技术总结
本申请公开了一种质量流量控制器的线性度增强方法及装置，本方案中的线性度增强方法，包括：接收用户设定的第一流量值；基于预设误差修正曲线，将第一流量值修正为第二流量值，预设误差修正曲线在基于预设标准线性曲线设定的误差区间内；将第二流量值输入质量流量控制器。本申请的方法实现了对精度超差的质量流量控制器的线性度增强，提高了质量流量控制器的输出精度，在不对质量流量控制器重新标定的情况下延长了质量流量控制器的使用寿命。
技术研发人员：马弢;牛晓;杨健;张福林
受保护的技术使用者：北京晓韬科技有限公司
技术研发日：2019.09.30
技术公布日：2020.01.03