技术总结
本实用新型公开了一种真空压强控制仪，包括电阻真空规测量系统、电离真空规测量系统、真空压强控制系统、模数转换模块、微处理器、信号输出模块，电阻真空规测量系统、电离真空规测量系统分别与模数转换模块连接，真空压强控制系统、模数转换模块、信号输出模块分别与微处理器连接；电阻真空规测量系统用于测量低真空环境，电离真空规测量系统用于测量高真空环境，真空压强控制系统作为执行机构，用于调节工质气体的输入。本实用新型实现了传统真空计不能做到的压强控制；同时，仪表本身成本和使用成本都有极大降低；此外，相比其他系统集成类控制方案，本实用新型的动态响应速度更高，更适用于真空度快速剧烈波动的工艺场合。
技术研发人员：熊慧;贺良武;柳灵
受保护的技术使用者：成都兴睿宝电子科技有限公司
文档号码：201720039478
技术研发日：2017.01.13
技术公布日：2017.07.21