一种应用于半导体生产的在线监控方法及系统与流程

本发明涉及在线监控，特别涉及一种应用于半导体生产的在线监控方法及系统。

背景技术：

1、半导体制造生产，是指用于制造半导体器件的过程；其工艺较复杂，包括：光刻和化学处理步骤(例如表面钝化、热氧化、平面扩散和结隔离)的多步骤序列，在此过程中，在纯硅制成的晶圆上逐渐形成电子电路半导体材料。在生产过程中使用各种机械设备(例如：单晶炉、气相外延炉、光刻机、反应离子刻蚀系统、晶片减薄机、晶圆划片机、引线键合机等)，在半导体生产过程中如何保证各个设备的安全有效的运行，是保证半导体生产的质量的前提，因此如何及时高效地确定各个设备的运行状态以及对半导体生产过程进行有效监控是亟需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本发明目的之一在于提供了一种应用于半导体生产的在线监控方法，及时高效地确定各个设备的运行状态以及对半导体生产过程进行有效监控。

2、本发明实施例提供的一种应用于半导体生产的在线监控方法，包括：

3、通过lonworks现场总线获取半导体生产的各个设备对应的采集节点的采集数据；

4、对采集数据进行分析，确定各个设备是否发生异常；

5、当发生异常时，向发生异常的设备对应的各个监控节点发送异常提醒信息并通过与各个设备对应的视频采集模块获取视频数据；

6、基于异常提醒信息和视频数据，生成应急处理记录。

7、优选的，通过lonworks现场总线获取半导体生产的各个设备对应的采集节点的采集数据，包括：

8、通过lonworks现场总线向采集节点发送一次数据获取请求；

9、当接收到采集节点对于数据获取请求的应答后，通过lonworks现场总线的控制节点获取采集节点的数据发包编号规则；

10、基于数据发包编号规则，对接收的采集节点的采集数据所对应的第一数据包进行校验；

11、基于校验结果，构建二次数据获取请求；

12、接收采集节点对于二次数据获取请求所发送的第二数据包；

13、解析第一数据包和第二数据包，获取采集数据。

14、优选的，对采集数据进行分析，确定各个设备是否发生异常，包括：

15、确定设备对应的设备信息；

16、基于设备信息，从预设的分析库中提取设备对应的特征提取规则以及异常分析子库；

17、基于特征提取规则，对采集数据进行特征提取，获取多个特征值；

18、基于多个特征值，构建分析特征集；

19、从异常分析子库中调取与分析特征集对应的分析结果；

20、解析分析结果，确定设备是否发生异常以及异常的信息。

21、优选的，当发生异常时，向发生异常的设备对应的各个监控节点发送异常提醒信息并通过与各个设备对应的视频采集模块获取视频数据，包括：

22、解析异常的信息，确定异常对应的部件以及部件在设备内的位置；

23、基于部件以及部件在设备内的位置，查询预设的视频采集模块调取表，确定对应的视频采集模块并获取视频数据。

24、优选的，基于异常提醒信息和视频数据，生成应急处理记录，包括：

25、解析异常提醒信息，确定各个提醒数据项以及异常对应的异常编码；

26、基于异常编码，调取对应的应急处理记录生成模板；

27、将各个提醒数据项，填写至应急处理记录生成模板中预设的各个提醒数据对应的第一位置；

28、对视频数据进行剪辑，获取处理人员的现场处理视频；

29、将现场处理视频的起始时间，填写至应急处理记录生成模板中预设的第二位置；

30、将现场处理视频，填入至应急处理记录生成模板中预设的第三位置。

31、优选的，对视频数据进行剪辑，获取处理人员的现场处理视频，包括：

32、步骤s1：按照预设的间隔数量，对视频数据的帧图像进行提取，获取第一待分析图像；

33、步骤s2：依次对第一待分析图像进行人员识别，当出现预设的处理人员时，将预设的第一统计参数和第二统计参数值都置为初始值；

34、步骤s3：在下一个第一待分析图像中同样识别出处理人员时，第一统计参数加一；

35、步骤s4：在下一个第一待分析图像中未识别出处理人员时，第二统计参数加一；

36、步骤s5：循环执行步骤s3和步骤s4，直至第一统计参数值在预设的第一时间间隔内达到第一阈值；

37、步骤s6:将前一个第一统计参数置为初始值的点作为现场处理视频的开始点；

38、其中，在步骤s5循环执行过程中，当在预设的第二时间间隔内第二统计参数达到预设的第二阈值时，将第一统计参数和第二统计参数都置为初始值；第一时间间隔大于第二时间间隔。

39、优选的，当存在多个视频采集模块进行拍摄时，对视频数据进行剪辑，获取处理人员的现场处理视频，包括：

40、确定同一时间，是否存在多个包含维修人员的帧图像；

41、当存在时，确定表示各个帧图像中维修人员的面向的面向向量与帧图像对应的视频采集模块的中心向量的夹角；

42、基于夹角，确定第一评分值；

43、确定各个帧图像中维修人员被遮挡的占比；

44、基于占比，确定第二评分值；

45、基于第一评分值和第二评分值，确定评分总值；

46、基于评分总值，对同一时间内的多个帧图像进行筛选，确定作为构建现场处理视频中的图像。

47、优选的，基于异常提醒信息和视频数据，生成应急处理记录，还包括：

48、解析现场处理视频，确定更换使用的配件信息及配件的使用顺序；

49、基于配件信息及配件的使用顺序，生成第一标识；

50、基于第一标识，对填写完成的应急处理记录生成模板进行标注；

51、其中，解析现场处理视频，确定更换使用的配件信息及配件的使用顺序，包括：

52、对现场处理视频各个帧图像进行识别，确定存在第一标示区域的帧图像为第二待分析图像；

53、对各个第二待分析图像中的第一标示区域进行提取，获取各个第三待分析图像；

54、基于预设的配件识别模型，对第三待分析图像进行识别，获取各个第三待分析图像对应的配件代码集；

55、基于配件代码集，对各个第三待分析图像进行筛选，获取多个第四待分析图像；

56、基于各个第四待分析图像对应的配件代码集，构建配件代码总集；

57、依次比较相邻的两个第四待分析图像对应的配件代码集，确定两个配件代码集的差异；

58、基于相邻的第四待分析图像对应的配件代码集的差异，确定配件的使用顺序。

59、优选的，基于异常提醒信息和视频数据，生成应急处理记录，还包括：

60、解析现场处理视频，确定从设备上更换的配件信息；

61、基于更换使用的配件信息、从设备上更换的配件信息，生成第二标识；

62、基于第二标识，对填写完成的应急处理记录生成模板进行标注；

63、其中，解析现场处理视频，确定从设备上更换的配件信息，包括：

64、对现场处理视频各个帧图像进行识别，确定存在第二标示区域的帧图像为第五待分析图像；

65、对各个第五待分析图像中的第二标示区域进行提取，获取各个第六待分析图像；

66、基于预设的配件识别模型，对第六待分析图像进行识别，获取各个第六待分析图像对应的配件代码集；

67、基于现场处理视频最后出现的第六待分析图像的配件代码集，确定从设备上更换的配件信息。

68、本发明还提供一种应用于半导体生产的在线监控系统，包括：

69、采集模块，用于通过lonworks现场总线获取半导体生产的各个设备对应的采集节点的采集数据；

70、分析模块，用于对采集数据进行分析，确定各个设备是否发生异常；

71、处理模块，用于当发生异常时，向发生异常的设备对应的各个监控节点发送异常提醒信息并通过与各个设备对应的视频采集模块获取视频数据；

72、生成模块，用于基于异常提醒信息和视频数据，生成应急处理记录。

73、本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

74、下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。