、第一连接管、波纹连接管、第二连接管、第二法兰盘依次相连,所述连接调整件为至少两组,所述连接调整件的两端分别与第一法兰盘、第二法兰盘相连;
所述连接调整件包括固定件、支撑杆、反牙关节轴承、第一连杆、第二连杆、调节件、设置在支撑杆上的定位件,所述第一法兰盘与固定件相连,所述固定件与第一连杆相连,所述支撑杆与第二法兰盘相连,所述反牙关节轴承的内圈设置在支撑杆上,所述反牙关节轴承的外圈与第二连杆相连,所述定位件与支撑杆活动连接且定位件能使反牙关节轴承的外圈与第二法兰盘的位置相对固定;
所述调节件具有正牙螺纹段和反牙螺纹段,且调节件的两端分别与第一连杆、第二连杆相连,所述调节件的正牙螺纹段与第一连杆相配合,所述调节件的反牙螺纹段与第二连杆相配合。
[0007]所述第一连接管与波纹连接管之间、第二连接管与波纹连接管之间分别采用焊接相连。
[0008]所述反牙关节轴承为反牙外丝关节轴承。
[0009]所述定位件为螺母。
[0010]所述第一连杆上设置有螺母且螺母能使第一连杆相对于固定件固定。
[0011]所述第一法兰盘、第二法兰盘中的一个或两个上设置有密封槽。
[0012]所述固定件均布于第一法兰盘的圆周上,所述支撑杆均布于第二法兰盘的圆周上。
[0013]所述连接调整件为三个。
[0014]所述调节件包括管体、与第一连杆相配合的正牙螺母、与第二连杆相配合的反牙螺母,所述反牙螺母、正牙螺母分别设置在管体的两端。
[0015]所述反牙螺母为六角反牙螺母,所述正牙螺母为六角正牙螺母。
[0016]针对前述问题,本发明提供一种端口对准器。该端口对准器包括第一连接管、第二连接管、波纹连接管、第一法兰盘、第二法兰盘、连接调整件,第一法兰盘、第一连接管、波纹连接管、第二连接管、第二法兰盘依次相连,构成对准器的主体。波纹连接管本身具有柔性,可以调节,但无法定位,以及在特定位置固定,因而无法满足端口对准的需要。因此,本发明在对准器的主体上设置至少两组连接调整件,连接调整件的两端分别与第一法兰盘、第二法兰盘相连。
[0017]其中,连接调整件包括固定件、支撑杆、反牙关节轴承、第一连杆、第二连杆、调节件、设置在支撑杆上的定位件。第一法兰盘与固定件相连,固定件与第一连杆相连,支撑杆与第二法兰盘相连,反牙关节轴承的内圈设置在支撑杆上,反牙关节轴承的外圈与第二连杆相连,定位件与支撑杆活动连接且定位件能使反牙关节轴承的外圈与第二法兰盘的位置相对固定。反牙关节轴承的外圈与内圈组成滚动摩擦副。
[0018]采用该结构,第一连杆经固定件与第一法兰盘相连,第二连杆经反牙关节轴承、支撑杆与第二法兰盘相连。采用该结构,第二连杆能够相对第二法兰盘转动,而定位件能使反牙关节轴承的外圈与第二法兰盘的位置相对固定,从而达到调整第一法兰盘、第二法兰盘沿圆周方向相对位置的目的。
[0019]调节件具有正牙螺纹段和反牙螺纹段,且调节件的两端分别与第一连杆、第二连杆相连,调节件的正牙螺纹段与第一连杆相配合,调节件的反牙螺纹段与第二连杆相配合。采用该结构,调节件分别与第一连杆、第二连杆相连。且调节件的正牙螺纹段与第一连杆相配合,调节件的反牙螺纹段与第二连杆相配合,通过旋转调节件,能够使第一连杆与第二连杆的间距改变,进而调节第一法兰盘、第二法兰盘之间的距离。
[0020]综上,采用上述结构,能够有效调整第一连接管、第二连接杆的相对位置和距离,同时通过调节件、固定件能够起到有效锁止的目的,从而实现端口的精确对准。
[0021]本发明结构简单,使用方便,可靠性好。同时,成本低廉,有效解决了现有结构复杂、成本高的问题,对于推动相关领域的发展,具有重要的进步意义。本发明大规模推广后,能够有效促进相关领域,尤其是材料表面科学研究的发展,具有较好的经济价值和社会效益。
[0022]第一连接管与波纹连接管之间、第二连接管与波纹连接管之间分别采用焊接相连,采用焊接方式,能够保证部件之间的密封性能。反牙关节轴承为反牙外丝关节轴承,定位件为螺母。通过反牙外丝关节轴承与螺母的相互配合,能够对反牙外丝关节轴承进行定位锁定,从而使第二连杆固定在指定的位置。
[0023]第一连杆上设置有螺母且螺母能使第一连杆相对于固定件固定,第一法兰盘、第二法兰盘中的一个或两个上设置有密封槽,设置密封槽有利于法兰盘的密封。固定件均布于第一法兰盘的圆周上,支撑杆均布于第二法兰盘的圆周上,进一步,连接调整件为三个。
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