。又，引导面GP通过引导轴axg。
[0150]本实施形态中，如图6所示，引导面GP在与支承被测定物S的桌台3的支承面3P正交的方向，通过检测区域DR内。桌台3的支承面3P，当检测装置I设置时，是对铅直方向、亦即重力作用的方向正交。因此，当引导面GP与检测区域DR的关系是如前述时，桌台3及桌台支承体7等的荷重方向与引导面GP即正交。如此一来，第I引导装置5A及第2引导装置5B，由于轨道5AR、5BR与移动体5AM、5BM能以较大面积的重叠部分承受前述荷重，因此较佳。
[0151]图16及图17是显示检测区域的图。图16显示检测器4的射入面4DP为长方形(含正方形)时的检测区域DR。图17则显示检测器4a的射入面4DPa为圆形时的检测区域DRa。检测器4的射入面4DP为长方形时，检测区域DR是藉由将图1等所示的X线源2的发光区域(焦点)XS及检测器4接收X线的射入面4DP的外缘4E加以连结所形成的面P1、P2、P3、P4与射入面4DP围成的区域。此场合，检测区域DR是以射入面4DP为底面、以发光区域XS为顶点的四角锥。
[0152]如图17所示，当检测器4a的射入面4DPa为圆形时，检测区域DRa是将图1等所示的X线源2的发光区域XS及检测器4a接收X线的射入面4DPa的外缘4Ea加以连结所形成的面Pa与射入面4DPa围成的区域。此场合，检测区域DRa是以射入面4DPa为底面、发光区域XS为顶点的圆锥。射入面4DP可以是长方形以外的多角形、例如三角形或六角形等的多角形，射入面4DPa可以是圆形以外的楕圆形等。
[0153]图18是显示检测区域与引导面的关系的图。本实施形态中，如图6所示，第I引导装置5A与第2引导装置5B是夹着光轴Zr配置，将略U字形状的桌台支承体7支承于支承体6。此场合，引导面GP是通过第I引导装置5A的第I引导面GPl的至少一部分与第2引导装置5B的第2引导面GP2的至少一部分的平面。图6所示的检测装置I中，第I引导面GPl与第2引导面GP2是在桌台旋转轴Yr方向或Y轴方向，于同一位置。此场合，引导面GP是与第I引导装置5A的第I引导面GPl及第2引导装置5B的第2引导面GP2平行、且包含此等的平面。亦即，引导面GP是通过第I引导面GPl及第2引导面GP2的全部的平面。第I引导面GPl及第2引导面GP2，如使用图13及图14所说明。
[0154]图6所示的检测装置I，引导面GP(或包含引导面GP、且与引导面GP平行的平面)通过检测器4的穿透X线的检测区域DR内、并包含光轴Zr且与光轴Zr平行。引导面GP只要通过检测区域DR内即可。只要满足此条件，则无需如图18所示的引导面GPa般包含光轴Zr、亦无需如引导面GPb般与光轴Zr平行。
[0155]图19是显示比较例中的检测区域与引导面的关系的图。图20是显示本实施形态中的检测区域与引导面的关系的图。图19及图20中的符号DPH、DPL代表检测器4的射入面4DP的检测中心。此例中，检测中心DPH、DPL存在于光轴Zr上。设从引导面GP至检测中心DPH的距离(最短距离)为LH、从引导面GP至检测中心DPL的距离(最短距离)为LL。
[0156]比较例，是引导面GP配置在检测区域DR外，两者不交会。本实施形态中，引导面GP通过检测区域DR内。本实施形态中，进一步的，引导面GP配置成包含光轴Zr、且与光轴Zr平行。图19及图20中放大显示了引导面GP。引导面GP，是以第I引导装置5A及第2引导装置5B所具备的轨道5AR、5BR的移动体5AM、5BM侧的表面加以规定。轨道5AR、5BR的表面，有可能因加工误差等而未成为设计的尺寸及形状。因此，以轨道5AR、5BR的表面规定的引导面GP，巨观下虽为平面，但微观下则非平面。从而，引导面GP，如图19及图20所示，微观下于Z轴方向其Y轴方向的位置相异。
[0157]引导面GP，是规定移动体5AM、5BM、安装于此等的桌台支承体7及桌台支承体7支承的桌台3的移动的平面。当引导面GP的Y轴方向位置于Z轴方向相异时，被引导面GP规定其移动的桌台3，如图6所示的支承面3P即相对X轴倾斜、亦即相对XZ平面倾斜。其结果，被桌台3的支承面3P支承的被测定物S，亦相对X轴倾斜。检测中心DPH、DPL通过被桌台3的支承面3P支承的被测定物S。因此，当被测定物S相对X轴倾斜时，被测定物S的位置偏移原来位置的结果，图6所示的检测装置I的检测精度即降低。
[0158]依据阿贝原理，桌台3的支承面3P的倾斜导致的被测定物S的位置偏移，是随着引导面GP与检测中心DPH、DPL的距离LH、LL越大而越大。从引导面GP至检测中心DPH、DPL的距离LH、LL，于本实施形态较比较例小。因此，本实施形态，可以使因引导面GP的Y轴方向位置于Z轴方向相异而引起的被测定物S的位置偏移，较比较例小。其结果，本实施形态，可抑制检测装置I的检测精度的降低。
[0159]本实施形态中，引导面GP通过检测区域DR。此场合，引导面GP可以是通过线性编码器24A、24B的编码器读头24AE、24BE读取线性标尺24AS、24BS的位置(以下，适当的称编码器读取位置)。如此一来，可降低编码器读取位置与引导面GP分离而导致的编码器读头24AE、24BE读取线性标尺24AS、24BS时的误差。因此，检测装置1，可抑制控制装置9根据编码器读头24AE、24BE的测量结果控制桌台支承体7的移动时精度降低。其结果，检测装置I可抑制检测精度的降低。
[0160]图21是显示本实施形态中的检测区域与引导面的关系的图。图21所示的例中，于光轴Zr方向的X线源2的发光区域XS与检测器4的射入面4DP间的距离为Lz。本实施形态中，引导面GP只要是通过检测区域DR内即可。图20所示例中，引导面GP虽是配置成包含光轴Zr、且与光轴Zr平行，但只要引导面GP通过检测区域DR内的话，并不一定要以此方式配置引导面GP。图21所示的引导面GPl、GP2虽与光轴Zr平行，但不包含光轴Zr。引导面GPl、GP2，由于是通过检测区域DR内，因此此种配置亦是可能的。
[0161]检测器4无法检测检测区域DR外的物体。因此，若是引导面GPl的情形时，在检测被测定物S位于与X线源2的发光区域XS的距离在Lzl的范围内的场合，检测中心会位在离开引导面GPl的位置。例如，引导面GPl的情形时，检测器4检测距发光区域XS的距离位在Lzl的位置DPl的被测定物S时，被测定物S是在检测区域DR内。是以，由于可使引导面GPl至测定中心的距离为O，故可抑制因引导面GPl的Y轴方向位置于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移。
[0162]检测器4检测距发光区域XS的距离位在Lz2的位置DP2的被测定物S时，当是引导面GPl的情形时，被测定物S必须是在检测区域DR内。因此，由于引导面GPl至测定中心至少必须有A Yl的距离，因此引导面GPl的Y轴方向位置于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移有可能变大。亦即，引导面GPl的情形时，距检测器4的射入面4DP的距离在Lz — Lzl的区域中，能有效抑制被测定物S的位置偏移。
[0163]弓丨导面GP2，至光轴Zr的距离较引导面GPl近。引导面GP2的情形时，检测器4于检测距发光区域XS的距离位在Lz2(<Lzl)的位置DP2的被测定物S时，被测定物S是在检测区域DR内。是以，由于可使引导面GP2至测定中心的距离为0，因此，能使因引导面GP2的Y轴方向位置于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移，较引导面GPl的情形时小。
[0164]引导面GP2的情形时，检测器4于检测距发光区域XS的距离较Lz2接近XS的Lz3的位置DP3的被测定物S时，被测定物S是在检测区域DR外。因此，引导面GP2至测定中心至少不须有A Y2的距离。其结果，有可能无法充分抑制因引导面GP2的Y轴方向位置于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移。亦即，引导面GP2的情形时，在距检测器4的射入面4DP的距离位于Lz — Lz2的区域中，能有效抑制被测定物S的位置偏移。
[0165]藉由将引导面GP作成包含光轴Zr、且与光轴Zr平行，在检测器4检测距发光区域XS的距离位于Lz3的位置DP3的被测定物S时，可使引导面GP至测定中心的距离为O。其结果，可使因引导面GP的Y轴方向位置于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移，较引导面GP2的情形时小。亦即，将引导面GP作成包含光轴Zr、且与光轴Zr平行时，在距检测器4的射入面4DP的距离到Lz为止的区域、亦即、理论上在全检测区域DR内，可有效抑制被测定物S的位置偏移。
[0166]如以上所述，藉由使引导面GP接近光轴Zr，在距离检测器4的射入面4DP的距离到较远的区域为止，皆能有效抑制被测定物S的位置偏移。距检测器4的射入面4DP的距离越大，依据检测器4所检测的穿透X线的被测定物S的像越被放大。亦即，检测装置I可以高倍率检测(测定)被测定物S的像。因此，使引导面GP接近光轴Zr，检测装置I即能从低倍率至高倍率检测(测定)被测定物S的像，因此较佳。亦即，引导面GP与光轴Zr位在大致同一位置或实质同一位置较佳，而与光轴ZH立在同一位置更佳。又，亦可将引导面GP配置在由发光区域XS、与具有较射入面4DP的面积大约10%程度的区域所形成的区域内。检测区域DR中，光轴Zr近旁的区域，可以是指以光轴Zr为中心的XY平面内、具有射入面4DP的例如5 %、1 %、15%程度的面积的区域。又，亦可使光轴Zr近旁的区域，于X线源2的近旁为以光轴Zr为中心的XY平面内的区域、且是具有射入面4DP的5%程度的面积的区域，而于射入面4DP的近旁则为以光轴Zr为中心的XY平面内的区域、且具有射入面4DP的15%程度的面积的区域。亦即，可改变沿Z轴方向的近旁范围的面积。
[0167]图22是显示本实施形态的检测区域与引导面间的关系的变形例的图。图22中，显示了通过检测区域DR的多个引导面GP、GPc、GPd、GPe。引导面GP包含光轴Zr、且与光轴Zr平行。引导面GPc与光轴Zr及X轴平行但不包含光轴Zr。引导面GPcUGPe与光轴Zr平行但不包含光轴Zr、并与X轴交叉。引导面GPcUGPe斜向横切过检测器4的射入面4DP。如以上所述，只要弓丨导面GP、GPc、GPd、GPe是通过检测区域DR的话，即能有效抑制因引导面GP、GPc、GPd、GPe的Y轴方向位置于Z轴方向相异(变化)而引起的被测定物S的位置偏移。
[0168]图23是显示桌台支承体的变形例的图。此桌台支承体7a是将第I构件7Aa及第2构件7Ba的两端部分别以第3构件7Ca与第4构件7D加以连结的构造。桌台支承体7a，是在以第I构件7Aa、第2构件7Ba、第3构件7Ca、及第4构件7D围绕的部分，配置桌台3及检测器4的检测区域DR。第I构件7Aa，于两端部之间具有朝外侧延伸的第I突缘部7AFa。第2构件7Ba，于两端部之间具有朝外侧延伸的第2突缘部7BFa。于第I突缘部7AFa安装有第I引导装置5A，于第2突缘部7BFa安装有第2引导装置5B。桌台支承体7a是通过第I引导装置5A及第2引导装置5B安装于支承体6。与实施形态的桌台支承体7同样的，此变形例的桌台支承体7a，亦是将桌台
3、桌台本体3B、第I可动构件11、基台12及第2可动构件14藉由2个引导机构15、15，安装于第I构件7Aa及第2构件7Ba。
[0169]此桌台支承体7a，是将第I构件7Aa与第2构件7Ba分别以第3构件7Ca与第4构件7D加以连结的略O字形状的构造体。实施形态的桌台支承体7，则是将第I构件7A与第2构件7B以第3构件7C加以连结的略U字形状的构造体。藉由此种构造上的差异，此桌台支承体7a与实施形态的桌台支承体7相较，具有刚性更高的优点。其结果，桌台支承体7a，能有效抑制因桌台3及被测定物S等的荷重造成的变形，因此能提升桌台3的定位精度。具备此桌台支承体7a的检测装置Ia，其检测精度能更为提升。
[0170]图24是显示桌台支承体的变形例的图。此桌台支承体7b，是以第I构件7Ab与第2构件7Bb实质正交的方式，将第I构件7Ab的一端部与第2构件7Bb的一端部加以连结的略L字形状的构造体。于第I构件7Ab的另一端部设有第I突缘部7AFb。与第2构件7Bb的另一端部设有第2突缘部7BFb。于第I突缘部7AFb安装有第I引导装置5A、于第2突缘部7BFb安装有第2引导装置5B。桌台支承体7b通过第I引导装置5A及第2引导装置5B安装于支承体6b。桌台3及检测器4的检测区域DR配置在第I构件7Ab与第2构件7Bb之间。
[0171]此桌台支承体7b是以2个引导装置5A、5B安装于支承体6b。安装在第I突缘部7AFb的第I引导装置5A的第I引导面GPl、与安装在第2突缘部7BFb的第2引导装置5B的第2引导面GP2彼此正交。以此方式配置的2个引导装置5A、5B中，引导面GP是通过第I引导面GPl及第2引导面GP2、并与此等交叉的平面。亦即，本变形例中的引导面GP是通过第I引导面GPl的一部分与第2引导面GP2的一部分的平面。
[0172]引导面GP，如图24所示，通过检测器4的检测区域DR。因此，装备了桌台支承体7b的检测装置lb，可减小因引导面GP的位置在与引导面GP正交的方向于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移。其結果，检测装置Ib能抑制检测精度的降低。
[0173]图25是显示桌台支承体的变形例的图。前述桌台支承体7、7a、7b皆是使用第I引导装置5A及第2引导装置5B的合计2个来引导光轴Zr方向的移动。本变形例的桌台支承体7c，则是以I个引导装置5来引导光轴Zr方向的移动。桌台支承体7c，是将第I构件7Ac、第2构件7Bc、第3构件7Cc、第4构件7Dc分别于两端部加以连结的略O字形状的构造体。桌台支承体7c，是在以第I构件7Ac、第2构件7Bc、第3构件7Cc与第4构件7Dc围绕的部分，配置桌台3及检测器4的检测区域DR。第4构件7Dc，于两端部之间具有朝外侧延伸的突缘部7F。于突缘部7F安装有引导装置5。与实施形态的桌台支承体7同样的，此变形例的桌台支承体7c，是亦将桌台3、桌台本体3B、第I可动构件11、基台12及第2可动构件14以2个引导机构15、15，安装于第I构件7Ac及第2构件7Bc。
[0174]引导装置5的轨道5R安装在支承体6c。引导装置5的移动体5M安装在桌台支承体7c的突缘部7F。引导装置5的引导面GP是与光轴Zr平行、且规定桌台3的移动的平面，此例中是与X轴正交。包含引导面GP、与引导面GP平行的平面GPN，亦即引导面GP，如图25所示，通过检测器4的检测区域DR。因此，装备了桌台支承体7c的检测装置lc，可减小引导面GP的位置在与引导面GP正交方向于Z轴方向变化而引起的被测定物S的位置偏移。其结果，检测装置Ic可抑制检测精度的降低。又，由于桌台支承体7c是将第I构件7Ac、第2构件7Bc、第3构件7Cc、第4构件7Dc分别与两端部加以连结的构造，因此可作成具有高刚性。其结果，由于桌台支承体7c可有效抑制因桌台3及被测定物S等的荷重造成的变形，因此装备了此桌台支承体7c的检测装置lc，可更为提升桌台3的定位精度及检测精度。
[0175]图26是显示第I引导装置及第2引导装置的配置的变形例的图。前述实施形态，如图7所示，第I引导装置5A的轨道5AR与第2引导装置5B的轨道5BR皆是与光轴Zr平行配置。亦即，兩者是平行配置。本实施形态中，由于第I引导装置5A及第2引导装置5B只要是配置在光轴Zr的两侧且检测器4的检测区域DR的外侧即可，因此两者无须平行。此例中，第I引导装置5A的轨道5AR配置成与规定检测区域DR的面P2平行，第2引导装置5B的轨道5BR配置成与规定检测区域DR的面P4平行。检测区域DR，是以X线源2的发光区域XS为顶点、以检测器4的射入面4DP为底面的四角锥区域。因此，第I引导装置5A的轨道5AR与第2引导装置5B的轨道5BR，随着从X线源2的发光区域XS朝向检测器4，两者的间隔渐大。
[0176]桌台支承体7d，其第I构件7Ad安装于第I引导装置5A、第2构件7Bd安装于第2引导装置5B。第I构件7Ad与第2构件7Bd，其一端部以第3构件7Cd连结。在第I构件7Ad与第I引导装置5A之间及第2构件7Bd与第2引导装置5B之间，分别安装有可伸缩的连结机构7AE、7BE。连结机构7AE、7BE，是第I构件7Ad与第I引导装置5A间的距离及第2构件7Bd与第2引导装置5B间的距离变大时伸展、前述距离变小时收缩的机构。连结机构7AE、7BE，吸收随着桌台支承体7d往光轴Zr方向移动而变化的前述距离。藉由此种构造，即使是在将轨道5AR、5BR配置成从X线源2的发光区域XS朝检测器4，第I引导装置5A的轨道5AR与第2引导装置5B的轨道5BR间的间隔变大时，桌台支承体7d亦能往光轴Zr方向移动。
[0177]图27是显示实施形态的变形例的检测装置的图。此检测装置le，是于实施形态的检测装置I所具备的支承体6的第2侧壁6SB安装多个脚6F，将检测装置I横置。脚6F，与图1所示的腔室构件8的底部8B接触。第2侧壁6SB与腔室构件8的底部8B方向相对配置。如以上所述，检测装置le，是第2侧壁6SB为设置侧、亦即作为设置对象的腔室构件8的底部SB侧。第2侧壁6SB配置在下方，与第2侧壁6SB方向相对的第I侧壁6SA配置在上方。又，亦可于第I侧壁6SA安装多个脚6F，将第I侧壁6SA配置在下方。
[0178]支承体6的开口部6HU配置在侧边、亦即配置在X轴侧。桌台3及桌台本体3B，通过第I可动构件lie、基台12、第2可动构件14、桌台支承体7、第I引导装置5A及第2引导装置5B安装并支承于支承体6。桌台支承体7的第I构件7A及第2构件7B，从支承体6的开口部6HU往底部6B延伸。支承桌台3及桌台本体3B的第I可动构件Ile是往Y轴方向移动。第2可动构件14往X轴方向移动。桌台支承体7往光轴Zr方向移动。以第I引导装置5A与第2引导装置5B规定的引导面GP，通过检测器4的检测区域DR。如以上所述，实施形态的检测装置I，可如变形例的检测装置Ie般横置。
[0179]图28及图29是显示实施形态的变形例的检测装置的图。此检测装置If，具备支承体6f、支承被测定物S的桌台3、支承桌台3的桌台支承体7f、检测器4、以及图29所示的X线源
2。支承体6f，具有底部6Bf、以及从底部6Bf往上延伸彼此方向相对的一对侧壁6Sf、6Sf。于侧壁6Sf安装有多个脚6F。多个脚6F，与图1所示的腔室构件8的底部8B接触。支承体6f通过桌台支承