晶片频率测试装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种晶片频率测试装置，该装置包括金属探头、金属台面、固定架和频率测试仪器，其中金属探头的顶端通过弹性组件连接固定架，底端设置有与金属台面平行的金属片；频率测试仪器用于向金属台面施加不同频率的交流电源，并在不同频率的交流电源下，对置于金属片与金属台面之间的晶片的振幅进行测量，从而形成晶片的幅频曲线，以根据幅频曲线确定晶片的谐振频率。通过本实用新型，可以降低晶片性能测试过程中对晶片的损坏，并可以提高晶片频率测试的准确度。
【专利说明】
晶片频率测试装置
技术领域
[0001]本实用新型属于晶片制造生产技术领域，具体涉及一种晶片频率测试装置。【背景技术】
[0002]随着电子制造业的不断发展，晶片被广泛应用于电子制造中，如何对晶片的性能进行有效地测试，从而获得合格的晶片成为人们关注的问题。目前，在对晶片的频率性能进行测试时，一般采用“接触式”测试方法，即通常首先采用两个金属探头压住晶片，然后向两个金属探头分别施加交流电源，根据在不同交流电源频率下两个金属探头与晶片的组合的振幅来确定晶片的谐振频率。然而，该方法在将两个金属探头压住晶片时可能对晶片造成损坏，并且经研究发现，该方法测试得出的晶片谐振频率相比于晶片实际谐振频率较低，即该方法测试得出的晶片谐振频率的准确度较低。而采用“空气隙”测试方法，上方的金属探头离开晶片表面一定的距离来感应晶片的振动，会造成一定的能量损失，在频率测试仪器上测试的幅频曲线响应较弱，幅度最大对应的频率点不准确，也不能准确测试出晶片的谐振频率。【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供一种晶片频率测试装置，以解决目前在对晶片进行频率测试时容易损坏晶片和准确度较低的问题。
[0004]根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种晶片频率测试装置，包括金属探头、 金属台面、固定架和频率测试仪器，其中所述金属探头的顶端通过弹性组件连接所述固定架，底端设置有与所述金属台面平行的金属片；
[0005]所述频率测试仪器用于向所述金属台面和所述金属片之间依次施加不同频率的交流电源，并在所述不同频率的交流电源下，对置于所述金属片与所述金属台面之间的晶片的振幅进行测量，从而形成所述晶片的幅频曲线，以根据所述幅频曲线确定所述晶片的谐振频率。
[0006]在一种可选的实现方式中，所述幅频曲线中幅值最尚点对应的频率即为所述晶片的谐振频率。
[0007]在另一种可选的实现方式中，所述金属片的面积随着所述晶片的预期谐振频率、 机电耦合系数的增大而减小，随着所述晶片尺寸的减小而减小且所述金属片面积小于所述晶片的面积。
[0008]在另一种可选的实现方式中，所述金属探头采用螺纹连接的方式固定在所述固定架中。
[0009]在另一种可选的实现方式中，所述频率测试仪器的测量端与所述弹性组件、所述金属探头和所述金属片中任意一个进行连接，以对置于所述金属片与所述金属台面之间的晶片的振幅进行测量。
[0010]在另一种可选的实现方式中，所述频率测试仪器用于在所述不同频率的交流电源下，对置于所述金属片与所述金属台面之间的晶片的居中区域的振幅进行测量。
[0011]本实用新型的有益效果是:
[0012]1、本实用新型的晶片频率测试装置中频率测试仪器对与晶片接触的金属台面和晶片正上方的金属片之间依次施加不同频率的交流电源，因此在金属片与金属台面之间会形成不同频率的交流电场，晶片在不同频率的交流电场下可以发生振动，另外由于金属片固定在金属探头底端而金属探头顶端通过弹性组件连接固定架，晶片在振动过程中弹性组件会给金属探头一个向上的拉力，因此可以减轻金属探头和金属片对晶片振动的影响，从而使频率测试仪器测试出的振幅能够更加准确地反映出晶片的实际振动情况，进而可以提高晶片谐振频率的测试准确度;此外，本实用新型通过将金属片固定在金属探头底端而金属探头顶端通过弹性组件连接固定架，可以使晶片在置于金属片与金属台面之间后，金属片、晶片和金属台面相互之间可以良好接触，但又不至于对晶片造成损坏；
[0013]2、本实用新型通过使金属片的面积随着晶片的预期谐振频率、机电耦合系数的增大而减小，随着晶片尺寸的减小而减小，可以提尚晶片的频率测试准确度；
[0014]3、本实用新型通过使金属片的面积小于晶片的面积，可以提高晶片的频率测试准确度；
[0015]4、本实用新型通过将金属探头采用螺纹连接的方式固定在固定架中，可以方便测试人员根据晶片的预期谐振频率、机电耦合系数和尺寸来更换金属片，从而可以提高该晶片频率测试装置的适用范围；
[0016]5、本实用新型通过将频率测试仪器的测量端连接可以反映晶片振动情况的弹性组件或金属探头或金属片，而非直接连接晶片，可以降低振幅测量过程对晶片振动的影响；
[0017]6、本实用新型通过将晶片的居中区域置于金属片与金属台面之间进行频率测试， 由此可以进一步提高晶片的频率测试准确度。【附图说明】
[0018]图1是本实用新型晶片频率测试装置的一个实施例结构图。【具体实施方式】
[0019]为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型实施例中的技术方案，并使本实用新型实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型实施例中技术方案作进一步详细的说明。
[0020]在本实用新型的描述中，除非另有规定和限定，需要说明的是，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。[〇〇21]参见图1，为本实用新型晶片频率测试装置的一个实施例结构图。该晶片频率测试装置可以包括金属探头110、金属台面120、固定架130和频率测试仪器140,其中金属探头 110的顶端可以通过弹性组件150连接固定架130,顶端可以设置有与金属台面120平行的金属片160,频率测试仪器140可以用于向金属台面120和金属片160之间依次施加不同频率的交流电源，并在不同频率的交流电源下，对置于金属片160与金属台面120之间的晶片170的振幅进行测量，从而形成该晶片170的幅频曲线，以根据该幅频曲线确定该晶片170的谐振频率。
[0022]本实施例中，在对晶片的频率特性进行测试之前，金属探头110顶端连接的弹性组件150可以处于拉伸状态，且金属探头110底端连接的金属片160与金属台面120之间可以存在预设的距离(该预设的距离可以小于对应晶片的设计厚度)。这样，当将晶片170置于金属片160与金属台面120之间时，金属片160、晶片170和金属台面120相互之间可以良好接触， 但又不至于对晶片170造成损坏。
[0023]在对晶片的频率性能进行测试时，可以首先将晶片170置于金属片160与金属台面 120之间，然后控制频率测试仪器140向金属台面120提供不同频率的交流电源，并在不同频率的交流电源下，对该晶片170的振幅进行测量，从而形成该晶片170的幅频曲线。此后，可以将该幅频曲线中幅值最高点对应的频率作为该晶片170的谐振频率。在确定晶片170的谐振频率后，可以判断测试得出的晶片170的谐振频率是否在预期谐振频率范围内，若是，则表示该晶片170的谐振频率满足要求，否则，表示该晶片170的谐振频率不满足要求。
[0024]经研究发现，当金属片的面积大于晶片的面积时，在对晶片进行频率测试时相当于加大了晶片的质量负载，可能导致测试得出的晶片谐振频率小于实际的晶片谐振频率， 从而导致晶片的频率测试准确度较低。基于此，本实用新型通过使金属片的面积小于晶片的面积，可以提高晶片的频率测试准确度。
[0025]经研究发现，相同面积的金属片用于对不同预期谐振频率、不同材料和不同尺寸的晶片进行频率测试时，频率测试准确度不尽相同。通常随着晶片的预期谐振频率、机电耦合系数(可用于表征晶片材料)的增大而减小金属片面积，则可以提高晶片的频率测试准确度，并且随着晶片尺寸的减小而减小金属片面积，也可以提高晶片的频率测试准确度。在本实施例中，金属探头110可以采用螺纹连接的方式固定在固定架130中，当每个金属探头底端设置的金属片面积不同时，可以采用更换金属探头的方式来更换不同面积的金属片。本实用新型通过将金属探头采用螺纹连接的方式固定在固定架中，可以方便测试人员根据晶片的预期谐振频率、机电耦合系数和尺寸来更换金属片，从而可以提高该晶片频率测试装置的适用范围。
[0026]另外，经研究发现，晶片居中区域的谐振频率能够更好地反映整个晶片的谐振频率，因此本实用新型在对晶片进行频率测试时，可以将晶片170的居中区域置于金属片160 与金属台面120之间，由此可以进一步提高晶片的频率测试准确度。需要注意的是:上述弹性组件150可以为弹簧、海绵等，由于金属片160通过金属探头110、弹性组件150连接固定架，晶片170在振动的同时也会带动金属片160、金属探头110和弹性组件150发生振动，因此频率测试仪器140在对晶片的振幅进行测量时，可以将其测量端与弹性组件150、金属探头 110和金属片160中任意一个进行连接。本实用新型通过将频率测试仪器的测量端连接可以反映晶片振动情况的弹性组件或金属探头或金属片，而非直接连接晶片，可以降低振幅测量过程对晶片振动的影响。
[0027]由上述实施例可见，本实用新型的晶片频率测试装置中频率测试仪器对与晶片接触的金属台面和晶片正上方的金属片之间依次施加不同频率的交流电源，因此在金属片与金属台面之间会形成不同频率的交流电场，晶片在不同频率的交流电场下可以发生振动， 另外由于金属片固定在金属探头底端而金属探头顶端通过弹性组件连接固定架，晶片在振动过程中弹性组件会给金属探头一个向上的拉力，因此可以减轻金属探头和金属片对晶片振动的影响，从而使频率测试仪器测试出的振幅能够更加准确地反映出晶片的实际振动情况，进而可以提高晶片谐振频率的测试准确度。此外，本实用新型通过将金属片固定在金属探头底端而金属探头顶端通过弹性组件连接固定架，可以使晶片在置于金属片与金属台面之间后，金属片、晶片和金属台面相互之间可以良好接触，但又不至于对晶片造成损坏。
[0028]本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由下面的权利要求指出。[〇〇29]应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。
【主权项】
1.一种晶片频率测试装置，其特征在于，包括金属探头、金属台面、固定架和频率测试 仪器，其中所述金属探头的顶端通过弹性组件连接所述固定架，底端设置有与所述金属台 面平行的金属片；所述频率测试仪器用于向所述金属台面和所述金属片之间依次施加不同频率的交流 电源，并在所述不同频率的交流电源下，对置于所述金属片与所述金属台面之间的晶片的 振幅进行测量，从而形成所述晶片的幅频曲线，以根据所述幅频曲线确定所述晶片的谐振频率。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述幅频曲线中幅值最高点对应的频率即 为所述晶片的谐振频率。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属片的面积随着所述晶片的预期谐 振频率、机电耦合系数的增大而减小，随着所述晶片尺寸的减小而减小且所述金属片面积 小于所述晶片的面积。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属探头采用螺纹连接的方式固定在 所述固定架中。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述频率测试仪器的测量端与所述弹性组 件、所述金属探头和所述金属片中任意一个进行连接，以对置于所述金属片与所述金属台 面之间的晶片的振幅进行测量。6.根据权利要求1或5所述的装置，其特征在于，所述频率测试仪器用于在所述不同频 率的交流电源下，对置于所述金属片与所述金属台面之间的晶片的居中区域的振幅进行测量。
【文档编号】G01H13/00GK205580591SQ201620362589
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年4月26日
【发明人】陈仲涛, 彭胜春, 阳皓, 杨莉, 周哲, 许卫群, 唐平, 陈映梅, 刘春蓉, 王洁, 刘祖琴
【申请人】中国电子科技集团公司第二十六研究所