1.一种派工系统，用于对半导体制造执行系统进行派工，所述半导体制造执行系统包括设备组，设备组中的设备用于对在制品执行相应的工艺步骤，以获得产品，其特征在于，所述派工系统包括：
获取模块，用于根据设定的开始时间和结束时间，获得限定时间；还用于获取产品的标准生产周期表以及产品的下线计划表；所述获取模块还用于获取与产品名称和工艺序号相对应的设备组内的设备工艺能力限制以及设备组内的设备历史数据以及制造执行系统中设备组内设备的实时数据；
配置模块，用于获取工艺流程数据以及设备和设备组关系数据；还与获取模块相连，用于根据所述制造执行系统中设备组内设备的实时数据、所述产品的下线计划表以及所述标准生产周期表、工艺流程数据，获得限定时间内与产品名称以及工艺序号相对应的设备组静态工艺步骤产量需求，所述设备组静态工艺步骤产量需求包括与产品名称以及工艺序号相对应的设备组移动需求量，并在所述设备组静态工艺步骤产量需求和所述设备工艺能力限制的限制下，根据设备组内设备的所述设备历史数据，获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置；所述配置模块还用于根据所述设备历史数据和所述最佳产能配置，获得与工艺序号相对应的设备落后系数；
输出模块，与所述配置模块相连，用于根据所述设备落后系数，获得与在制品相对应的在制品落后系数，并根据所述在制品落后系数的大小对在制品进行设备指派；还用于将设备端已经指派的在制品按在制品落后系数的大小排序，并输出设备相对应的派工单。
2.如权利要求1所述的派工系统，其特征在于，所述派工系统还包括：
第一存储模块，与所述获取模块相连，用于存储产品的标准生产周期表、下线计划表、设备历史数据以及设备工艺能力限制；所述设备历史数据包括与产品名称和工艺序号相对应设备组内设备的产出速率和产出记录；
第二存储模块，与所述配置模块相连，用于存储工艺流程数据以及设备和设备组关系数据。
3.如权利要求1所述的派工系统，其特征在于，所述获取模块包括：
时间单元，用于根据设定的开始时间和结束时间，获得限定时间；
标准单元，与所述第一存储模块相连，用于获取产品的标准生产周期表以及产品的下线计划表；
设备单元，与所述第一存储模块相连，用于获取与产品名称和工艺序号相对应的设备组内的设备工艺能力限制以及设备组内的设备历史数据；所述设备单元还与制造执行系统相连，用于获取制造执行系统中设备组内设备的实时数据。
4.如权利要求3所述的派工系统，其特征在于，所述开始时间和所述结束时间以日为单位。
5.如权利要求2所述的派工系统，其特征在于，所述配置模块包括：
需求单元，与所述获取模块和所述第二存储模块相连，用于根据所述制造执行系统中设备组内设备的实时数据、所述产品的下线计划表以及所述标准生产周期表、工艺流程数据，获得与产品名称以及工艺序号相对应的设备组静态工艺步骤产量需求，所述设备组静态工艺步骤产量需求包括与产品名称以及工艺序号相对应的设备组移动需求量；
配置单元，与所述获取模块、所述第二存储模块以及所述需求单元相连，在所述设备组静态工艺步骤产量需求和所述设备工艺能力限制的限制下，根据设备组内设备的所述设备历史数据以及设备和设备组关系数据，获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置；
落后单元，与所述获取模块和所述配置单元相连，用于根据所述设备历史数据和所述最佳产能配置，获得与工艺序号相对应的设备落后系数。
6.如权利要求5所述的派工系统，其特征在于，所述设备组移动需求量为按日的平均量。
7.如权利要求5所述的派工系统，其特征在于，所述需求单元包括：
当前处理器，根据所述标准生产周期表以及所述制造执行系统中设备组内设备的实时数据，获得设备当前在制品在限定时间内应经过的工艺流程步骤；
计划处理器，根据所述标准生产周期表以及所述产品的下线计划表，获 得未生产的产品在限定时间内应该经过的工艺流程步骤；
汇总器，与所述当前处理器、所述计划处理器和所述第二存储器相连，用于获得所述工艺流程数据，还用于根据所述设备当前在制品在限定时间内应经过的工艺流程步骤以及所述未生产的产品在限定时间内应该经过的工艺流程步骤，结合所述工艺流程数据，获得与产品名称以及工艺序号相对应的设备组静态工艺步骤产量需求。
8.如权利要求5所述的派工系统，其特征在于，所述配置单元包括：
利用率处理器，与所述获取模块和所述第二存储模块相连，用于获取设备和设备组关系数据，并根据设备和设备组关系数据以及设备组的设备历史数据，获得与产品名称、工艺序号相对应的设备产出速率；还用于在所述设备工艺能力限制下，根据所述设备组静态工艺步骤产量需求，获得设备利用率；
优化器，与所述利用率处理器相连，用于在所述设备工艺能力限制以及所述设备组静态工艺步骤产量需求的限制下，获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置。
9.如权利要求8所述的派工系统，其特征在于，所述优化器采用规划求解的方法获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置。
10.如权利要求5所述的派工系统，其特征在于，所述落后单元包括：
历史移动处理器，用于根据所述设备历史数据，获得与产品名称和工艺序号相对应的设备历史移动量；
计划移动处理器，用于根据所述最佳产能配置，获得与产品名称和工艺序号相对应的设备计划移动量；
比较器，与所述历史移动处理器和计划移动处理器相连，用于比较所述设备计划移动量和所述设备历史移动量的大小，获得与产品名称、工艺序号相对应的设备落后移动量；
落后处理器，与所述比较器和所述计划移动处理器相连，用于根据所述设备落后移动量和所述设备计划移动量，获得与工艺序号相对应的设备落后 系数。
11.如权利要求1所述的派工系统，其特征在于，所述输出模块包括：
指派单元，与所述配置模块相连，用于根据所述设备落后系数，获得与在制品相对应的在制品落后系数，并根据所述在制品落后系数的大小对在制品进行设备指派；
输出单元，用于将设备端已经指派的在制品按在制品落后系数的大小排序，并输出设备相对应的派工单。
12.如权利要求11所述的派工系统，其特征在于，所述指派单元用于指派与最大在制品落后系数相对应的设备处理所述在制品。
13.如权利要求11所述的派工系统，其特征在于，所述输出单元用于将设备端已经指派的在制品，按在制品落后系数做降序排列。
14.一种派工方法，用于对半导体制造执行系统进行派工，所述半导体制造执行系统包括设备组，所述设备组中的设备用于对在制品执行相应的工艺步骤，以获得产品，其特征在于，所述派工方法包括：
设定开始时间和结束时间，获得限定时间；
获取产品的标准生产周期表、制造执行系统中设备组内设备的实时数据以及产品的下线计划表；
根据所述标准生产周期表、所述实时数据以及所述下线计划表，获得限定时间内与产品名称以及工艺序号相对应的设备组的静态工艺步骤产量需求；
获取设备和设备组关系数据、产品名称、与工艺序号相对应的设备组内的设备工艺能力限制以及设备历史数据，结合所述设备组的静态工艺步骤产量需求，获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置，所述设备历史数据包括与产品名称、工艺序号相对应的设备产出速率和产出记录；
根据设备组的设备历史数据中的与产品名称、工艺序号相对应的设备产出速率和产出记录，结合所述最佳产能配置，获得与工艺序号相对应的设备落后系数；
根据所述设备落后系数，获得与在制品相对应的在制品落后系数，并根据所述在制品落后系数的大小对在制品进行设备指派；
在完成设备指派之后，将设备端已指派的在制品按在制品落后系数的大小排序，以输出设备相对应的派工单，所述半导体制造执行系统根据所述派工单进行派工。
15.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，所述限定时间以日为单位。
16.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，获得限定时间内与产品名称以及工艺序号相对应的设备组的静态工艺步骤产量需求的步骤包括：
获得制造执行系统的工艺流程数据；
根据所述标准生产周期表以及所述制造执行系统中设备组内设备的实时数据，获得设备当前在制品在限定时间内应经过的工艺流程步骤；
根据所述标准生产周期表以及所述产品的下线计划表，获得未生产的产品在限定时间内应该经过的工艺流程步骤；
基于所述设备当前在制品在限定时间内应经过的工艺流程步骤以及所述未生产的产品在限定时间内应该经过的工艺流程步骤，并结合所述工艺流程数据获得限定时间内与产品名称以及工艺序号相对应的设备组静态工艺步骤产量需求。
17.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，所述获得与设备组内设备相对应的最佳产能配置的步骤包括：采用规划求解的方法获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置。
18.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，所述获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置的步骤包括：
基于所述设备和设备组关系数据以及设备历史数据，获得与产品名称、工艺序号相对应的设备产出速率；
获取设备工艺能力限制，在所述设备工艺能力限制下，根据所述设备组静态工艺步骤产量需求以及与产品名称、工艺序号相对应的设备产出速率，获得设备组内各个设备的设备利用率；
以当设备组内设备利用率的标准差为最小时的产能配置为最佳产能配置。
19.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，所述获得与工艺序号相对应的设备落后系数的步骤包括：
基于所述设备历史数据，获得与产品名称和工艺序号相对应的设备历史移动量；
基于所述最佳产能配置，获得与产品名称和工艺序号相对应的设备计划移动量；
比较所述设备计划移动量和所述设备历史移动量的大小，获得与产品名称、工艺序号相对应的设备落后移动量；
根据所述设备落后移动量和所述设备计划移动量的比值，获得与工艺序号相对应的设备落后系数。
20.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，所述根据所述在制品落后系数的大小对在制品进行设备指派的步骤包括：指派在制品落后系数最大的设备处理相应在制品。
21.如权利要求14所述的派工方法，其特征在于，所述将设备端已经指派的在制品按在制品落后系数的大小排序的步骤包括：将设备端已经指派的在制品，按在制品落后系数做降序排列，获得设备相应的派工单，所述半导体制造执行系统根据所述派工单进行派工。