半透明薄膜材料的热导率测试装置的制造方法_2

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定信号,提高信噪比,克服了激光器不稳定带来的噪声。
[0030]【附图说明】:
[0031]附图1是本实用新型的结构示意图。
[0032]图中:可输出可调脉冲激光的钕YAG纳秒激光器2、玻璃薄片4、硅探测器SD,件号:5、不波器6、二分之一玻片HP1,件号:7、偏振片8、反射镜M1,件号:9、二相色镜10、分束片BSl,件号:11、透镜LI,件号:12、样品S,件号:13、透镜L2,件号:14、滤光片F1,件号:15、双路探测器AD1,件号:16、反射镜M4,件号:23、反射镜M5,件号:24、滤光片F2,件号:26、双路探测器AD2,件号:27、可输出连续激光的氦氖连续激光器3、二分之一玻片HP2,件号:17、偏振分束片,件号:18、分束片BS2,件号:19、反射镜M6,件号:20、反射镜M7,件号:21、反射镜M2,件号:22、反射镜M3,件号:25、BNC导线28。
[0033]【具体实施方式】:
[0034]实施例1:
[0035]半透明薄膜材料的热导率测试装置,其组成包括:光学平台,所述的光学平台上装有输出可调脉冲激光激光器和可输出连续激光的氦氖连续激光器,连续激光经过二分之一玻片HP2,再经过一个偏振分束片分为两束,检测温度的硅探测器安装在激光器输出的可调脉冲激光经过玻璃薄片的反射方向上,两束光路上分别装有双路探测器,所述的输出可调脉冲激光激光器和可输出连续激光的氦氖连续激光器安装在当连续激光与可调脉冲激光经过两路光学系统使两种光经二相色镜后共线的位置上。
[0036]实施例2:
[0037]实施例1所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,经过半透明薄膜材料反射的部分激光经过透镜LI和分束片BSl反射,入射到反射镜M4、反射镜M5上,通过滤光片F2进入双路探测器AD2的第一路;经过半透明薄膜材料透射的部分激光经过透镜L2和滤光片Fl进入到双路探测器ADl的第一路。
[0038]实施例3:
[0039]实施例1或2所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,所述的可输出连续激光的氦氖连续激光器发出的激光经二分之一玻片HP2、偏振分束片后,进入分束片BS2、所述的分束片BS2将激光分为透射和反射两部分经过一组反射镜的反射进入双路探测器ADl和AD2的第二路。
[0040]实施例4:
[0041]实施例3所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,所述的二分之一玻片HP2位于与连续激光垂直位置;所述的偏振分束片在所述的二分之一玻片HP2的后方,并且所述的偏振分束片位于与连续激光垂直位置;所述的二相色镜在可调脉冲激光经过的反射镜Ml的反射方向光路上。
[0042]实施例5:
[0043]实施例1或2或3或4所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,所述的玻璃薄片位于可调脉冲激光45°进入的位置上,所述的温度探测器为硅探测器,所述的温度探测器位于所述的玻璃薄片反射后的可调脉冲激光光路上,所述的硅探测器SD电连接示波器。
[0044]实施例6:
[0045]实施例1或2或3或4或5所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,二分之一玻片HPl位于所述的玻璃薄片的后方,并且所述的二分之一玻片HPl位于与可调脉冲激光垂直位置;偏振片在所述的二分之一玻片HPl的后方,并且所述的偏振片位于与可调脉冲激光垂直位置。
[0046]实施例7:
[0047]实施例6所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,所述的反射镜Ml在所述的偏振片的后方,所述的反射镜Ml与所述的玻璃薄片垂直,并且所述的反射镜Ml位于可调脉冲激光光路上;所述的二相色镜位于使所述的反射镜Ml反射后的可调脉冲激光与连续激光汇交于同一点的位置上。
[0048]实施例8:
[0049]实施例1或2或3或4或5或6或7所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,所述的双路探测器中的安装在第一条光路的双路探测器ADl在连续激光经过所述的二相色镜的反射方向光路上,并且该光路通过分束片BS1、透镜L1、样品S、透镜L2、滤光片Fl;所述的双路探测器ADl位于二相色镜反射后的连续激光垂直位置光路上,所述的双路探测器ADI与示波器电连接。
[0050]实施例9:
[0051]实施例1或2或3或4或5或6或7或8所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,所述的两路光学系统的光学器件的位置:
[0052]分束片BS2安装在连续激光经过的偏振分束片的垂直分束方向光路上,所述的分束片BS2与所述的偏振分束片分束的连续激光成45° ;
[0053]反射镜M6安装在连续激光经过的所述的偏振分束片的垂直分束方向的光路上,所述的反射镜M6在所述的分束片BS2的后方并且垂直;
[0054]反射镜M7在连续激光经过所述的反射镜M6的反射方向光路上,所述的反射镜M7与所述的反射镜M6平行;所述的反射镜M7反射的连续激光垂直穿过滤光片Fl与进入双路探测器ADl;
[0055]反射镜M2在连续激光经过分束片BS2的反射方向光路上,所述的反射镜M2安装在与所述的分束片BS2反射的连续激光光路上,所述的反射镜M2与所述的分束片BS2平行;
[0056]反射镜M3在连续激光经过的所述的反射镜M2的反射方向光路上,所述的反射镜M3安装在与所述的反射镜M2反射的连续激光光路上,所述的反射镜M3与所述的反射镜M2
垂直;
[0057]反射镜M4安装在与连续激光经过所述的样品S反射后,又经过所述的分束片BSl的反射方向的光路上,所述的反射镜M4与所述的分束片BSl垂直,所述的反射镜M4安装在与所述的分束片BSl反射的连续激光的光路上;
[0058]反射镜M5安装在连续激光经过的所述的反射镜M4的反射方向光路上,所述的反射镜M5安装在与所述的反射镜M4反射的连续激光光路上,所述的反射镜M5与所述的反射镜M4垂直;所述的反射镜M5和所述的反射镜M3反射的连续激光穿过所述的滤光片F2进入所述的双路探测器AD2;
[0059]滤光片F2与所述的反射镜M5反射的连续激光光路垂直,所述的滤光片F2与所述的反射镜M3反射的连续激光的光路垂直;所述的双路探测器AD2与所述的示波器电连接。
[0060]实施例10:
[0061]实施例1或2或3或4或5或6或7或8或9所述的半透明薄膜材料的热导率测试装置,可调脉冲激光激光器为钕YAG纳秒激光器,采用的激光波长为532纳米;可输出连续激光的氦氖连续激光器的采用的激光波长为633纳米。
[0062]实施例11:
[0063]一种半透明薄膜材料的热导率测试装置,其组成包括:光学平台,所述的光学平台的上表面分别安装有可输出可调脉冲激光的钕YAG纳秒激光器2、玻璃薄片4、硅探测器SD,件号:5、不波器6、二分之一玻片HP1,件号:7、偏振片8、反射镜M1,件号:9、二相色镜10、分束片BSl,件号:11、透镜LI,件号:12、样品S,件号:13、透镜L2,件号:14、滤光片F1,件号:15、双路探测器AD1,件号:16、反射镜M4,件号:23、反射镜M5,件号:24、滤光片F2,件号:26、双路探测器AD2,件号:27、可输出连续激光的氦氖连续激光器3、二分之一玻片HP2,件号:17、偏振分束片,件号:18、分束片BS2,件号:19、反射镜M6,件号:20、反射镜M7,件号:21、反射镜M2,件号:22、反射镜M3,件号:25、BNC导线28,所述的玻璃薄片与所述的钕YAG纳秒激光器输出的可调脉冲激光成45°并且相交;所述的硅探测器在所述的钕YAG纳秒激光器输出的可调脉冲激光经过所述的玻璃薄片的反射方向上,并且所述的硅探测器与所述的玻璃薄片反射后的可调脉冲激光相交;所述的硅探测器SD与所述的示波器通过BNC导线连接;所述的二分之一玻片HPl在所述的玻璃薄片的后方,并且所述的二分之一玻片HPl与所述的钕YAG纳秒激光器输出的可调脉冲激光垂直相交;所述的偏振片在所述的二分之一玻片HPl的后方,并且所述的偏振片与所述的钕YAG纳秒激光器输出的可调脉冲激光垂直相交;所述的反射镜Ml在所述的偏振片的后方,所述的反射镜Ml与所述的玻璃薄片垂直,并且所述的反射镜Ml与所述的钕YAG纳秒激光器输出的可调脉冲激光相交;所述的二分之一玻片HP2与所述的氦氖连续激光器输出的连续激光垂直相交;所述的偏振分束片在所述的二分之一玻片HP2的后方,并且所述的偏振分束片与所述的氦氖连续激光器输出的连续激光垂直相交;所述的二相色镜在所述的钕YAG纳秒激光器输出的可调脉冲激光经过所述的反射镜Ml的反射方向上,并且所述的二相色镜与所述的反射镜Ml反射
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