错位样品架水平振动装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种振动装置，具体的说是一种错位样品架水平振动装置。
【背景技术】
[0002] 错位样品架振动装置主要使用在精密物理实验用靶环境模拟实验系统内，主要是 通过激振器对样品进行振动，振动完成后通过CCD成像系统对样品位移、形变、断裂等状态 进行测量及观测。
[0003] 因为在振动时，振动的样品需要在真空条件下运行，因此样品需要放置在真空室 内，由于是真空条件，激振器无法在真空条件下使用，只能放在真空室外面；样品需要CCD 进行采集，但每次安装样品不是那么准确，需要移动样品，移动样品后样品与激振器就不在 一个轴线上，现在市场上设计的错位样品架之间都是通过通过连杆装置连接，结构相对也 比较复杂，解决由于移动不同心的问题，但是由于激振器振动时产生的加速度大（10G)，频 率高（100HZ)，因此对于系统的破坏能力很强，市场现有的装置很难满足长时间使用要求， 经常需要更换，时间成本和物质成本都大大提高，增加了实验的费用，这也是客户和生产厂 家比较棘手的问题，近几年来也没有好的解决方案。 【实用新型内容】
[0004] 针对现有技术中精密物理实验用靶在安装样品和抽真空时样品中心与激振器中 心发生位移导致连杆需要经常更换等不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种即使 样品中心线与激振器不在同一个轴线也能将激振器的力传递到样品加上的错位样品架水 平振动装置。
[0005] 为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
[0006] 本实用新型错位样品架水平振动装置，包括移动样品架、振动组件以及步进电机， 其中移动样品架设于真空室内，通过水平方向的传动装置与步进电机的输出轴传动连接， 振动组件在真空室外，其输出端通过水平设置的柔性顶杆穿过真空室壁抵接于移动样品架 的触动位置。
[0007] 振动组件包括水平激振源、波纹管、轴承以及柔性顶杆，其中水平激振源固定安装 在一隔振平台上，水平激振源输出端通过焊接波纹管敲击装置与真空室连接，波纹管敲击 装置的敲击杆通过直线轴承定位，敲击杆顶头安装柔性顶杆。
[0008] 在水平激振源输出端的支架上同轴安装一平衡弹簧。
[0009] 本实用新型具有以下有益效果及优点：
[0010] 1.本实用新型采用柔性顶杆装置，使技术样品中心线与激振器即使不在同一个轴 线也能将激振器的力传到递样品上，并且可靠性很高，填补了国内这一空白。
【附图说明】
[0011] 图1为本实用新型在精密物理实验用靶中的位置示意图；
[0012] 图2为本实用新型结构示意图。
[0013] 其中，1为C⑶采集窗口，2为真空室，3为样品，4为移动样品架，5为振动组件，6 为步进电机，7为水平激振源，8为平衡弹簧，9为焊接波纹管，10为直线轴承，11为顶杆，12 为柔性顶杆。
【具体实施方式】
[0014] 下面结合说明书附图对本发明作进一步阐述。
[0015] 如图1所示，本实用新型错位样品架水平振动装置，包括移动样品架4、振动组件5 以及步进电机6,其中移动样品架4设于真空室2内，通过水平方向的传动装置与步进电机 6的输出轴传动连接，振动组件5在直空室2外，其输出端的柔性顶杆12穿过真空室壁抵接 于移动样品架4的触动位置。
[0016] 如图2所示，振动组件包括水平激振源、波纹管、轴承以及柔性顶杆，其中水平激 振源固定安装在一隔振平台上，水平激振源输出端通过焊接波纹管敲击装置与真空室连 接，波纹管敲击装置的敲击杆通过直线轴承定位，敲击杆顶头安装柔性顶杆。
[0017] 同时在水平激振源7输出端的支架上同轴安装一平衡弹簧（本实施例采用压簧）， 用来抵消抽真空对激振器产生的力，经计算力的大小大约为5N，如果不抵消该力的话，会 直接影响加速度的，因为如果向抽真空方向运动时，加上5N的力，如果反方向运动时，减去 5N的力，来保证测量的准确性；
[0018] 柔性顶杆12是连接水平激振源7和样品3的零件，特点是可以在柔性发生位移的 情况下也可正常工作，可以将水平激振源7的力传递到样品3上，但是角度不能大于10度。
[0019] 移动样品架4有X轴平移功能具，通过步进电机6控制，主要是防止样品3在抽真 空时发生位移变化，将位移的样品3重新返回到CCD采集视野以内。
[0020] 本实用新型中水平激振源7的振动频率为0~100HZ;加速度：IOG;样品X移动范 围分别为±5mm，全部电动控制；水平激振源7选用小型电动式振动台，采用稀土钕铁硼永 磁材料；具有体积小、重量轻、频率范围宽、结构合理、可靠性高的特点。
[0023] 本实用新型工作过程如下：
[0024] 将样品3放到移动样品架4上固定，关闭真空室2前门，抽真空3. 0X10 4Pa，检查 样品3是否在CCD的检测视野以内，如果不在CCD视野内，调节移动样品架4的X轴传动， 将样品3移动到CCD范围内（由于柔性顶杆12的特性，柔性顶杆12可以有位置变换，启动 水平激振源7,加速度调到10G，频率调到100Hz，运行一段时间后，关闭激振器，通过C⑶成 像系统对样品3位移、形变、断裂等状态进行测量及观测。
[0025]在使用柔性顶杆12时注意，柔性顶杆12弯曲角度不易大于5度，否则水平激振源 7上的力将无法正常传递到样品3上。
【主权项】
1. 一种错位样品架水平振动装置，其特征在于：包括移动样品架、振动组件以及步进 电机，其中移动样品架设于真空室内，通过水平方向的传动装置与步进电机的输出轴传动 连接，振动组件在真空室外，其输出端通过水平设置的柔性顶杆穿过真空室壁抵接于移动 样品架的触动位置。2. 按权利要求1所述的错位样品架水平振动装置，其特征在于：振动组件包括水平激 振源、波纹管、轴承以及柔性顶杆，其中水平激振源固定安装在一隔振平台上，水平激振源 输出端通过焊接波纹管敲击装置与真空室连接，波纹管敲击装置的敲击杆通过直线轴承定 位，敲击杆顶头安装柔性顶杆。3. 按权利要求2所述的错位样品架水平振动装置，其特征在于：在水平激振源输出端 的支架上同轴安装一平衡弹簧。
【专利摘要】本实用新型涉及一种错位样品架水平振动装置，包括移动样品架、振动组件以及步进电机，其中移动样品架设于真空室内，通过水平方向的传动装置与步进电机的输出轴传动连接，振动组件在真空室外，其输出端通过水平设置的柔性顶杆穿过真空室壁抵接于移动样品架的触动位置。本实用新型采用柔性顶杆装置，使技术样品中心线与激振器即使不在同一个轴线也能将激振器的力传到递样品上，并且可靠性很高，填补了国内这一空白。
【IPC分类】G01M7/02
【公开号】CN204788864
【申请号】CN201520494026
【发明人】慈连鳌
【申请人】沈阳腾鳌真空技术有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年7月9日