专利名称：一种基于半导体测试数据的数据处理方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种基于半导体测试数据的数据处理方法。
背景技术：
社会发展到今天，当一个工程师追踪产品问题或者改进产品性能时，如果没有数 据支持那是不可能完成工作的。可以说数据是当今企业的基石。随着当今半导体产业的发 展，产品制造越来越自动化和智能化，产品生产制造环节也在不断细化，这样导致生产相关 的数据量呈几何级爆炸式增长，那么，如何在简单、快速、方便正确的将数据管理起来的同 时保证数据的准确性是一个困扰和困难的事情。原因如下 1.巨量的数据在各个系统，例如生产管理系统(Ma皿facturingExecution System,MES)、电子设计自动化(Electronic Design Automation,EDA)系统、自动信息统计 系统(Automatic Message Accounting System,AMAS)等系统中间相互传递，在各种操作系 统平台上(windows/Unix/Lniux等)生成和查阅，以及在各种编码(二进制，十进制，十六 进制，ASCII等)间相互转换，由于上面这些系统、平台、编码间存在差异性，有时难免会产 生数据的错误； 2.现代半导体生产分工越来越细，一个集成电路(integrated circuit, IC)的 生产数据需要随着生产步骤的深入需要在晶片制造厂、碰撞测试厂、电路检测(Circuit Probe， CP)测试厂、装配厂、FT测试厂以及客户间共享和传递，这种数据间的多次传递也导 致数据容易发生错误； 3.所有的系统都需要人来做维护，这就可能由于人为的疏忽造成数据的错误，一 个系统的错误，就可能进而产生所有相关系统的数据都出现错误甚至导致系统异常；
4.在大量数据面前即使万分之一的错误概率，也将导致大量的实际错误存在，就 需要人花大量的精力去处理。 既然数据发生错误不可避免，这就潜在需要一个处理错误数据的处理系统，来自 动矫正各种数据错误。
发明内容
本发明的目的在于克服上述问题，提供一种基于半导体测试数据的数据处理方 法。 本发明所述的一种基于半导体测试数据的数据处理方法中，首先从数据库中将已
存储在数据库中的数据传递给被处理系统，然后在上述被处理系统中将所述数据与半导体
测试数据进行比较，比较两个数据中的至少一个待比较值，如果有待比较值异常，则进入数
据矫正阶段，对有待比较值异常的半导体测试数据进行矫正，如果数据无法矫正则转为人
工处理，如果数据可以矫正则将半导体测试数据矫正并存入数据库中。 上述待比较值包括关键值、属性值、特殊属性值和不可矫正属性值。
3
数据矫正步骤具体为 (1)如果上述关键值异常，则上述被处理系统将上述半导体测试数据转给人工处理，人工处理完成后再重新进入处理程序； (2)如果上述属性值异常，则上述被处理系统依照上述被处理系统中的数据，确定关键值与属性值是否属于预定原则，如果是，则根据上述预定原则对上述半导体测试数据进行矫正，如果不是，则转为人工处理； (3)如果上述特殊属性值异常，则上述被处理系统将上述半导体测试数据丢弃；
(4)如果上述不可矫正属性值异常，则上述被处理系统将上述半导体测试数据转为人工处理。 上述预定原则是 如果上述关键值不存在则需要转人工处理； 如果有三个或三个以上的上述属性值与上述被处理系统中的值一致，则根据上述被处理系统中的所述数据做数据矫正，否则转为人工处理。 上述特殊属性值异常是指数据中记录的测试时间比上述被处理系统中所述数据完成的时间早。 上述被处理系统包括用于提供上述数据的数据库模块、用于比较上述待比较值的数据比较模块和用于矫正异常数据的数据矫正模块。
上述关键值是产品批号； 上述属性值是产品型号、产品测试站点名称、产品测试制程编号、产品缺口位置、
Map标示字符最长长度； 上述特殊属性值是开始时间； 上述不可矫正属性值是片号和产品测试值图。 上述方法在半导体后段制程中，用于凡是晶片以片装存在的情况下的数据处理。
本发明的数据处理方法，极大地减少了人工处理的时间，降低了需要人工处理的可能，同时提高了被处理系统中数据的及时性和正确性，做到了简单、快速、方便，使工程师能及时看到正确的数据做出分析，从而改善产品质量。
图1表示本发明执行数据矫正的流程图。
具体实施例方式
下面结合具体实施例，对本发明所述的一种基于半导体测试数据的数据处理方法作进一步的详细说明。 本发明的智能数据处理方法的一个实施例是在已有EDA系统的基础上根据半导体产品的特性，对数据文件中的关键数据项进行检查。其主要处理过程如图l所示，其中被处理系统1包括数据库模块2、数据比较模块3和数据矫正模块4，首先由数据库模块2将数据传递给被处理系统l，在本实施例中是EDA系统，然后利用数据比较模块3将被处理系统1中的数据与半导体测试的数据文件5发出的数据进行一一对比，如果有值异常则进入数据矫正模块4进行数据矫正，如果发现数据无法矫正则转为人工处理，如果数据可以矫正则将数据矫正载入到数据库模块2中。 在数据矫正过程中，首先，在被处理系统1中定义出需要检查的关键项，并给出如下定义 (1)异常类别 ①关键值异常产品批号(LOT ID) ②属性异常产品型号(PRODUCT ID)，产品测试站点名称(FL0WID)，产品测试制程编号(TEST PROGRAM)，产品缺口位置(SOURCENOTCH) ， M即标示字符最长长度(MAP BINLENG加 ③特殊属性异常开始时间(START TME) ④不可矫正异常属性片号(WAFER ID)，产品测试值图(MAP) (2) 1-3原则定义 所谓1-3原则，1是指关键值L0T ID这个值一定需要在被处理系统中存在，表明需要进系统数据文件的所属，如果不存在需要转人工处理； 3是指属性值，即上面异常定义中的②中的属性，如果其中有三个或三个以上的值与被处理系统中的值一致，则根据被处理系统中的定义数据做数据矫正，否则转为人工处理。
(3)不可矫正异常定义 不可矫正异常是指WAFER ID大于25或者小于0，或者MAP的行列大小与EDA中定义的模板不一致。 定义完成后，从半导体测试的结果数据文件5中提取出上述检查项的值，然后与被处理系统1中定义的值做一一对比；如果有值异常则进入数据矫正阶段。数据的自动矫正分为以下类别 (1)如果发现是关键值异常，系统会自动发邮件给相关工程师做人工处理，因为关键值错误将导致文件和系统无法匹配，无法自动做矫正；且在人工处理完成后再重新进入处理程序； (2)如果发现是属性值异常，则会根据被处理系统中的数据，根据关键值与属性值按照1-3原则对数据进行矫正，如果不符合1-3原则则需要发邮件给相关工程师做人工处理； (3)如果发现是特殊属性异常，即数据文件中的测试时间比被处理系统中的时间早，说明是过期数据，则会将数据文件丢弃，不进系统； (4)如果发现是不可矫正的异常，即Wafer Id和M即异常，系统将会自动发邮件给相关工程师做人工处理，因为如果Wafer Id出现异常(值大于25或者小于0)，也会导致文件和系统无法匹配，而如果M即出现异常(Map的大小和系统的不一致)，因为M即是需要从文件中提取的主要信息，是测试的结果，系统中原先是不存在的，只存在一个M即的模板，所以如果M即出现异常则系统无法自动处理。 在数据做过自动矫正后，则将通过检查和已经做过矫正的数据存入数据库1中。
在其他实施例中，本发明还可用于诸如MES、 AMAS等系统中，也能达到上述目的。目前在MES中的数据来源有几种，一种是机台自动化(Equipment Automation Process,EAP)系统直接和MES系统相连，实现数据共享，在这种情况下本系统是不需要使用的。但是还有一种是，机台会实时的出一些txt或者xml格式的log文件，然后MES通过将这些log文件中的数据导入系统，这时就可以使用本发明的数据处理方法。另外上下游厂商间的合作，比如产品测试是由下游的测试厂完成，上游厂商为了掌握测试厂的产品在生产线上的实时状况，就需要下游厂商传送WIP资料，上游厂商将WIP资料导入MES系统，这时可以使用本发明的智能数据处理方法。有些公司，可能不会使用MES系统，那为了 AMAS系统有数据来源，也就可能会要求上下游的厂商提供一些xml、 txt文件，然后再将这些文件导入数据库作为数据来源，这时就可以使用本发明的数据处理方法。 在其他实施例中，本发明在半导体后段制程中，可用于凡是晶片以片装存在的情况下，均可达到上述目的。 本发明的数据处理方法，极大地减少了人工处理的时间，降低了需要人工处理的可能，同时提高了被处理系统中数据的及时性和正确性，做到了简单、快速、方便，使工程师能及时看到正确的数据做出分析，从而改善产品质量。 以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；如果不脱离本发明的精神和范围，对本发明进行修改或者等同替换的，均应涵盖在本发明的权利要求的保护范围当中。
权利要求
一种基于半导体测试数据的数据处理方法，其特征在于首先从数据库中将已存储在数据库中的数据传递给被处理系统，然后在上述被处理系统中将所述数据与半导体测试数据进行比较，比较两个数据中的至少一个待比较值，如果有待比较值异常，则进入数据矫正阶段，对有待比较值异常的半导体测试数据进行矫正，如果数据无法矫正则转为人工处理，如果数据可以矫正则将半导体测试数据矫正存入数据库中。
2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于上述待比较值包括关键值、属性值、特殊属 性值和不可矫正属性值。
3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于数据矫正步骤具体为(1) 如果上述关键值异常，则上述被处理系统将上述半导体测试数据转给人工处理，人 工处理完成后再重新进入处理程序；(2) 如果上述属性值异常，则上述被处理系统依照上述被处理系统中的数据，确定关键 值与属性值是否属于预定原则，如果是，则根据上述预定原则对上述半导体测试数据进行 矫正，如果不是，则转为人工处理；(3) 如果上述特殊属性值异常，则上述被处理系统将上述半导体测试数据丢弃；(4) 如果上述不可矫正属性值异常，则上述被处理系统将上述半导体测试数据转为人 工处理。
4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于上述预定原则是 如果上述关键值不存在则需要转人工处理；如果有三个或三个以上的上述属性值与上述被处理系统中的值一致，则根据上述被处 理系统中的所述数据做数据矫正，否则转为人工处理。
5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于上述特殊属性值异常是指数据中记录的测 试时间比上述被处理系统中所述数据完成的时间早。
6. 根据权利要求5所述的方法，其特征在于上述被处理系统包括用于提供上述数据 的数据库模块、用于比较上述待比较值的数据比较模块和用于矫正异常数据的数据矫正模 块。
7. 根据权利要求6所述的方法，其特征在于 上述关键值是产品批号；上述属性值是产品型号、产品测试站点名称、产品测试制程编号、产品缺口位置、Map标 示字符最长长度；上述特殊属性值是开始时间； 上述不可矫正属性值是片号和产品测试值图。
8. 根据权利要求7所述的方法，其特征在于上述方法在半导体后段制程中，用于凡是 晶片以片装存在的情况下的数据处理。
全文摘要
本发明涉及一种基于半导体测试数据的数据处理方法，首先从数据库中将已存储在数据库中的数据传递给被处理系统，然后在该被处理系统中中将所述数据与半导体测试数据进行比较，比较两个数据中的至少一个待比较值，如果有待比较值异常，则进入数据矫正阶段，对有待比较值异常的半导体测试数据进行矫正，如果数据无法矫正则转为人工处理，如果数据可以矫正则将半导体测试数据矫正并存入数据库中。本发明的数据处理方法，极大地减少了人工处理的时间，降低了需要人工处理的可能，同时提高了被处理系统中数据的及时性和正确性，做到了简单、快速、方便，使工程师能及时看到正确的数据做出分析，从而改善产品质量。
文档编号G05B19/418GK101739408SQ200810177528
公开日2010年6月16日 申请日期2008年11月18日 优先权日2008年11月18日
发明者陈健华, 顾荣华 申请人:和舰科技(苏州)有限公司