上位控制装置、下位控制装置、画面操作权授予方法及存储了画面操作权授予程序的存储介质的制作方法

专利名称：上位控制装置、下位控制装置、画面操作权授予方法及存储了画面操作权授予程序的存储介质的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种控制在用于控制基板处理装置或者输送装置的下 位控制装置的显示部上能够显示的画面群的操作权的授予的上位控制 装置、要求画面的操作的下位控制装置、画面的操作权授予方法以及存 储画面操作权授予程序的存储介质。
背景技术：
一直以来，提供如下系统，其通过在无尘室内设置对基板实施规定 的处理的多个基板处理装置以及输送基板的输送装置，并且，将控制多
个基板处理装置以及输送装置的下位PC ( Personal Computer:个人计 算机)分别设置在无尘室内的各装置的附近，并且，在无尘室外设置上 位PC,上位PC与下位PC经由网络交换信息，由此使用上位PC遥控 地控制基板处理。根据该系统，通过上位PC进行遥控操作，尽可能抑
制人进出无尘室，由此可以将无尘室内的污染保持于最小限度。
在这种遥控控制系统中，上位PC的显示部和下位PC的显示部， 共有地显示相同的画面群，在正常动作中，上位PC具有画面的操作权， 在无尘室内的各装置发生了异常时等处于特别状况时，下位PC会从上 位PC临时被授予同画面的操作权(例如，参照日本特开2004-348605 号公报)。
但是，根据现有的系统，可以将画面的操作权交给上位PC或者下 位PC中的任一方，但是具有画面的操作权的PC仅限于一台。因而， 在一个PC具有操作权时，无法使用其他PC操作在其他PC上显示的 画面，即使向其他PC通知了画面的操作要求，到画面的操作权移交到 其他的PC为止，操作人员必须等待很久，因而效率低。
进而，近年来，在群构造的系统中包含的基板处理装置的数量有增加的倾向。因此，具有画面的操作权的PC以外的下位PC的数目增加， 即使是在这些下位PC想操作画面时，从画面的操作权被转移到本机为 止还需要等很久。其结果，操作人员必须去具有画面操作权的PC (通 常是上位PC)所在的地方来操作该PC的画面，是非常不便的。
特别地，在使被导入工厂内的系统过渡到稳定的量产体制的前阶 段，预想将无尘室内的各装置(基板处理装置和输送装置)作为评价机 发挥功能时，产生例如基板碰撞到输送装置等在各装置产生各种异常的
情况。此时，与在上位PC进行遥控操作相比，通过操作在各装置的附 近配置的下位PC的画面，更容易并有效地在确认各装置的状态的同时
控制各装置的动作。

发明内容
在此，本发明提供一种控制对要求画面操作的下位控制装置是否授 予特定的画面群的操作权的上位控制装置、要求画面操作的下位控制装 置、画面操作权授予方法以及存储了画面操作权授予程序的存储介质。
即，为了解决上述课题，根据本发明的第一方面，提供一种上位控 制装置，其经由网络连接具有能够显示用于操作基板处理装置的画面群 的显示部的第一下位控制装置、和具有能够显示用于操作输送装置的画 面群的显示部的第二下位控制装置，并具有能够显示在上述第一下位控 制装置的显示部被显示的画面群和在第二下位控制装置的显示部被显 示的画面群的显示部，且控制上述第一下位控制装置以及上述第二下位 控制装置。
该上位控制装置具备画面数据库，其分别存储在上述第一下位控制 装置的显示部上能够显示的画面群以及在上述第二下位控制装置的显示 部上能够显示的画面群；画面确定部，其根据从上述第一下位控制装置或
者上述第二下位控制装置中的任一个发送来的画面的IMt要求，从在上述 画面数据库中存储的多个画面群中确定要求了上述操作的画面群；操作权 判断部，其判断由上述画面确定部确定出的画面群的操作权是否分配给 上述要求了的下位控制装置；操作权授予部，其在通过上述操作权判断 部判断为将上述画面群的操作权分配给上述提出要求的下位控制装置 的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装置对不 同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以外的画 面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予给上述 提出要求的下位控制装置。
据此，通过上位控制装置按被操作要求的每个画面群判断是否分配 了操作画面的权利。由此，不必变更由下位控制装置提出操作要求的画 面群以外的画面群的操作权的授予对象，可以将被操作要求的画面群的 操作权的操作权授予上述提出要求的下位控制装置。其结果，操作人员， 针可以针对提出要求操作的下位控制装置，通过操作该下位控制装置的 画面确认产生了异常的装置的状态同时控制该装置，针对其他装置，可 以通过遥控操作上位控制装置的画面统一地控制系统整体。
这样，各操作人员，可以使用由上述第一下位控制装置、上述第二 下位控制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中、不同的两 个以上的控制装置，对不同的画面群同时独立地进行操作。由此，可以 解决操作画面的控制装置仅限于一台，想要操作此外的控制装置时，无 法立即使用自己的控制装置自由地操作画面的不良情况，可以向用户提 供操作性高的系统。
也可以，在上述确定出的画面群的操作权被授予了上述多个控制装 置中、上述提出要求的下位控制装置以外的控制装置时，上述操作权判
断部判断为在被授予了上述操作权的控制装置中正执行的处理结束之 后，将上述确定出的画面群的操作权授予上述提出要求的下位控制装 置。
此外，也可以，在由上述上位控制装置要求操作的画面群的操作权 被授予给某一个下位控制装置时，上述操作权判断部判断为在上述某 一个下位控制装置中正执行的处理结束之后，将上述被要求的画面群的 操作权授予上述上位控制装置。
根据这些判断方法，只有上位控制装置的操作权判断部可以判断是 否授予画面的操作权。由此，可以消除从多个控制装置对相同的画面群 几乎同时提出操作要求时产生的死锁等，消除在多个控制装置控制操作 权的授予时可能产生的系统上的问题。其结果，不必使作为主要业务的控制重要度最高的基板处理的控制系统的稳定性降低，就可以提高使用 效率。
由此，操作人员不仅可以高效率地操作画面，并且可以通过按照周 围的状况的变化灵活地操作上位控制装置或者下位控制装置的画面，由 此减少操作失误。其结果，可以提高产品的生产效率。
也可以，在从上述多个控制装置要求了相同画面群的操作时，上述
操作权判断部判断为按照预先确定的优先顺序，在上述多个控制装置 中从优先顺序高的控制装置开始按顺序分配上述被要求的画面群的操 作权。
也可以，上述操作权判断部，判断是否预先禁止对要求了上述操作 的控制装置授予操作权，在禁止时，判断为不对要求了上述操作的控制 装置分配操作权。
由此，根据预先设定的条件，可以判断上述被要求了的画面群的操 作权是否分配给了提出要求的控制装置。例如，上位控制装置和下位控 制装置，在几乎同时间要求了相同画面群的操作时，如果预先将上位控 制装置的优先顺序设定得高于下位控制装置，则可以将所要求的画面群 的操作权优先授予上位控制装置。
其结果，例如，在任一个基板处理装置上产生异常时，操作人员可 以使用配置在产生异常的基板处理装置的附近的下位控制装置的画面， 在确认基板处理装置的状态的同时进行操作。另一方面，针对被要求了 操作的画面群以外的画面群，不必使该操作权的授权对象变化，可以通 过其他的控制装置(通常是上位控制装置)来操作，因此可以显著地减 少操作各控制装置的操作人员的操作等待时间。
上位控制装置也可以还具备输入部，其在由上述^Mt权授予部给上 述上位控制装置授予了操作权时，接受使用在被授予了上述操作权的上位 控制装置的显示部上显示的画面所输入的信息；通信部，其在由上述操作 权授予部给某一下位控制装置授予了操作权时，从被授予了上述操作权的 下位控制装置中接收使用在被授予了上述操作权的下位控制装置的显示 部上所显示的画面所输入的信息；存储部，其存储表示了在上述基板处理装置中执行的多个基板处理的顺序的配方(recipe);处理执行控制部， 其基于在上述存储部中存储的各配方，并行地执行基于由上述通信部收 到的信息所执行的规定的处理、和基于由上述输入部接受的输入信息所 执行的其他的规定的处理。
由此，在某画面群的操作权在上位控制装置时，基于从上位控制装 置的画面输入的信息，按照相应于输入信息的处理顺序给基板实施规定 的处理。此外，在其他的某画面群的操作权在下位控制装置时，上位控 制装置接收到从下位控制装置的画面输入的信息，由此按照相应于接收 信息的处理顺序给基板实施其他规定的处理。
这样，向画面的输入操作变得有效的仅是具有操作权的控制装置， 由于按画面群将操作权授予任一个控制装置，因此操作人员可以对不同 控制装置显示的、不同的画面群同时独立地操作。
另一方面，基于向有效的画面的输入操作所进行的基板处理控制本 身都在上位控制装置执行。即，上位控制装置使用在各处理顺序显示的 配方控制工艺，下位控制装置基于上位控制装置的指令驱动各装置。
由此，上位控制装置的处理执行控制部，可以基于从具有操作权的 多个控制装置指示的信息(即，从下位控制装置接受到的信息和输入到 上位控制装置的信息)将多个处理并行地执行那样地进行控制。此外， 这样，不论有无画面的操作权，所有的实体处理都可以在上位控制装置 上控制，由此，可以避免用于完成各工艺的数据的不匹配，使系统可以 稳定地工作。
另外，作为规定的处理的一个例子，作为在基板处理装置中执行的 基板处理，可以举出，有机EL膜蒸镀处理、CVD (Chemical Vapor Deposition:化学蒸镀薄膜成膜法)处理、蚀刻处理、溅射处理，作为 在输送装置执行的处理可以举出基板的输送处理。
也可以，上述上位控制装置的显示部，基于由上述通信部对应于对 在被授予了上述操作权的下位控制装置的显示部上显示的画面的输入 操作而接收到的信息，更新在上述上位控制装置的显示部上显示的画面 的内容。由此，可以保持上述上位控制装置的显示画面的内容与授予了上述 操作权的下位控制装置的显示画面的内容的匹配性。
另一方面，也可以使上述上位控制装置的显示部，在下位控制装置 中的某一个被授予了上述操作权的情况下，在预先禁止了在上述上位控 制装置的显示部上显示被授予了上述操作权的画面群时，不显示上述画 面群。
由此，给某下位控制装置授予了操作权的画面群没有显示在上位控 制装置以及其他的下位控制装置的画面上。由此，可以防止将重要的信 息输出给没有操作权的控制装置的画面而使重要信息流出。
也可以，上述上位控制装置，与控制多个基板处理装置的多个第一下 位控制装置连接并且与第二下位控制装置连接，该第二下位控制装置与上
述多个基板处理装置邻接连接，并控制输iHi^L的输ili^置，上述画面数 据库，^r个画面群管理在上述多个第一下位控制装置的显示部上显示的 多个画面群、以及在上述第二下位控制装置的显示部上显示的画面群，上 述存储部，按每个配方管理由上述多个基板处理装置执行的多个基板处 理的处理顺序，上述操作权授予部，通过按上述画面数据库所管理的每 个画面群将画面的操作权授予上述多个控制装置中的任一个，以此来许 可不同的控制装置对不同的画面群同时独立地进行操作，上述处理执行 控制部，基于由上述存储部管理的各配方，并行排他地控制在上述多个 基板处理装置中执行的多个基板处理。
由此，包含多个第一下位控制装置的两个以上的控制装置可以对不 同的画面群同时独立地进行操作。此外，基于由上述存储部管理的各处 理顺序，可以并行并排他地控制在上述多个基板处理装置执行的多个基 板处理以及在上述输送装置执行的输送处理中的两个以上的处理。
也可以，上述多个第一下位控制装置，配置在^MLi殳置有上述多个^！ 处理装置的室内，并在上述多个基板处理装置的附近，上述第二下位控制 装置，配置在与被设置有上述多个^1处理装置的室内相同的室内，并在 与上述多个基仗处理装置相邻连接配置的上述输送装置的附近，上述上位 控制装置，配置在与上述室内隔离的室外，通过与各下位控制装置进行 信息的发送接收，控制在上述多个基板处理装置中执行的多个基板处理以及在上述输送装置中执行的输送处理，并且控制在上述各下位控制装 置的显示部上能够显示的画面群的操作权的授予。
由此，可以将多个基板处理装置以及输送装置配置在例如无尘室 内，进而，将控制多个基板处理装置以及输送装置的多个下位控制装置 设置在作为无尘室内的控制对象的装置的附近，并且在无尘室外设置上 位控制装置，上位控制装置与下位控制装置经由网络进行信息交换，从 而可以使用上位控制装置遥控操作无尘室内的各装置。由此，极力抑制 了人进出无尘室内，由此可以将无尘室内的污染保持在最小P艮度。
此外，根据相关构成，正常动作中，上位控制装置具有画面的操作 权，在无尘室内的基板处理装置产生了异常等情况下，在特别情况下， 下位控制装置仅从上位控制装置接受到特定画面群的操作权。由此，操 作人员，对于发生了异常的装置，可以使用被授予了操作权的下位控制 装置的画面，边确认异常产生装置的状态边进行操作，对其他的装置， 可以通过例如操作上位控制装置的画面进行遥控。
此外，为了解决上述课题，根据本发明的其他的技术方案，提供一种 下位控制装置，其经由网络与控制画面的操作权的上位控制装置连接，并 具备能够显示用于操作基板处理装置的画面群或者用于操作输送装置的
画面群中的任一个的显示部，其特征在于，具备画面数据库，其存储在 上述下位控制装置的显示部上能够显示的画面群；操作权要求部，其生成 用于要求在上述画面数据库中存储的画面群的操作权的信息；以及通信 部，在通过将由上述操作权要求部生成的操作权要求信息向上述上位控 制装置发送来要求画面的操作，根据发送来的操作权要求信息不必变更 上述所确定出的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，将被要求了 上述操作的画面群的操作权由上述上位控制装置授予了上述下位控制 装置的情况下，该通信部将使用授予了上述操作权的下位控制装置的显 示画面所输入的信息向上述上位控制装置发送，由此，上述上位控制装 置并行地执行基于从授予了上述操作权的下位控制装置发送来的信息 而执行的规定的处理、和基于使用在上述上位控制装置的显示部上显示 的画面所输入的信息而执行的其他的规定的处理。
由此，可以根据来自下位控制装置的操作要求，将所操作要求的画对象)授予给上述提出要求的下位控制装置。
此外，为了解决上述课题，本发明的其他的技术方案提供一种画面操 作权的授予方法，使用上位控制装置授予画面的操作权，该上位控制装置， 经由网络连接具有能够显示用于操作基板处理装置的画面群的显示部的 第一下位控制装置、和具有能够显示用于操作输送装置的画面群的显示部 的第二下位控制装置，并具有能够显示在上述第一下位控制装置的显示部 被显示的画面群和在第二下位控制装置的显示部被显示的画面群的显示 部，且控制上述第一下位控制装置以及上述第二下位控制装置，该画面操 作权的授予方法特征在于，将在上述第一下位控制装置的显示部上能够显 示的画面群以及在上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群 分别存储在画面数据库中，根据从上述第 一下位控制装置或者上述第二 下位控制装置中的任一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据 库中存储的多个画面群中确定被要求了上述操作的画面群，判断上述所 确定出的画面群的操作权是否分配给了上述提出要求的下位控制装置， 在判断出将上述画面群的操作权分配给了上述提出要求的下位控制装 置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控制装 置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装置对 不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以外的 画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予上述 提出要求的下位控制装置。
进而，为了解决上述课题，本发明的其他的技术方案提供一种存储介 质，其存储用于使计算机执行利用上位控制装置授予画面操作权的处理的 画面操作权授予程序，该上位控制装置，经由网络连接具有能够显示用于 操作基tl处理装置的画面群的显示部的第 一下位控制装置、和具有能够显
示用于^Mt输送装置的画面群的显示部的第二下位控制装置，并具有能够 显示在上述第一下位控制装置的显示部被显示的画面群和在第二下位控 制装置的显示部被显示的画面群的显示部，且控制上述第一下位控制装置 以及上述第二下位控制装置，该画面操作权授予程序特征在于，使计算机 执行以下处理将在上述第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群 以及在上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群分别存储在 画面数据库中的处理；根据从上述第一下位控制装置或者上述第二下位 控制装置中的任一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据库中存储的多个画面群中确定被要求了上述操作的画面群的处理；判断上述 所确定出的画面群的操作权是否分配给了上述提出要求的下位控制装 置的处理；在判断出将上述画面群的操作权分配给了上述提出要求的下
位控制装置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下 位控制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控 制装置对不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面 群以外的画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权 授予上述提出要求的下位控制装置的处理。
发明效果
如上述说明的那样，根据本发明可以给要求了画面的操作的控制装 置授予所要求的特定的画面群的操作权。


图l是本发明的第一以及第二实施方式的基板处理系统的概略图。
图2是该实施方式的无尘室内的各机器的配置图。
图3是该实施方式的PM2的纵剖图。
图4是该实施方式的PM4的立体图。
图5是该实施方式的PC的硬件构成图。
图6是该实施方式的上位PC的功能构成图。
图7是该实施方式的下位PC的功能构成图。
图8是例示了该实施方式的工艺配方C的一部分的图。
图9是表示该实施方式的操作要求中断处理的流程图。
图IO是表示第一实施方式的操作权授予处理的流程图。
图ll是在第一以及第二实施方式的上位PC的显示器上显示有无操 作权的画面的一个例子。图12是在该实施方式的PC的显示器上显示操作权的画面的一个 例子。
图13是表示该实施方式的工艺执行控制信息输入处理的流程图。
图14是表示该实施方式的工艺执行控制处理的流程图。
图15是表示该实施方式的驱动控制处理的流程图。
图16是第一实施方式的各处理的模块化与同时操作以及排他控制 的关系的图。
图17是表示第二实施方式的操作权授予处理的流程图。 图18是用于说明该实施方式的画面显示的图。
具体实施例方式
下面，参照附图针对本发明的最佳的实施方式进行详细的说明。另 外，在以下的说明以及附图中，对于具有同一构成以及功能的构成要素， 标记同一符号，省略重复说明。
(第一实施方式)
首先，针对本发明的第一实施方式的基板处理系统，参照图l以及 图2进行说明。图l是基板处理系统的概略图，图2是构成基板处理系 统的各机器的配置图。
(基板处理系统)
基板处理系统10具有上位PCIOO、下位PC200a 200e、 TM( Transfer Module:传输模块)、PM ( Process Module:处理模块)1 PM4。各机 器例如分别通过Ethernet (以太网)(注册商标)等网络300连接在一 起。此外，上位PC100经由LAN (Local Area Network:局域网)400 与主机500连接。
如图2所示，下位PC200b 200e (相当于多个第一下位控制装置)， 处于PM1 PM4所配置的无尘室Cln内，分别配置在PM1 PM4附近。下位PC200a (相当于多个第二下位控制装置)配置在无尘室Cln内部 的各PM的中央所布置的TM的附近。
上位PC (相当于上位控制装置)配置在与无尘室Cln隔离的室外。 上位PCIOO，与下位PC200之间通过收发控制信号，分别遥控TM以 及PM1 PM4。具体来说，上位PC100遥控操作在TM中的输送基板的 处理，并且遥控操作在PM1 PM4实施的所希望的处理。由此，可以极 力抑制人进出无尘室内，将无尘室内的污染保留在最小限度。但是，上 位PCIOO也可以配置在无尘室Cln内。
下位PC200a、 200b、 200c、 200d、 200e具有显示器200aSD、显示 器200bSD、显示器200cSD、显示器200dSD、显示器200eSD，可分别 显示用于操作TM的画面群、用于操作PM1的画面群、用于操作PM2 的画面群、用于操作PM3的画面群、用于操作PM4的画面群。上位 PC100具有显示器IOOMD，能够显示在下位PC200b 200e的显示器 200SD上能够显示的画面群。
在TM、 PM1 PM4中分别安装有用于检测各内部机器的状态的传 感器群TMs、 PMls、 PM2s、 PM3s、 PM4s，该检测值分别被输入到安 全PLC ( Programmable Logic Controller:可编程控制器)。安全PLC,
控制的进行安全认证的软件联锁装置。
在这些安全PLC中还被输入从上位PC100发送来的控制信号。安 全PLC，通过输入控制信号和表示来自传感器的检测值的检测信号，在 这些输入信号符合预定的联锁条件之一时，以不将输出信号向下位 PC200送出的方式进行控制。由此，下位PC200，可以避免因将符合联 锁条件的误输出信号作为驱动信号来驱动各模块(TM， PM1 PM4)内 的各机器而发生的误动作、例如，可以避免如果混合则供给危险的气体 的时刻的错误和输送基板的时刻的错误等。其结果，可以保护TM和 PM内部的机器并且确保工厂内的作业人员的安全。
主机500通过与上位PC100收发数据，进行数据管理等管理基板处 理系统10整体。另外，TM相当于输送基板的输送装置，PM1 PM4相当于给基板 实施规定的处理的基板处理装置。作为用各PM执行的规定的处理的一 个例子，可以举出通过PM1内的溅射机器执行的溅射处理、通过PM2 内的蚀刻机器执行的蚀刻处理、通过PM3内的CVD ( Chemical Vapor Deposition:化学蒸镀薄膜成膜法)机器执行的成膜处理、通过PM4内 的有机EL机器执行的有机EL膜蒸镀处理。
(PM2的内部构成)
接下来，作为PM1 PM4的内部构成的一个例子，分别参照图3以 及图4说明执行蚀刻处理的PM2以及执行6层连续有机EL蒸镀膜处 理的PM4。
PM2具有顶部大致中央部以及底部大致中央部开口的方筒形状的 处理容器C。处理容器C例如由表面经过阳极氧化处理了的铝构成。
在处理容器C的内部，在上方设有上部电极305。上部电极305通 过在处理容器C上部的开口周缘"&置的绝缘件310而与处理容器C电 隔离。上部电极305经由匹配电路315与高频电源320连接。在匹配电 路315，在其周围设有匹配箱325，匹配箱325为匹配电路315的接地 壳体。
上部电极305，经由气体管线330与处理气体供给部335连接，从 处理气体供给部335供给的所希望的气体从多个气体喷射孔A喷射到处 理容器C内。这样，上部电极305也作为气体沐浴头发挥功能。在上部 电极305中设有温度传感器340。温度传感器340检测上部电极305的 温度作为处理容器内的温度，并将该检测值向安全PLC发送。
在处理容器C的内部，在下方设有下部电极345。下部电极345也 作为载置基板G的基座发挥功能。下部电极345被隔着绝缘件350所设 置的支承体355支承。由此，下部电极345相对于处理容器C电隔离。
在处理容器C的底面设置的开口的外周附近，安装有波紋管360的 一端。在波紋管360的另一端固定有升降板365。通过该构成，处理容 器C的底面的开口部通过波紋管360以及升降板365而被密闭起来。此 夕卜，下部电极345,为了将载置基板G的位置调整为相应于处理的高度，而与波紋管360以及升降板365 —体地升降。
下部电极345经由导电路径370、阻抗调整部375与升降板365连 接。上部电极305以及下部电极345相当于阴极电极以及阳极电极。处 理容器内部通过排气机构380减压到所期望的真空度。
通过该构成，根据从下位PC200c发送来的驱动信号，控制门岡385 的开闭，由此在保持处理容器C的气密的同时在基板G被输送到处理 容器C的内部的状态下，被供给到处理容器内部的气体由高频电力而被 等离子体化，通过所生成的等离子体的作用给基板G实施所期望的蚀 刻。
(PM4的内部构成)
接下来，针对执行6层连续有机EL蒸镀膜处理的PM4的内部构成， 参照作为其要部立体图的图4进行说明。在PM4中，在基板G上连续 蒸镀有6层有机EL层。
在PM4内，内置有6个蒸镀源410a 410f。在6个蒸镀源410a 410f 中，收纳有不同种类的成膜材料，通过将各蒸镀源410中放置的罐加热 到例如200 500"C的高温，由此4吏各种成膜材料气化。
6个蒸镀源410a 410f经由6个连接管420a 420f与6个喷射容器 430a 430f连结。在6个蒸镀源410a 410f中被气化的各种成膜材料分 别通过6个连接管420a 420f从在6个喷射容器430a 430f的上表面设 置的开口 OP (喷射口 )被喷出。
在各喷射容器430之间设有隔壁440，通过这7个隔壁440将各喷 射容器430隔开，由此防止从各喷射容器430喷出的成膜材料的气体分 子混入到从相邻的喷射容器430喷出的成膜材料的气体分子中。
基板G，在PM4的顶部附近，静电吸附在具备滑动机构的工作台 (都未图示)上，在被7个隔壁440隔开的各喷射容器430a 430f的稍 靠上方，按照第一喷射容器430a—第二喷射容器430b —第三喷射容器 430c —第四喷射容器430d —第五喷射容器430e—第六喷射容器430f的 顺序以规定的速度移动。由此，在基板G上，利用分别从各喷射容器430a 430f喷出的成膜材料，将6层所希望的不同的膜连续地层叠形成。
(PC的硬件构成)
接下来，参照图5说明PC的硬件构成。另外，下位PC200的硬件 构成与上位PC100相同，因此在此仅说明上位PCIOO的硬件构成。
上位PC100具有ROM105、 RAMllO、 CPU115、总线120、内部接 口 (内部I/F) 125以及外部接口 (外部I/F) 130。
在ROM105中记录有在上位PC100中执行的基本程序、异常时启 动的程序、各种配方等。在RAM110保存有对用于授予画面的操作权 的处理顺序进行规定的画面的操作权授予程序等各种程序和数据。另 外，ROM105以及RAM110是存储装置的一个例子，也可以是 EEPROM、光盘、光磁盘等存储装置。
CPU115根据各种配方控制基板的处理并且控制画面的操作权的授 予。总线120是在ROM105、 RAMllO、 CPU115、内部接口125以及 外部接口 130的各设备之间进行数据的交换的路径。
内部接口 125，输入数据，将必要的数据输出到未图示的监视器或 扬声器等。外部接口 130与经由网络300连接的机器之间收发数据。
(上位PC的功能构成)
接下来，针对上位PC100的功能构成，参照将上位PC100的各功 能用框图表示的图6进行说明。上位PC100具有由TM画面数据库150、 PM画面数据库155、画面确定部160、操作权判断部165、操作权授予 部170、输入部175、通信部180、存储部185、处理执行控制部190以 及显示部195表示的各功能。
在TM画面数据库150中存储有可在下位PC200a的显示器200aSD 上显示的TM用画面群(TM用画面1~TM用画面n)。在PM画面数 据库155中，按照画面群存储有可在下位PC200b的显示器200bSD上 显示的PM1用画面群、可在下位PC200c的显示器200cSD上显示的 PM2用画面群、可在下位PC200d的显示器200dSD上显示的PM3用 画面群、可在下位PC200e的显示器200eSD上显示的PM4用画面群。另外，TM画面数据库150以及PM画面数据库155相当于分别存储在 第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群以及在第二下位控制 装置的显示部上能够显示的画面群的画面数据库。
画面确定部160,:恨据从下位PC200a 200e中的任一个发送来的画 面的操作要求，从被存储在TM画面数据库150或者PM画面数据库 155中的某一个中的多个画面群确定被要求了上述操作的画面群。
操作权判断部165，判断是否将由画面确定部160确定的画面群的 操作权分配给上述提出要求的下位PC200。操作权判断部165,保持用 于判断当前时刻哪个PC持有各画面群(TM画面数、PM1用画面群、 PM2用画面群、PM3用画面群、PM4用画面群)的操作权的判断信息 165a。
操作权判断部165也可以在所确定的画面群的操作权被授予了多个 控制装置(即上位PCIOO、下位PC200a 200e)中的上述提出要求的下 位PC200以外的PC的情况下，在该PC结束了执行中的处理后，判断 将所确定的画面群的操作权分配给上述提出要求的下位PC200。
此外，也可以，在由上位PC100要求画面的操作时，在画面群的操 作权被授予某一个下位PC200时，操作权判断部165在该下位PC200 结束了执行中的处理后，判断将上述确定的画面群的操作权分配给上述 上位PCIOO。
此外，操作权判断部165,在从多个控制装置(PC)要求相同画面 群的操作时，依照预先确定的优先顺序，从多个控制装置(PC)中的 优先顺序高的控制装置开始按顺序判断分配所要求的画面群的操作权。
进而，操作权判断部165也可以对是否禁止对要求了操作的控制装 置(PC)授予操作权进行判断，在禁止的情况下，判断不给要求了操 作的控制装置(PC)分配操作权。
基于这种判断条件，由操作权判断部165判断对提出要求的下位 PC200分配确定画面群的操作权时，操作权授予部170，不必变更该确 定的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，就可以将确定的画面群 的操作权授予提出要求的下位PC200。由此，允许下位PC200a 200e以及上位PC100构成的多个PC中的针对不同的画面群而不同的PC同
时独立地操作。
这样，在由操作权授予部170将操作权授予给上位PC100时，输入 部175，接受操作人员使用在上位PC100的显示器100MD上显示的画 面而输入的信息。但是，在上位PC100不具有该画面群的操作权时不 接受输入信息。即，操作人员无法使用在上位PC100的显示器100MD 上显示的画面来输入信息。
另一方面，由操作权授予部170将操作权授予给了任一个下位 PC200时，通信部180从被授予了操作权的下位PC200接受使用被授 予了操作权的下位PC200的显示器200SD上显示的画面所输入的信息。
存储部185分别存储在PM1 PM4执行的对基板G进行各种处理的 顺序。在PM1执行的溅射处理顺序示出于溅射用的系统配方A。在PM2 执行的蚀刻处理顺序示出于蚀刻用的系统配方B。在PM3执行的CVD 处理顺序示出于CVD用的系统配方C。在PM4执行的CVD处理顺序 示出于有机EL用的系统配方D。在各系统配方中确定了输送路线(例 如TM —PM1 —TM)以及各工艺配方A D的链接信息(例如工艺配方 名)。
处理执行控制部190，基于在存储部185中存储的对应处理顺序并 行地执行，基于通过通信部180经下位PC200的画面操作输入并由上 位PC100接收到的信息所执行的规定的基板处理，和基于按照上位 PC100的画面操作由输入部175接收到的输入信息所执行的其他的规定 的处理。
显示部195，根据对被授予了操作权的下位PC200的显示器200SD 上所显示的画面的输入操作，基于由通信部180接收到的信息，以保持 与被授予了操作权的下位PC200的显示器200SD上所显示的画面的内 容匹配的方式，更新在上位PCIOO的显示器IOOMD上显示的画面的内 容。
以上说明的各部分的功能中，主要通过TM画面数据库150、 PM 画面数据库155、画面确定部160、操作权判断部165、操作权授予部170、输入部175以及存储部185的各功能，控制与包含在上位PC100 以及下位PC200上显示的画面的操作权的控制的画面相关的处理(显 示画面控制)。另一方面，主要通过存储部185以及处理执行控制部190 控制在TM、PM1 PM4执行的基板处理以及输送处理(工艺执行控制)。
另外，以上说明的上位PC100的各部分的功能，实际上，通过图5 的CPU115从存储着实现这些功能的描述处理顺序的程序(包含配方) 的ROM105和RAM110等存储介质中读出该程序，解释该程序并执行 来实现。
(下位PC的功能构成)
接下来，针对下位PC200的功能构成，参照将下位PC200的功能 用框图表示的图7来说明。下位PC200具有由画面数据库205、存储部 210、操作权要求部215、输入部220、通信部225、显示部230以及驱 动控制部235示出的各功能。
在画面数据库205中只存储在各下位PC200的显示器200SD上能 够显示的画面群。例如，在下位PC200b的画面数据库205中存储有PM1 用(溅射用)的画面群。在下位PC200c的画面数据库205中存储有PM2 用(蚀刻用)的画面群。在下位PC200d的画面数据库205中存储有PM3 用(CVD用)的画面群。在下位PC200e的画面数据库205中存储有 PM4用(有机EL蒸镀用)的画面群。在下位PC200a的画面数据库205 中替代PM用画面群，存储有TM用(输送用)的画面群。
在存储部210中，作为表示在PM1 PM4中执行的各种处理的处理 顺序的工艺配方，存储有表示在PM1执行的溅射处理的顺序的工艺配 方A、表示在PM2中执行的蚀刻处理的顺序的工艺配方B、表示在PM3 中执行的CVD处理的顺序的工艺配方C、表示在PM4中执行的有机 EL蒸镀处理的顺序的工艺配方D。图8中示出了工艺配方C (CVD处 理)的例子作为工艺配方的一个例子。
操作权要求部215，在当前时刻自己不具有能够显示的画面群的操 作权时，生成用于要求在画面数据库205中存储的画面群的操作权的信 息(操作权要求信息)。输入部220在操作权被授予自己的下位PC200时，接受操作人员使 用在自己的下位PC200的显示器200SD上显示的画面所输入的信息。 即，输入部220，在下位PC200具有该画面群的操作权时，将输入信息 取入下位PC200内。但是，在下位PC200不具备该画面群的操作权时， 不接受输入信息。即，操作人员无法使用在下位PC200中显示的画面 来输入信息。
通信部225将由操作权要求部215生成的操作权要求信息向上位 PC100发送来要求画面的操作，并根据发送来的操作权要求信息，在被 要求了操作的画面群的操作权自上位PC100被授予了自己的下位 PC200时，将^_用在自己的下位PC200的显示器200SD上显示的画面 而输入的信息向上位PC100发送。
显示部230，通过通信部225接受使用在被授予了操作权的其他下 位PC200的显示器200SD或者上位PC100的显示器100MD上显示的 画面而输入的信息，基于接受的信息，保持与被授予了操作权的PC的 显示器上显示的画面的内容的匹配性，更新在自己的下位PC200的显 示器200SD上显示的画面的内容。
驱动控制部235通过上位PC100被发送，根据由通信部225接收的 控制信号，生成驱动信号并向该PM发送，该驱动信号基于表示该PM 的处理顺序的工艺配方来驱动该PM内的机器。由此，相应于依照上位 PC100的指令的下位PC200的指示由该PM实施所期望的基板处理。
另外，与上位PC100同样地，上述说明的下位PC200的各部分的 功能，实际上，从存储了对下位PC200内的CPU实现这些功能的处理 顺序进行描述的程序(包含配方)的存储介质中读出该程序，解释该程 序并执行来实现。
(各PC的动作)
接下来，参照图9、图10所示的流程图说明使用了以上说明的各 PC的功能的画面的操作权授予动作。另外，假设在初始状态，各画面 群的操作权全部被授予上位PCIOO。图9是表示在下位PC200侧执行 的操作要求中断处理的流程图，图10是表示在上位PC100侧执行的操作权授予处理的流程图。
例如，在PM4的6层连续有机EL装置发生了异常时，与通过上位 PC100遥控操作相比，操作人员通过操作在PM4附近配置的下位 PC200e的显示器200eSD的画面，边确认PM4的状态边控制PM4的动 作，操作更容易更有效率。
在此，此时，操作人员按下了在下位PC200e的显示器200eSD的画 面上显示的操作要求按钮后，从图9的步骤900开始执行操作要求中断 处理。
(操作要求中断处理)
输入部220，当输入按下了操作要求按钮后，操作权要求部215在 步骤905判断在自己的下位PC200e是否有操作权。在该时刻自己具有 能够显示的画面群的操作权时，立即进入步骤995而结束本中断处理。 相反，在该时刻自己不具有能够显示的画面群的操作权时，进入步骤 910,生成用于要求在画面数据库205中存储的PM4用的画面群的操作 权的信息(操作权要求信息)，并作为操作要求中断信号发送到上位 PCIOO，在步骤995结束本中断处理。
(操作权授予处理)
上述操作要求中断处理的结果，在从下位PC200e发送了操作要求 中断信号后，上位PC100接受该信号并从图10所示的步骤1000开始 操作权授予处理，在步骤1005,画面确定部160根据操作要求中断信号 的操作权要求信息将被要求了操作权的画面群确定为PM4用的画面 群。
接着，进入步骤1010，操作权判断部165判断在该时刻是否禁止对 要求操作的下位PC200e授予操作权。在禁止时，立即进入步骤1095 而结束本处理，但是在未禁止时，进入步骤1015，操作权判断部165 判断要求操作的PC是否已经具有了所确定画面群的操作权。
在该时刻，操作权被授予上位PCIOO，下位PC200e不具有PM4 用的画面群的操作权。在此，进入步骤1020,操作权判断部165，等待到由具有PM4用的画面群的操作权的PC (在该时刻，为上位PC)执 行的一系列控制处理结束为止，在结束之后，进入步骤1025，判断将操 作权授予要求画面操作的下位PC200e。与此相应地，操作权授予部170， 将确定的PM4用的画面群以外的画面群、即PM1 PM3用的画面群以 及TM用的画面群的操作权保留在上位PC100上，不变更这些操作权 的授予对象，只将PM4用的画面群的操作权授予下位PC200e，进入步 骤1095而结束本处理。另外，下位PC200e,在具有PM4用的画面群 的操作权时，从步骤1015立即进入步骤1095而结束本处理。
以上说明的操作权的授予处理的结果，如图11的上位PC100的 显示器100MD所示那样，上位PC100具有PM1用(溅射用)画面群、 PM2用(蚀刻用)画面群、PM3用(CVD用)画面群的操作权，而没 有PM4用(有机EL用)画面群的操作权。
这样，操作人员，在自己操作的PC上，通过例如显示图11所示 的画面，可以确认自己操作的PC的操作权被授予了哪个PC。此外， 如图12中在下位PC200e的显示器200eSD上显示的那样，在画面左上 显示"Client (客户)"，由此表示PM4 (有机EL用)画面群的操作权 在客户侧、即位于下位PC200侧，由此，操作人员也可以确认自己操 作的PC的操作权被授予了哪个PC。
这样，上位PCIOO，通过执行操作权授予处理，可以允许不同的 PC对不同的画面群同时独立地操作。具体来说，上述操作权授予处理 的结果， 一个操作人员就可以使用上位PCIOO的显示器100MD的显示 画面来操作PM1~3用的画面群以及TM用的画面群所包含的画面，其 他操作人员可以同时独立地^^用下位PC200e的显示器200eSD的显示 画面来操作PM4用的画面群所包含的画面。其结果，针对产生了异常 的PM4，操作人员不必使用上位PC100的画面来遥控操作，而使用在 PM4旁边配置的下位PC200e的画面就可以边确i^ PM4的状态边操作 PM4，由此，操作人员可以以比从前效率显著提高的效率完成作业。
此外，根据以上说明的操作权授予判断方法，只有上位PC100的 操作权判断部165可以判断是否授予画面的操作权，下位PC200不能 独断地授予操作权。由此，可以消除例如在几乎同时从多个PC对相同 画面群提出操作要求时产生的死锁等、在由多个PC控制操作权的授予时可能产生的系统上的问题。其结果，可以使作为本来的业务重要性最
高的各PM的基板处理的控制稳定地工作，同时提高用户的效率。
由此，操作人员不仅可以高效率地操作画面，还可以根据周围状 况的变化灵活地在上位PC100或者下位PC200操作画面，因此可以减 少操作错误，其结果，可以进一步提高用PM控制基板处理的控制系统 的稳定性，提高产品的生产效率。
此外，例如，如果预先确定不想分配操作权的PC，则可以避免将 被要求的画面群的操作权授予在图10的步骤1010中禁止的PC。
另外，不仅在步骤1010所示的判断条件，还可以根据接下来说明 的授予条件，判断是否将被要求的画面群的操作权分配给提出要求的 PC。
例如，在上位PC100和下位PC200在大致相同的时刻要求了相 同画面群的操作时，如果预先将下位PC200的优先顺序设定得高于上 位PC100，则可以将要求的画面群的操作权分配给优先顺序高的下位 PC200。
其结果，例如，在任一个PM上产生了异常时，操作人员可以使 用在PM的旁边配置的、优先顺序高的下位PC200的画面，边确i人PM 的状态边进行操作。
另外，图10的操作权授予处理，即使在上位PC100要求了操作 权时也适用。此时，操作权判断部165,在步骤1015中判断由上位PC100 要求了操作的画面群的操作权被授予了任一个下位PC200与否，在某 一个下位PC200具有操作权时，在步骤1020等待在该PC完成执行中 的一系列处理，结束后，在步骤1025判断为将操作权分配给了上位 PCIOO，相应于此，操作权授予部170将操作权授予上位PCIOO。
在本实施方式中，通过以上说明的中断处理，可以同时操作不同 的画面群，并且在PM1内执行的基板处理的排他控制变为可能。接下 来，参照图13以及图14的流程图，针对该处理执行时的排他控制进行 说明。图13是表示在下位PC200侧执行的工艺执行控制信息输入处理 的流程图，图14是表示在上位PC100侧执行的工艺执行控制信息输入处理的流程图。
通过刚才执行的中断处理，在当前时刻，下位PC200e具有PM4 用的画面群的操作权。此外，其他PM用的画面群的操作权由上位PC100 保持。根据该状况，操作人员操作下位PC200e的画面时，工艺执行控 制信息输入处理从图13的步骤1300开始执行。
(工艺执行控制信息输入处理)
接下来，在步骤1305，输入部220判断自己是否有操作权。在该 时刻，下位PC200e具有在自己的显示器200eSD上显示的PM4用画面 的操作权，因此，进入步骤1310，接受使用在下位PC200e的显示器 200eSD上显示的PM4用画面而输入的信息。接下来，进入步骤1315, 通信部225将所输入的信息向上位PC100发送，进入步骤1395而结束 本处理。
相反，如果自己没有操作权，则从步骤1305立即进入步骤1395 而结束本处理。其结果，如果自己有操作权，则接受由操作人员对下位 PC200e的画面的操作，并作为输入信息取入到PC内。相反，如果自 己没有操作权，则不接受由操作人员对下位PC200e的画面的操作，并 废弃该输入信息。
(工艺执行控制处理)
另一方面，在从下位PC200e发送来输入信息时，在上位PC100 侧，从图14的步骤1400开始执行工艺执行控制处理，在步骤1405，操 作权判断部165判断自己(上位PC100 )是否有操作权。
在该时刻，PM4用的画面群的操作权位于下位PC200e。在此， 进入步骤1410，通信部180，判断是否从具有操作权的某个下位PC200 接收了输入信息。
在该时刻，上位PCIOO，接受刚才通过执行图13的工艺执行控制 信息输入处理而从下位PC200e发送来的信息。在此，进入步骤1415， 处理执行控制部190，基于从下位PC200e发送来的信息，从在存储部 185中存储的系统配方中选择PM4用(有机EL用)的系统配方D。接下来，进入步骤1420,处理执行控制部1卯根据系统配方D，将基板G 按TM —PM4 —TM的顺序边输送，边在PM4基于工艺配方D生成用 于对基板G实施6层连续有机EL蒸镀膜形成处理的控制信号，并将所 生成的控制信号发送到该下位PC200,进入步骤1495而结束本处理。
另一方面，针对PM4用画面群以外的画面群，在上位PC100有 操作权。由此，针对PM4用画面群以外的画面群，在步骤1405判断为 自己(上位PC100)有操作权，进入步骤1425。输入部175，在步骤 1425接受由操作人员使用在上位PC100的显示器100MD上显示的各画 面群的画面来输入的信息，进入步骤1415。处理执行控制部l卯，基于 在同步骤从上位PC100的画面输入的信息，从在存储部185中存储的 系统配方中选择该PM用的系统配方。接下来，进入步骤1420，处理执 行控制部190根据选择的系统配方生成用于对基板G实施所希望的处理 的控制信号，将所生成的控制信号向该下位PC200发送，进入步骤1495 而结束本处理。
(驱动控制处理)
在从上位PC100发送来控制信号时，在该下位PC200侧，从图 15的步骤1500开始执行驱动控制处理，在步骤1505，驱动控制部235 判断是否从上位PC100收到了控制信号。
在未收到控制信号时，立即进入步骤1595而结束本处理，但是在 该时刻，因为从上位PC100收到了控制信号，所以驱动控制部235进 入步骤1510，基于控制信号从存储部210中选择适当的工艺配方，进入 步骤1515，根据所选择的工艺配方向该PM内的机器发送驱动信号，由 此驱动各机器，从而在PM内执行所希望的处理。
以上，根据本实施方式，向画面的输入操作为有效的只有具有操 作权的PC。此外，操作权按每个画面群授予给任一个PC。由此，在本 实施方式中，可以同时独立地在不同的多个PC对不同的画面群进行输 入操作。
这样，能够用不同的多个PC对不同的画面群进行输入操作是由 于，图16所示的各显示器上(显示器100MD以及显示器200SD)能够显示的各画面群在上位pc100的画面数据库150、 155以及各下位pc200 的画面数据库205中按每个画面群进行管理，进而，各实体处理(tm 处理、pm1处理、pm2处理、…PMn处理)也按处理的每个种类在上 位pc100的存储部185以及各下位pc200的存储部210中被管理。由 此，如图16中作为"横分割"所表示的那样，将实体处理和画面处理 分开地按每个画面群来管理画面操作，由此，操作权授予部170，可以 按每个画面群授予操作权。由此，能够按每个各个画面群同时操作。
另一方面，向基板g的实体处理本身全部在上位pc100侧执行。 这样，如上所述，是通过上位pc100的存储部185以及下位pc200的 存储部210将对基板的处理顺序按处理的每个种类进行模块化进行管理 而实现的。即，如图16中作为"纵分割"所示那样，上位pc100分别 使用被模块化了的各处理顺序控制处理，下位pc200基于上位pc100 的指令，根据表示各处理顺序的工艺配方来驱动各pm内的机器。
由此，上位pcioo的处理执行控制部190，可以基于操作具有操 作权的多个PC所输入的信息(即，从下位pc200接收到的信息和输入 到上位pcioo的信息)，并行并排他地执行多个处理，此外，这样，通 过将全部实体处理由上位pcioo执行，可以避免用于进行各处理的数 据不匹配，从而可以稳定地使系统运转。
(第二实施方式)
接着，针对第二实施方式的基板处理系统10进行说明。在第二实 施方式中，在下位pc200被授予了特定的画面群的操作权时，在上位 pc100的显示器100md中不显示该特定的画面群，从这点来说，与操 作权的有无无关，在上位pc100的显示器100md上能够显示全部画面 群的第一实施方式的基板处理系统10在动作上不同。在此，以该不同 点为中心说明本实施方式的基板处理系统10。
(操作权授予处理)
例如，当从下位pc200发送操作要求中断信号后，上位pc100 接受该信号，从图17所示的步骤1700开始操作权授予处理，在步骤 1005~1025中，与第一实施方式同样地，向要求了画面的操作的下位PC200a授予PM1用的画面群的操作权。其后，进入步骤1705，显示 部195判断自己(上位PC100 )是否有各画面群的操作权。
在该时刻，上位PC100不具有PM1用的画面群的操作权。在此， 进入步骤1710，显示部195禁止从上位PC100的显示器100MD显示不 具有操作权的PM1用的画面群，进入步骤1795而结束本处理。
据此，如图18所示，在上位PC100的显示器100MD中显示PM1 用的画面群以外的画面群，不显示PM1用的画面群。由此，才艮据本实 施方式，在操作权授予了某下位PC200的画面群不显示在上位PC100 (以及其他的下位PC200)的显示器上。由此，通过将重要的信息显示 在没有操作权的PC画面上，可以防止重要的信息流出。
在上述实施方式中，各部分的动作相互关联，可以边考虑相互的 关联，边作为一系列动作进行置换，由此可以将用于控制画面的操作权 的授予的上位控制装置的实施方式作为授予画面的操作权的方法的实 施方式。此外，通过将上位控制装置的各部分的动作与各部分的处理进 行置换，可以将控制画面的操作权的授予的上位控制装置的实施方式作 为画面的操作权授予程序的实施方式。此外，通过将画面的操作权授予 程序存储在计算机可读取的存储介质中，可以将画面的操作权授予程序 的实施方式做成记录为程序的计算机可读取的存储介质的实施方式。
以上，参照

本发明的适宜的实施方式，但当然本发明不 限于上述例子。如果是本领域技术人员在权利要求记载的范围内显而易 见地可以想到的各种变形例或者修正例，则这些都包含在本发明的技术 范围内。
例如，本发明中使用的基板，不限于玻璃基板，例如还可以使用 硅晶片。即，本发明中使用的基板，只要是可用于例如有机EL显示器 或者等离子体显示器、液晶显示器(LCD: Liquid Crystal Display)等 的基板即可，本发明的基板处理装置只要是能够对这种基板实施所希望 的处理的装置即可。
此外，作为本发明的基板处理装置，除了蚀刻装置、CVD装置等， 还有喷涂显影机、清洗装置、CMP ( Chemical Mechanical Polishing:化学机械研磨)装置、PVD( Physical Vapor Deposition:物理气相沉积) 装置、曝光装置、离子注入装置等。此外，在本发明的基板处理装置中 也可以执行热扩散处理、灰化处理等。
权利要求
1.一种上位控制装置，其经由网络连接具有能够显示用于操作基板处理装置的画面群的显示部的第一下位控制装置、和具有能够显示用于操作输送装置的画面群的显示部的第二下位控制装置，并具有能够显示在上述第一下位控制装置的显示部被显示的画面群和在第二下位控制装置的显示部被显示的画面群的显示部，且控制上述第一下位控制装置以及上述第二下位控制装置，其特征在于，具备画面数据库，其分别存储在上述第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群以及在上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群；画面确定部，其根据从上述第一下位控制装置或者上述第二下位控制装置中的任一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据库中存储的多个画面群中确定被要求了上述操作的画面群；操作权判断部，其判断由上述画面确定部确定出的画面群的操作权是否分配给上述提出要求的下位控制装置；操作权授予部，其在通过上述操作权判断部判断为将上述画面群的操作权分配给上述提出要求的下位控制装置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装置对不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予给上述提出要求的下位控制装置。
2. 根据权利要求1所述的上位控制装置，其特征在于，在上述确 定出的画面群的操作权被授予给上述多个控制装置中、上述提出要求的 下位控制装置以外的控制装置时，上述操作权判断部判断为在被授予 了上述操作权的控制装置中正执行的处理结束之后，将上述确定出的画 面群的操作权授予上述提出要求的下位控制装置。
3. 根据权利要求2所述的上位控制装置，其特征在于，在由上述 上位控制装置要求操作的画面群的操作权被授予给某一个下位控制装 置时，上述操作权判断部判断为在上述某一个下位控制装置中正执行 的处理结束之后，将上述被要求的画面群的操作权授予上述上位控制装 置。
4. 根据权利要求3所述的上位控制装置，其特征在于，在从上述 多个控制装置要求了相同画面群的操作时，上述操作权判断部判断为 按照预先确定的优先顺序，在上述多个控制装置中从优先顺序高的控制装置开始按顺序分配上述被要求的画面群的操作权。
5. 根据权利要求1所述的上位控制装置，其特征在于，上述操作 权判断部，判断是否预先禁止了对要求了上述操作的控制装置授予操作 权，在被禁止时，判断为不对要求了上述操作的控制装置分配操作权。
6. 根据权利要求3所述的上位控制装置，其特征在于，还具备 输入部，其在由上述操作权授予部给上述上位控制装置授予了操作权时，接受使用在被授予了上述操作权的上位控制装置的显示部上显示 的画面所输入的信息；通信部，其在由上述操作权授予部给某一下位控制装置授予了操作 权时，从被授予了上述操作权的下位控制装置中接收使用在被授予了上 述操作权的下位控制装置的显示部上所显示的画面所输入的信息；存储部，其存储表示了在上述基板处理装置中执行的多个基板处理 的顺序的配方；处理执行控制部，其基于在上述存储部中存储的各配方，并行地执 行基于由上述通信部收到的信息所执行的规定的处理、和基于由上述输 入部接受的输入信息所执行的其他的规定的处理。
7. 根据权利要求6所述的上位控制装置，其特征在于，上述上位 控制装置的显示部，基于由上述通信部对应于对在被授予了上述操作权 的下位控制装置的显示部上显示的画面的输入操作而接收到的信息，以 与被授予了上述操作权的下位控制装置的显示部上显示的画面的内容 保持匹配性的方式，更新在上述上位控制装置的显示部上显示的画面的 内容。
8. 根据权利要求6所述的上位控制装置，其特征在于，上述上位 控制装置的显示部，在下位控制装置中的某一个被授予了上述操作权的 情况下，在预先禁止了在上述上位控制装置的显示部上显示被授予了上 述操作权的画面群时，不显示上述画面群。
9. 根据权利要求6所述的上位控制装置，其特征在于， 上述上位控制装置，与控制多个基板处理装置的多个第一下位控制装置连接并且与第二下位控制装置连接，该第二下位控制装置与上述多 个基板处理装置邻接连接，并控制输送基板的输送装置， 上述画面数据库，按每个画面群管理在上述多个第一下位控制装置的显示部上显示 的多个画面群、以及在上述第二下位控制装置的显示部上显示的画面 群，上述存储部，按每个配方管理由上述多个基板处理装置执行的多个 基板处理的处理顺序，上述操作权授予部，通过按上述画面数据库所管理的每个画面群将画面的操作权授予 上述多个控制装置中的任一个，以此来允许不同的控制装置对不同的画 面群同时独立地进行操作，上述处理执行控制部，基于由上述存储部管理的各配方，并行排他地控制在上述多个基板 处理装置中执行的多个基板处理。
10. 根据权利要求9所述的上位控制装置，其特征在于， 上述多个第一下位控制装置，配置在被设置有上述多个基板处理装置的室内，并在上述多个基板处理装置的附近，上述第二下位控制装置，配置在与被设置有上述多个基板处理装置 的室内相同的室内，并在与上述多个基板处理装置相邻连接配置的上述 输送装置的附近，上述上位控制装置，配置在与上述室内隔离的室外，通过与各下位 控制装置进行信息的发送接收，控制在上述多个基板处理装置中执行的 多个基板处理以及在上述输送装置中执行的输送处理，并且控制在上述 各下位控制装置的显示部上能够显示的画面群的操作权的授予。
11. 一种下位控制装置，其经由网络与控制画面的操作权的上位控 制装置连接，并具备能够显示用于操作基板处理装置的画面群或者用于 操作输送装置的画面群中的任一个的显示部，其特征在于，具备画面数据库，其存储在上述下位控制装置的显示部上能够显示的画面群；操作权要求部，其生成用于要求在上述画面数据库中存储的画面群的操作权的信息；以及通信部，在通过将由上述操作权要求部生成的操作权要求信息向上 述上位控制装置发送来要求画面的操作，根据发送来的操作权要求信息 不必变更上述所确定出的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，将 被要求了上述操作的画面群的操作权由上述上位控制装置授予了上述 下位控制装置的情况下，该通信部将使用被授予了上述操作权的下位控 制装置的显示画面所输入的信息向上述上位控制装置发送，由此，使上述上位控制装置并行地执行基于从被授予了上述操作权 的下位控制装置发送来的信息而执行的规定的处理、和基于使用在上述上位控制装置的显示部上显示的画面所输入的信息而执行的其他的规 定的处理。
12. —种画面操作权的授予方法，使用上位控制装置授予画面的操 作权，该上位控制装置，经由网络连接具有能够显示用于操作基板处理 装置的画面群的显示部的第一下位控制装置、和具有能够显示用于操作 输送装置的画面群的显示部的第二下位控制装置，并具有能够显示在上 述第一下位控制装置的显示部被显示的画面群和在第二下位控制装置 的显示部被显示的画面群的显示部，且控制上述第一下位控制装置以及 上述第二下位控制装置，该画面操作权的授予方法特征在于，将在上述第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群以及在 上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群分别存储在画面 数据库中，根据从上述第一下位控制装置或者上述第二下位控制装置中的任 一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据库中存储的多个画面 群中确定被要求了上述操作的画面群，判断上述所确定出的画面群的操作权是否分配给了上述提出要求 的下位控制装置，在判断出将上述画面群的操作权分配给了上述提出要求的下位控 制装置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控 制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装 置对不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以 外的画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予 上述提出要求的下位控制装置。
13. —种存储介质，其存储用于使计算机执行利用上位控制装置授 予画面操作权的处理的画面操作权授予程序，该上位控制装置，经由网 络连接具有能够显示用于操作基板处理装置的画面群的显示部的第一 下位控制装置、和具有能够显示用于操作输送装置的画面群的显示部的 第二下位控制装置，并具有能够显示在上述第一下位控制装置的显示部 被显示的画面群和在第二下位控制装置的显示部被显示的画面群的显 示部，且控制上述第一下位控制装置以及上述第二下位控制装置，该存 储介质特征在于，存储了使计算机执行以下处理的程序将在上述第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群以及在 上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群分别存储在画面 数据库中的处理；根据从上述第一下位控制装置或者上述第二下位控制装置中的任 一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据库中存储的多个画面群中确定被要求了上述操作的画面群的处理；判断上述所确定出的画面群的操作权是否分配给了上述提出要求 的下位控制装置的处理；在判断出将上述画面群的操作权分配给了上述提出要求的下位控 制装置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控 制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装 置对不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以 外的画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予 上述提出要求的下位控制装置的处理。
全文摘要
上位PC(100)与控制多个PM或者TM的多个下位PC(200)连接。上位PC(100)根据来自下位PC(200)的画面的操作要求，判断是否将操作权分配给提出要求的下位PC(200)。
文档编号G05B9/02GK101529344SQ20078003968
公开日2009年9月9日 申请日期2007年11月15日 优先权日2006年11月16日
发明者山上宗隆 申请人:东京毅力科创株式会社