一种日盲紫外光电阴极响应波段外的光谱响应测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于一种日盲紫外像增强器和日盲紫外探测器制造中的测
[0002] 试装置，具体是一种对其日盲紫外光电阴极响应波段外的积分光谱响应测试装 置。通过波段外的光谱响应值来指导制作光电阴极的技术改进。
【背景技术】
[0003] 紫外线通常指波长在10~400nm范围内的福射，其中200-280nm波段的紫外线由 于大气层中臭氧等气体的强烈吸收和散射，使得大部分不能到达地球最表面，因此在200-280nm波段的紫外线在最近地面的福照度低于1(T"W/m2,所W该个波段通常被称为日盲紫 外波段。目前使用的日盲紫外像增强器和日盲紫外探测器见图1，主要由阴极石英玻璃输入 窗1、紫外光电阴极2、微通道板3、巧光屏4、阳极光学玻璃输出窗5及管壳6组成。主要用 于吸收日盲紫外波段的紫外线，并将紫外图像信号转换成可见光图像信号或视频信号进行 观察和测量。通过应用，给我国的军事、科研及民用行业做出了重要贡献。
[0004] 然而我们有的日盲紫外像增强器和日盲紫外探测器的整机仪器在实际应用中经 常出现分辨率降低，目标模糊不清，根本就达不到观察和探测的效果，严重影响到军事、科 研及对民用特殊任务的完成。为什么呢？究其原因，因为日盲紫外像增强器和日盲紫外探 测器是整机仪器的核屯、器件，而日盲紫外光电阴极下简称蹄飽光电阴极）又是日盲紫外 像增强器和日盲紫外探测器的关键部件，直接原因就是与日盲紫外光电阴极制作的工艺质 量有关。通常根据技术要求，蹄飽光电阴极的响应在200-320nm波段范围W内（见图2)， 也称波段内光谱响应。但是由于工艺上的种种原因，长波的响应可W延伸的更长，只是响应 非常低而已，如对633nm的波长，光谱响应约1(T5~l(T6mA/W，尽管蹄飽光电阴极在可见光波 段的光谱响应较低，但遇到强较的可见光，如太阳光，那么蹄飽光电阴极也可W产生较大的 光电流，也可W在仪器上看到太阳的像，该样当白天使用紫外观察仪或紫外探测仪时，太阳 光就会产生干扰，使目标模糊不清，对所观察和探测的目标会造成错觉，有时就直接导致日 盲紫外像增强器和日盲紫外探测器报废。为了使蹄飽光电阴极对太阳光和其它较强可见光 不响应，排出太阳光的干扰，就要求蹄飽光电阴极对波长大于320nmW上的可见光的响应 尽量低，越低越好。（对波长大于320nmW上的光谱响应又称为波段外光谱响应)。
[0005] 要求蹄飽光电阴极对波段外光谱响应尽量低，就要知道每支日盲紫外像增强器和 日盲紫外探测器的蹄飽光电阴极对波段外光谱响应值是多少，来判断蹄飽光电阴极是否合 格，来指导我们改进蹄飽光电阴极的制作工艺技术。由于蹄飽光电阴极的波段外光谱响应 非常低，在测量较低的光谱响应时，往往需要较高的单色入射光激励和较低的微弱电流测 量表，如果单色入射光的功率较强，所产生的光电流较大，电流测量可做到准确，但输入光 的功率较强，容易毁坏日盲紫外像增强器和日盲紫外探测器中的光电阴极W及微通道板， 使器件报废。而如果所采用的单色入射光功率较低，则所产生的光电流较小，较难准确的测 量光电流值，同样不能对蹄飽光电阴极作出波段外光谱响应大小的准确评价。为了提高和 稳定蹄飽光电阴极的性能质量，减少废品率，降低成本，必须寻求一种新的测试方式，对蹄 飽光电阴极的波段外光谱响应进行准确测量。 【实用新型内容】
[0006] 本实用新型的主要任务和目的是，根据现行的蹄飽光电阴极制作中缺少波段外光 谱响应测试方式。设计一种测试装置，测出波长大于320nmW上的所有波长的光谱响应积 分值，来表示蹄飽光电阴极对波段外光谱响应的大小，从而指导制作蹄飽光电阴极的工艺 技术改进，有效地提高和稳定蹄飽光电阴极的性能质量，减少废品率，降低成本，满足所属 产品的使用技术要求。
[0007] 本实用新型的主要技术方案是：测试装置包含面素灯、灯箱、4 3mm光栏、4 5mm光 栏、遮光片、滤光片箱、滤光片框、紫外截止滤光片、暗箱、测试光栏、被测件、夹具、电流表、 后连接筒、测量电源、灯电源、前连接筒，具体结构；A、将面素灯安装在灯箱内，灯箱通过前 连接筒与滤光片箱连接，面素灯与灯电源连接，前连接筒内装有4 3mm光栏、4 5mm光栏，滤 光片箱内装有遮光片、滤光片框，滤光片框装有紫外截止滤光片；B、滤光片箱与暗箱通过后 连接筒连接，暗箱内安装一个夹具，在夹具支架上装有测试光栏，测试光栏后面紧贴夹具支 架的右面放置被测件，由夹具定位夹紧，被测件的蹄飽光电阴极、微通道与测量电源接通， 中间串联一个电流表形成回路；C、在测试装置中，保证面素灯的中屯、到被测件蹄飽光电阴 极面的距离为582mm。
[000引本实用新型通过试用证明；完全达到研制目的，@能够准确地测出蹄飽光电阴 极的波段外光谱响应值，操作方便，效率高。哲、该装置是在日盲紫外像增强器的研发和生 产中不可缺少的工具，为了减小蹄飽光电阴极波段外的光谱响应，需要对工艺进行优化，如 对蹄飽（CssTe)光电阴极在制作过程中，Cs的量偏多，蹄飽光电阴极波段外的光谱响应会 变大，反之如果Cs的量偏少，蹄飽光电阴极波段内的光谱响应就会低，影响器件的性能，所 W通过测试来找到Cs与Te最佳的化学计量比。贷、所生产的蹄飽光电阴极是否达使用的 技术要求，也需要对其波段外光谱响应测试。因此波段外光谱响应值已成为蹄飽光电阴极 关键技术指标之一。日盲紫外像增强器和日盲紫外探测器，它们所装配的整机仪器，在实际 应用中尤其是在太阳下使用，未发现分辨率降低，观察探索目标模糊不清及报废的现象，效 果明显提高。感、将该测试装置卸下几个主要零部件和更换其它零部件，也可W做其它像增 强器的光谱效应测试，可一仪多用。
【附图说明】
[0009] 下面结合附图，对本实用新型作进一步详细地描述。
[0010] 图1，是日盲紫外像增强器的结构示意图，也是日盲紫外探测器的结构示意图，两 者的工作原理相同，结构也基本相同，所差别在于日盲紫外探测器是日盲紫外像增强器的 后面装有一个电荷禪合器件（CCD)。
[0011] 图2,是日盲紫外光电阴极的光谱响应曲线图。
[0012] 图3,是本实用新型的装配结构示意图。
[0013]图4,是本实用新型的紫外截止滤光片14的波长大于320nmW上的光谱透过率曲 线图。
【具体实施方式】
[0014] 参照图3,对本实用新型的主要技术方案进行说明；本发明由面素灯7、灯箱8、 4 3mm光栏9、4 5mm光栏10、遮光片11、滤光片箱12、滤光片框13、紫外截止滤光片14、暗 箱15、测试光栏16、被测件旧盲紫外像增