专利名称：阻尼式分流器及气体质量流量控制器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种质量流量控制装置，尤其涉及一种阻尼式分流器及气体质量 流量控制器。
背景技术：
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)由质量流量计、控制器组成， 不但具有流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自 动的将流量恒定在设定值上。质量流量计由分流器通道、流量传感器和放大电路等部件组 成，在质量流量计的基础上，再加上比例调节阀和PID控制电路就构成了质量流量控制器。现有技术中的质量流量控制器包括计量装置和控制系统。如图1所示，计量装置 包括气体通道，气体通道内设有分流器1并设有分流口，分流口上设有传感器2，传感器2将 检测到的流量信号输入给控制单元。通过测量分流口内的流量，控制单元换算出总的流量， 根据换算结果向控制阀发出控制信号，控制阀口的开度大小，进而控制流量的大小。现有技术中的质量流量控制器，气体通道内存在较大的空腔，该空腔在阀没打开 之前充满气体，当阀打开的瞬间，由于传感器、分流器和空腔内的气体同时从阀口流出，这 样会使气流特性变差，严重影响了质量流量控制器的准确度和稳定性。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便，并能有效的改善气流特性的 阻尼式分流器及气体质量流量控制器。本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的本实用新型的阻尼式分流器，包括气体进口、气体出口和分流口，所述气体出口处 设有过滤网。本实用新型的气体质量流量控制器，包括气体通道，所述气体通道内设有上述的 阻尼式分流器。由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型所述的阻尼式分流器及 气体质量流量控制器，阻尼式分流器能够有效的改善气流特性，结构简单、使用方便。
图1为现有技术中的气体质量流量控制器结构示意图；图2为本实用新型的带有阻尼式分流器的气体质量流量控制器结构示意图。
具体实施方式
本实用新型的阻尼式分流器及气体质量流量控制器，其较佳的具体实方式如图2 所示，阻尼式分流器1包括气体进口、气体出口和分流口，气体出口处设有过滤网3。所述过滤网3可以设于阻尼式分流器的分流口与气体出口之间。所述过滤网为不锈钢网。本实用新型的气体质量流量控制器，包括气体通道，所述气体通道内设有上述的 阻尼式分流器。该阻尼式分流器的气体出口端与所述气体通道的内壁可以是螺纹连接或密 封连接。结构简单、稳定可靠、并且易加工、易安装、操作使用方便，能够有效的改善气体质 量流量控制的性能，提高控制气体流量的准确度。以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不 局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到 的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种阻尼式分流器，包括气体进口、气体出口和分流口，其特征在于，所述气体出口 处设有过滤网。
2.根据权利要求1所述的阻尼式分流器，其特征在于，所述过滤网设于所述分流口与 气体出口之间。
3.根据权利要求2所述的阻尼式分流器，其特征在于，所述过滤网为不锈钢网。
4.一种气体质量流量控制器，包括气体通道，其特征在于，所述气体通道内设有权利要 求1、2或3所述的阻尼式分流器。
5.根据权利要求4所述的气体质量流量控制器，其特征在于，该阻尼式分流器的气体 出口端与所述气体通道的内壁螺纹连接或密封连接。
专利摘要本实用新型公开了一种阻尼式分流器及气体质量流量控制器，阻尼式分流器包括气体进口、气体出口和分流口，气体出口处设有过滤网。阻尼式分流器能够有效的改善气流性能，结构简单、稳定可靠、并且易加工、易安装、操作使用方便，能够有效的改善气体质量流量控制的性能，提高控制气体流量的准确度。
文档编号G05D7/03GK201867656SQ201020643500
公开日2011年6月15日 申请日期2010年11月30日 优先权日2010年11月30日
发明者宋志辉, 李凌峰 申请人:北京七星华创电子股份有限公司