技术特征：
技术总结
获取用于显示基板处理装置中的多个基板的处理的履历的履历显示数据。基于所获取的履历显示数据，将多个基板的处理的履历作为履历图表来显示在显示部。在将多个要素作为第一要素及第二要素而受理的情况下，将通过所受理的第一要素及第二要素的彼此对应的部分的第一辅助线或第二辅助线显示在履历图表上，该多个要素作为由显示部显示的履历图表的任意的部分与不同的基板对应并且与相同的处理对应。
技术研发人员：城宪一郎;中西晓洋
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：2017.04.03
技术公布日：2019.05.03