技术特征：
1.一种半导体工艺设备数据采集系统，其特征在于，包括设备数据采集eda服务器、至少一个eda终端和至少一个半导体工艺设备，所述至少一个半导体工艺设备上均安装有集簇设备控制程序ctc；所述eda终端用于基于用户的操作生成数据采集计划dcp，并将所述dcp和所述dcp对应的激活指令发送至所述eda服务器；所述eda服务器用于采用所述激活指令激活所述dcp，基于所述dcp确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将所述采集数据目标发送至所述dcp对应的半导体工艺设备；所述半导体工艺设备中的所述ctc用于根据所述采集数据目标采集设备数据，将采集到的所述设备数据转换为比特字节流，并将所述比特字节流发送至所述eda服务器。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述ctc用于将所述设备数据组织为数据对象，再基于预设的数据转换动态库将所述数据对象转换为所述比特字节流。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述eda服务器还用于基于预设的所述数据转换动态库将比特字节流转换为所述数据对象。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述数据转换动态库包括对象数据类型和对象数据转换类；所述对象数据类型枚举有所述数据对象的数据类型；所述对象数据转换类可将各个数据类型的数据对象转换为比特字节流以及将比特字节流转换为不同数据类型的数据对象的数据转换方法和多个用于所述数据转换方法中的属性字段。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述数据类型包括以下类型中的至少一种：无符号整数、有符号整数、布尔型变量、二进制、单精度浮点型、双精度浮点型、字符串、枚举类型、列表和任意类型。6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述属性字段包括：表征所述数据对象是否为数组类型的标志；表征取所述数据类型中一种类型的取值标志；和/或，所述数据对象所存储的值；所述数据转换方法包括：用于将所述设备数据组织为所述数据对象的创建函数；用于将所述数据对象转换为所述比特字节流的写函数；用于将所述比特字节流转换为所述数据对象的读函数；用于判断所述数据对象是否为列表的列表格式判断函数；用于获取所述数据对象中指定索引处的数据值的索引函数；和/或，至少一个用于在组织所述数据对象时初始化所述数据对象的构造函数。7.一种半导体工艺设备数据采集方法，其特征在于，包括：eda终端基于用户的操作生成数据采集计划dcp，并将所述dcp和所述dcp对应的激活指令发送至所述eda服务器；所述eda服务器采用所述激活指令激活所述dcp，基于所述dcp确定其对应的半导体工
艺设备和采集数据目标，并将所述采集数据目标发送至所述dcp对应的半导体工艺设备；所述半导体工艺设备上安装的集簇设备控制程序ctc根据所述采集数据目标采集设备数据，将采集到的所述设备数据转换为比特字节流，并将所述比特字节流发送至所述eda服务器。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述将采集到的所述设备数据转换为比特字节流包括：将所述设备数据组织为数据对象，再基于预设的数据转换动态库将所述数据对象转换为所述比特字节流。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：所述eda服务器基于预设的所述数据转换动态库将比特字节流转换为所述数据对象。10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述数据转换动态库包括对象数据类型和对象数据转换类；所述对象数据类型枚举有所述数据对象的数据类型；所述对象数据转换类可将各个数据类型的数据对象转换为比特字节流以及将比特字节流转换为不同数据类型的数据对象的数据转换方法和多个用于所述数据转换方法中的属性字段。
技术总结
本申请公开一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，其中，上述系统包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和安装有集簇设备控制程序CTC的半导体工艺设备；EDA终端基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将DCP和激活指令发送至EDA服务器；EDA服务器采用所述激活指令激活所述DCP，基于DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将采集数据目标发送至DCP对应的半导体工艺设备；半导体工艺设备中的CTC用于根据采集数据目标采集设备数据，将采集到的设备数据转换为比特字节流，并将比特字节流发送至EDA服务器。本申请能够提高设备数据采集过程中的数据传输速率，改善数据传输性能。能。能。
技术研发人员：柴加加 马宝林
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2021.09.26
技术公布日：2021/12/21