反射镜，6-激光源单元，7-PSD组，8-初始位置测量激光源单元，9-初始位置反射面。
【具体实施方式】
[0025]下面结合试验例及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本【实用新型内容】所实现的技术均属于本实用新型的范围。
实施例
[0026]如图所示，一种新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，包括激光源1、固定平面反射镜2、分光镜3、干涉测量光电探测器4、移动反射镜5，所述激光源I包括至少两个激光源单元6，每个所述激光源单元6各自射出一束激光束，各个所述激光源单元6射出激光束的波长各不相等。
[0027]本申请的多光源多波长激光干涉绝对测距仪，就单独其中一个激光源单元而言，其射出的激光束首先射向分光镜3，在分光镜3处分为两束激光束，其中一束激光束射向固定平面反射镜2，经固定平面反射镜2反射后再射向分光镜3，另一束激光束经分光镜3透射后射向移动反射镜5，经移动反射镜5反射后再次射向分光镜3，并在分光镜3处与另一束激光束发生干涉形成干涉激光束后射向干涉测量光电探测器4，如此，在干涉测量光电探测器4处探测到每个激光源单元6对应光路的干涉状态，即干涉相位，同时采用其他光路对移动反射镜5的初始距离进行测量，通过干涉测量光电探测器4检测到的干涉相位以及移动反射镜5的初始距离进行计算得到移动反射镜5绝对距离。由于采用了上述结构，即采用多个独立的激光源单元6组成激光源1，使得激光源I的结构简单，设计难度低，降低了其制造和使用维护成本，提高测量效率。
[0028]作为本实施例的优选方案，所述新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪还包括有用于测量所述移动反射镜5初始位置的PSD组7 (位置敏感探测器，后续简称PSD组)，所述激光源I还包括有与所述PSD组7相对应的初始位置测量激光源单元8，所述移动反射镜5上还包括有与所述PSD组7和初始位置测量激光源单元8相对应的初始位置反射面9。在本实施例的绝对位置测距仪结构中，通过设置PSD组7、初始位置测量激光源单元8和初始位置反射面9，测量过程中，初始位置测量激光源单元8发出激光束射向初始位置反射面9，经初始位置反射面9反射后射向PSD组7，以此直接测量出移动反射镜5的初始距离，而传统结构的绝对距离检测仪，是需要通过其它仪器实现距离初值的测量，测量效率较低，所以本实施例的测距仪进一步的提高了测量效率。
[0029]作为实施例的进一步优选方案，所述PSD组7为至少两组，所述初始位置测量激光源单元8和初始位置反射面9的数量与所述PSD组7的数量相同。初始位置测量激光源单元8、初始位置反射面9的数量、所述PSD组7之间——对应，即通过多组PSD组7、初始位置测量激光源单元8、初始位置反射面9对初始位置进行测量，提高测量的精度。
[0030]作为本实施例的进一步优选方案，所述移动反射镜5呈棱台状。将移动反射镜5设置为棱台状，棱台的其中一底面作为与分光镜3相配合的反射面，棱台的其中一个或者几个侧面作为初始位置反射面9，使得与分光镜3相配合的反射面和初始位置反射面9之间结构稳定统一，方便本申请测距仪的调整和使用。
[0031]作为本实施例的进一步优选方案，所述PSD组7为一维PSD组。
[0032]作为本实施例的另一优选方案，所述PSD组7为二维PSD组。采用二维PSD组不仅可以实现一位PSD组的测量功能，还可以检测移动反射镜绕入射激光束的旋转角。
[0033]以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但本实用新型不局限于上述【具体实施方式】，因此任何对本实用新型进行修改或等同替换；而一切不脱离发明的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
【主权项】
1.一种新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，包括激光源、固定平面反射镜、分光镜、干涉测量光电探测器、移动反射镜，其特征在于，所述激光源包括至少两个激光源单元，每个所述激光源单元各自射出一束激光束，各个所述激光源单元射出激光束的波长各不相等。2.根据权利要求1所述的新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，其特征在于，还包括有用于测量所述移动反射镜初始位置的PSD组，所述激光源还包括有与所述PSD组相对应的初始位置测量激光源单元，所述移动反射镜上还包括有与所述PSD组和初始位置测量激光源单元相对应的初始位置反射面。3.根据权利要求2所述的新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，其特征在于，所述PSD组为至少两组，所述初始位置测量激光源单元和初始位置反射面的数量与所述PSD组的数量相同。4.根据权利要求2所述的新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，其特征在于，移动反射镜呈棱台状。5.根据权利要求2-4任意一项所述的新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，其特征在于，所述PSD组为一维PSD组。6.根据权利要求2-4任意一项所述的新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，其特征在于，所述PSD组为二维PSD组。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪，包括激光源、固定平面反射镜、分光镜、干涉测量光电探测器、移动反射镜，所述激光源包括至少两个激光源单元，每个所述激光源单元各自射出一束激光束，各个所述激光源单元射出激光束的波长各不相等。在本申请中由于采用多个独立的激光源单元组成激光源，使得激光源的结构简单，设计难度低，降低了其制造和使用维护成本，同时本实用新型采用光电检测装置获取移动反射镜的粗测距离，提高了测量效率。
【IPC分类】G01B11/02
【公开号】CN204807041
【申请号】CN201520330491
【发明人】张白, 康学亮, 周春艳
【申请人】北方民族大学
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年5月21日