一种解决离子注入机PMAC部件运行时控制程序卡机或死机的处理方法与流程

本发明是一种软件技术，涉及离子注入机的PMAC部件运行时数据检测、数据传输、数据处理的方法，以此来解决控制程序在PMAC部件运行时卡机或死机等现象，属于半导体器件制造的软件领域。

背景技术：

半导体集成电路制造工艺已经发展到12英寸晶片、纳米技术节点阶段。随着晶圆尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也越来越高。这样对离子注入机控制程序编写也越来越复杂。为了确保离子注入机控制程序运行时的可靠性和稳定性，确保注入晶片的工艺操作符合设计要求，必须保证离子注入机控制程序正常运行，保证控制程序在运行时不会出现卡机或死机等现象。

技术实现要素：

本发明主要是为了确保离子注入机在PMAC部件运行时控制程序不会出现卡机或死机而针对PMAC相关数据进行处理的一种方法。

本发明通过以下技术方案实现：

1、上位机对下位机发送PMAC部件执行命令成功后即返回线程，不需等至PMAC部件动作执行完成后再返回线程。

2、下位机检测PMAC部件执行状态是在定时器中定时检测，而不是用Sleep延时命令来循环检测，同时把检测结果发送给上位机。

3、上位机用回调函数来监测下位机传输的PMAC部件运行状态。

4、上位机根据需要在定时器中检测PMAC部件运行动作是否完成。

本发明具有如下显著优点：

1、多种PMAC部件动作可同时执行。

2、PMAC部件动作执行时不需等待其操作完成后就能对控制程序进行其他操作。

3、控制程序的运行效率和设备的执行效率得到很大提高。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明专利限定。

如图所示，注入机在运行时，当需要进行PMAC部件操作时，一般PMAC部件动作操作完成时间比较长，如果程序发送PMAC动作的函数是等待PMAC动作执行完成后再返回信息，即在图中第5步中不向上位机发送成功信号，而是上位机发送命令后一直等待下位机程序执行完PMAC动作后再反馈结果，则控制程序在等待的过程中就不能进行其他操作，且发送PMAC动作的函数因为长时间占用内存空间而造成控制程序卡机，而程序卡机又容易造成控制程序死机等现象发生。

通过如图流程操作PMAC动作，可以同时操作多种PMAC部件动作，只要它们之间的动作不存在冲突。同时在操作PMAC部件时可以对控制程序进行其他操作，这些操作不会造成程序卡机或死机现象，大大提高了程序的工作效率和设备的执行效率。

附图说明

图1为解决离子注入机PMAC部件运行时控制程序卡机或死机的处理方法流程图。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不违背本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。