技术总结
本发明公开了一种大型无尘室压差监测与调整方法,包括以下步骤：(1)总线敷设，按照常规工艺对总线进行敷设；(2)压差测试点位置的选择，(3)安装导压管，(4)压差传感器及数据采集器的安装，(5)计算机处理进行数值比对；(6)在进行压差调整与控制前的检查后，根据压差显示、超差报警控制系统调整相关电动或手动风阀开度。通过压差传感器实现了测量数据的同步实时传输，极大的加快了测量的相应速度。同一洁净单元内按工艺需求设置测量点位置，确保气流体符合工艺需求。多个区域的压差数据传输至计算机，通过计算比较，直观反映了各区域压差情况。
技术研发人员：吴勇;谭艳平;兰振;林俊;朱建姣;鲁维
受保护的技术使用者：深圳市昶檀实业有限公司
文档号码：201710145237
技术研发日：2017.03.13
技术公布日：2017.06.30