一种去胶工步识别方法及装置与流程

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种去胶工步识别方法及装置。

背景技术：

半导体制造领域的MES(Manufacturing Execution System，生产执行系统)中，根据业务逻辑先后顺序执行产品制作的基础流程，基础流程中经常需要进行跳步作业，例如，当产品批次按生产需要执行跳过某些工序步骤的作业，比如，从工序步骤3跳到步骤7，如果被跳过的步骤4至步骤6中包括去光刻胶的步骤，则直接跳步到步骤7得到的产品所携带的光刻胶不会被去掉，这样会造成后续作业的机台生产出错，影响产品质量。例如，如果后续作业为酸槽清洗，就会造成酸槽污染，甚至会导致整个批次的产品因酸洗时被污染而成为次品。

为了避免这种情况发生，在跳步作业前，进行人工判断跳步作业所跳过的步骤是否包含去光刻胶步骤，但是人工判别容易出错，一旦判断错误，就会导致整个批次的机台生产都出错，增加次品数量，不利于提高产品良率。

综上，现有半导体制造工艺中存在着无法准确判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，导致机台加工容易出错的问题。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种去胶工步识别方法及装置，用以解决现有半导体制造工艺中存在的无法准确判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，导致机台加工容易出错的问题。

本发明实施例提供一种

上述实施例中，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为发明实施例提供的一种跳步作业去胶工步识别的方法流程图；

图2为本发明实施例提供的一种跳步作业去胶工步识别的方法流程图；

图3为本发明实施例提供的一种跳步作业去胶工步识别装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例中的工步为工艺步骤的简称。为了避免因跳步作业造成的机台加工出错，提高产品良率，本发明实施例提供了一种去胶工步识别方法及装置，具体是根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率。而且如果识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步，可根据发送的作业提醒直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理，避免长时间的排查出错原因，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高生产效率。其中，Multi Skip嵌套在MES生产执行系统中，用于根据获取的数据识别本次跳步作业跳过的工步中是否包含去胶工步。去胶工步识别装置也可以为其它的具有相同功能的可以控制机台加工的装置。

如图1所示的本发明实施例提供一种去胶工步识别方法，该方法包括：

步骤101，获取待跳步工步的产品批次标识；

步骤102，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步的产品批次信息，待跳步工步的产品批次信息中至少包括待跳步工步对应的工序标识和工步标识；

步骤103，获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；

步骤104，根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；

步骤105，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，若不包括，则执行本次跳步。

上述方法流程由嵌套于生产执行系统MES中的去胶工步识别装置或去胶工步检测装置来执行，嵌套于生产执行系统MES中的去胶工步识别装置或去胶工步检测装置用于识别跳步作业中所跳过的工步之间是否包括去胶步骤。

上述步骤101中，根据输入设备输入的数据，获取待跳步工步的产品批次标识。待跳步工步是指跳步作业前刚执行完的工步。

步骤102中，待跳步工步的产品批次信息包括待跳步工步的产品批次标识Lot_ID，工步标识Operration/Step_ID，工序标识Layer_ID，工艺标识Process_ID，产品编号Product_ID，工艺菜单标识Recipe_ID等信息，这一步骤的实现基于MES系统执行该待跳步工步时，存储以该产品批次标识为索引的每个工步的产品批次信息，而待跳步工步的产品批次信息为最新存储的，当去胶工步识别装置获取输入设备输入的该产品批次标识时，会自动提取跳步前最新存储的该产品批次标识对应的待跳步工步的产品批次信息。

步骤102之后，还包括：显示待跳步工步的产品批次信息。

上述方法流程中，每个工序标识对应至少一个工步标识，一般来说，在半导体生产执行系统MES中，一个工艺由多个工序组成，每个工序对应一个唯一的工序标识，而一个工序可以包括多个工步，每个工步对应一个唯一的工步标识。

本发明实施例提供了在同一工序间跳步时确定所跳过工步的工步信息的方法，即若待跳步工步对应的工序标识与目标工步对应的工序标识相同，则步骤104中包括：根据待跳步工步对应的工步标识、目标工步的工步标识，以及工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息。所跳过工步的工步信息至少为所跳过工步对应的工步标识，也可包括工步标识对应的机台群组标识，工步标识对应的工序标识等。

其中，若一个工序包括多个工步，则工序标识对应的工步列表是指该工序对应的工序标识与该工序包括的所有工步的工步标识的对应关系。比如，一个工序包括5个工步，该工步的工序标识为Layer1_ID，按照执行的先后顺序排列的5个工步的工步标识分别为Step1_ID，Step2_ID，Step3_ID，Step4_ID，Step5_ID，那么以Layer1_ID为索引，以Step1_ID1，Step2_ID2，Step3_ID，Step4_ID，Step5_ID为索引内容的表项即为工序标识对应的工步列表，并且在工序标识对应的工步列表中的工步标识按照执行的先后顺序排列。因此，在同一工序中进行跳步作业时，根据待跳步工步对应的工步标识、目标工步的工步标识，查找该工序的工序标识对应的工步列表，即可确定出本次跳步作业所跳过工步的工步信息。例如，工序2包括7个工步，若跳步作业需要从工序2的工步3跳转至工序2的工序7，则根据工步3的工步标识、工步7的工步标识，查找工序2的工序标识对应的工步列表，即可确定出本次跳步作业所跳过的工步4至工步7的工步信息。

本发明实施例还提供了在不同工序间跳步时，确定所跳过工步的工步信息的方法，即若待跳步工步对应的工序标识与目标工步对应的工序标识不同，则步骤104中包括：根据待跳步工步的工序标识和目标工步的工序标识确定本次跳步作业所跳过的工序标识；根据待跳步工步的工步标识和待跳步工步的工序标识对应的工步列表，本次跳步作业所跳过的工序标识对应的工步列表，目标工步的工步标识和目标工步的工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息。

比如，工艺A包括工序1至工序5，按照正常的作业顺序，依次执行各工序对应的各个工步。假如，工序2包括7个工步，工序3包括2个工步，工序4包括4个工步，根据某些特殊需要需从工序2的第1个工步做完后，直接跳步到工序4的第3个工步，则待跳步工步为工序2的工步1，目标工步为工序4的工步3，若工序标识为Layer_ID，工步标识为Step_ID，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息包括：

(1)可根据Layer2_ID和Layer4_ID，确定本次跳步作业所跳过的工序3的工序标识Layer3_ID；

(2)根据工序2的Step1_ID和Layer2_ID对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过的Layer2_ID对应的Step2_ID、Step3_ID、Step4_ID、Step5_ID、Step6_ID、Step7_ID；

(3)根据工序3的Layer3_ID对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过的Layer3_ID对应的Step1_ID、Step2_ID；

(4)根据工序4的Step3_ID和Layer4_ID对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过的Layer3_ID对应的Step1_ID、Step2_ID。

上述步骤105包括：若查找到所跳过工步的工步标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告；或者，若查找到所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告。

在具体实施中，通过在MES生产执行系统中用于对工步信息进行设置的数据表项中，设置并存储每个工步的工步标识与对应机台群组的机台群组标识的关联关系。还通过在MES生产执行系统中用于对机台群组信息进行设置的数据表项，设置并存储标记有去胶工步识别标识的机台群组标识，标记去胶工步识别标识的机台群组用于执行去胶工步。这样，步骤104确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息之后，可实现根据本次跳步作业所跳过工步的工步信息中包括的工步标识，查找所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识是否标记有去胶工步识别标识。若查找到所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告。

也可以在MES生产执行系统中用于对工步信息进行设置的数据表项中，设置并存储标记有去胶工步识别标识的工步标识，这样步骤104确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息之后，可实现根据本次跳步作业所跳过工步的工步信息中包括的工步标识，查找所跳过工步的工步标识是否标记有去胶工步识别标识，若查找到所跳过工步的工步标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告。

通常在MES中，每个工序包括大量的工步，每个工步对应一个机台群组。而对于同一个机台群组，可以执行多个不同的工步，即一个工步标识对应一个机台群组标识，但一个机台群组标识可以对应多个工步标识，如果对每个工步标识都要进行标记去胶工步识别标识的设置，则会存在大批量的工步信息设置工作量。因此，将标记有去胶工步识别标识的机台群组标识作为去胶工步的识别依据，与将标记有去胶工步识别标识的工步标识作为去胶工步的识别依据相比，能够在一定程度上减轻大量设置工作的工作量，具有更好的实用性。

为了能够使工作人员收到作业警告之后，能够追溯具体哪个工步为去胶工步或者哪个机台群组执行去胶工步，上述步骤105发送作业警告之后，还包括：显示本次跳步作业所跳过工步中包括的去胶工步对应的工步标识，和/或，该去胶工步对应的机台群组标识。这样，如果识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步，可根据发送的作业提醒和显示的去胶工步的具体信息，直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理。显示识别出的去胶工步的具体信息，能够避免无法追溯所跳过的去胶工步的具体信息的问题，避免长时间排查跳过的工步中哪一个工步为去胶工步而影响整体生产进度，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高产品生产效率。

还可包括向指定邮箱发送去胶工步识别报告，去胶工步识别报告中包括本次跳步作业所跳过工步中包含的去胶工步对应的工步标识，和/或，该去胶工步对应的机台群组标识。发邮件通知产品工程师，由产品工程师检查确认，可以避免因跳步作业导致的机台生产出错，对提高材料利用率和成品良率有不可勿视的作用。如果跳步作业后的工序是进酸槽酸洗，当识别出跳步作业所跳过步骤中包含去胶工步，则不允许跳步，并暂停生产,经产品工程师检查确认执行去胶步骤后才能进酸槽酸洗，这样就会避免酸槽污染问题，进而提高产品生产效率和良率。

识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步后，发送作业警告或者显示去胶工步的相关信息，或者向指定邮箱发送去胶工步识别报告，可实现根据发送的作业提醒直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理，避免长时间的排查出错原因，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高生产效率。

上述方法流程中，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率，而且如果识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步，可根据发送的作业提醒直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理，避免长时间的排查出错原因，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高生产效率。

下面结合对同一工序中进行跳步作业进行去胶工步识别的具体应用，对上述方法流程进行详细说明。下述方法流程由跳步作业去胶工步识别装置MultiSkip执行，Multi Skip嵌套在MES生产执行系统中，用于根据获取的数据识别本次跳步作业跳过的工步中是否包含去胶工步。在Multi Skip工作之前，需要在MES中进行以下设置，具体参见步骤A1和A2。

步骤A1，设置带有去胶工步识别标识的机台群粗标识；

具体操作为：在MES生产执行系统中用于对机台群组信息进行设置的数据表项(如Edit Tool Group_Basic information)中设置执行去胶工步的机台群组对应的机台群组标识(Tool Capablity ID)，也就是说建立机台群组标识与去胶工步识别标识(Glue Capablity_YES)的关联关系，此表项中可以添加多个执行去胶工步的机台群组标识。

步骤A2，设置工步标识与机台群组标识的对应关系；

具体操作为：在MES生产执行系统中用于对工步信息进行设置的数据表项(如Edit Step)中设置每个工步的工步标识(Step2_ID)与对应机台群组的机台群组标识(Tool Capablity ID)的关联关系。

Multi Skip通过以下步骤识别跳步作业所跳过的工步中是否包含去胶工步。参见图2，具体为：

步骤B1：获取待跳步工步的产品批次标识，并根据获取的产品批次标识，提取并显示待跳步工步的产品批次信息；

具体的，工作人员在MES生产执行系统的工艺菜单主界面，选择多步跳转菜单选项“Multi Skip”，然后在弹出的“Multi Skip”界面输入待跳步工步所属产品批次的产品批次标识Lot_ID，使跳步作业去胶工步识别装置获取待跳步工步的Lot_ID。

Multi Skip根据获取的Lot_ID，从MES数据库中提取待跳步工步的Lot Information，并显示待跳步工步的Lot Information，其中，Lot Information包括待跳步工步的Lot_ID，Operration/Step_ID，Layer_ID，Process_ID，Product_ID，Recipe_ID等。

步骤B2：获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；

具体的，在步骤B2显示Lot Information的显示界面输入待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识New Layer_ID和New Layer_ID对应的Step_ID，并点击“OK”选项，使Multi Skip获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的Layer_ID和Step_ID；

其中，因该方法流程为同一工序中的跳步作业的去胶工步识别，因此，输入的New Layer_ID与步骤B1待跳步工步的Layer_ID相同。

步骤B3：根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步标识；

具体的，Multi Skip根据获取的待跳步工步的Step_ID和Layer_ID，目标工步的Layer_ID和Step_ID，因待跳步工步的Layer_ID和目标工步的Layer_ID相同，因此，根据待跳步工步的Step_ID和目标工步的Step_ID，查找本地存储的该Layer_ID对应的工步列表，即可确定出本次跳步作业所跳过工步的工步标识。其中，该Layer_ID对应的工步列表中包括该Layer_ID对应的按照执行先后顺序排列的各个工步的Step_ID。

步骤B4，根据步骤B3确定本次跳步作业所跳过工步的工步标识，查找所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识是否标记有去胶工步识别标识。

具体的，数据库中预先存储了工步的工步标识和执行该工步的机台群组的机台群组标识的关联关系，数据库中预先存储了标记有去胶工步识别标识的机台群组标识，标记去胶工步识别标识的机台群组用于执行去胶工步。

若查找到所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识标记有去胶工步识别标识，则执行步骤B5至B7，若所跳过工步的每个工步标识对应的机台群组标识都未标记去胶工步识别标识，则执行步骤B8。

步骤B5：发送暂停生产的作业警告；具体的，发送的作业警告为不允许跳过该去胶工步并HOLD(暂停生产)该产品批次，可跳过不是去胶工步的工步，停留在去胶工步。

步骤B6：以对话框形式显示本次跳步作业所跳过的去胶工步信息；

以对话框形式显示本次跳步作业所跳过工步中包括的去胶工步对应的工步标识和该去胶工步对应的机台群组标识，例如显示跳过的工步的工步编号，以及显示“机台群组标识为EFASOXXA的机台群组执行去胶工步，跳过的工步之间有去胶工步，不允许跳步”的网页对话框。

步骤B7：向指定邮箱发送识别报告；

向指定邮箱发送的去胶工步识别报告中包括本次跳步作业所跳过工步中包含的去胶工步对应的工步标识和该去胶工步对应的机台群组标识，当然可以直接将显示的网页对话框截图后添加在邮件中发送给产品工程师，由产品工程师确认。

步骤B8：直接执行跳步作业。

上述方法流程中，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率，而且如果识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步，可根据发送的作业提醒直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理，避免长时间的排查出错原因，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高生产效率。

针对上述方法流程，本发明实施例还提供一种去胶工步识别装置，这些装置的具体内容可以参照上述方法实施，在此不再赘述。

如图3所示的一种去胶工步识别装置，包括：

第一获取单元301，用于获取待跳步工步的产品批次标识；

提取单元302，用于根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步的产品批次信息，待跳步工步的产品批次信息中至少包括待跳步工步对应的工序标识和工步标识；

第二获取单元303，用于获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识；

确定单元304，用于根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；

处理单元305，用于若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告，若不包括，则执行本次跳步。

进一步的，还包括显示单元；显示单元用于：

在提取单元302提取待跳步工步的产品批次信息之后，显示待跳步工步的产品批次信息。

进一步的，每个工序标识对应至少一个工步标识；

确定单元304具体用于：

若待跳步工步对应的工序标识与目标工步对应的工序标识相同，则

根据待跳步工步对应的工步标识、目标工步的工步标识，以及工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息；或者，

若待跳步工步对应的工序标识与目标工步对应的工序标识不同，则

根据待跳步工步的工序标识和目标工步的工序标识确定本次跳步作业所跳过的工序标识；

根据待跳步工步的工步标识和待跳步工步的工序标识对应的工步列表，本次跳步作业所跳过的工序标识对应的工步列表，目标工步的工步标识和目标工步的工序标识对应的工步列表，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息。

进一步地，所跳过工步的工步信息至少为所跳过工步对应的工步标识；

处理单元305具体用于：

若查找到所跳过工步的工步标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告；或者，

若查找到所跳过工步的工步标识对应的机台群组标识标记有去胶工步识别标识，则发送作业警告。

进一步地，显示单元还用于：发送作业警告之后，显示本次跳步作业所跳过工步中包括的去胶工步对应的工步标识，和/或，该去胶工步对应的机台群组标识；

处理单元305，还用于向指定邮箱发送去胶工步识别报告，去胶工步识别报告中包括本次跳步作业所跳过工步中包含的去胶工步对应的工步标识，和/或，该去胶工步对应的机台群组标识。

上述实施例中，根据获取的产品批次标识，提取待跳步工步对应的工序标识和工步标识，并获取待跳步工步拟跳转的目标工步对应的工序标识和工步标识，触发嵌套在MES中的去胶工步识别装置根据待跳步工步对应的工序标识和工步标识、目标工步对应的工序标识和工步标识，确定本次跳步作业所跳过工步的工步信息，若所跳过工步的工步信息中包括去胶工步识别标识，则发送作业警告提醒不允许跳步，可实现准确的判别跳步作业所跳过的工步中是否包含去光刻胶步骤，与人工判别相比，识别跳步作业所跳过工步中是否包含去胶步骤的准确率较高，可以避免因跳步作业造成的机台加工出错，有利于提高产品良率，而且如果识别出跳步作业所跳过工步中包括去胶工步，可根据发送的作业提醒直接追溯到该去胶工步对应的机台群组做后续处理，避免长时间的排查出错原因，可将对生产进度的影响降到最低，有利于提高生产效率。

本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。