基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质与流程

本发明实施例涉及单晶炉控制，尤其涉及一种基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及存储介质。

背景技术：

1、目前，单晶炉系统开放性弱，用户无法根据自身的需求，自定义工艺算算及优化过程，即对系统的运行控制参数没有定制能力，无法自行通过调整工艺算法优化工艺来提高产品的质量和客户需求。一般的改造方式需要投入其他硬件设备，且既有的算法和外部资源无法通过合适的平台加以利用，具有成本高、效率低及难度大的缺点。

技术实现思路

1、本发明实施例提供一种基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质，通过第三方工具的界面实现对单晶炉的自定义控制，提高单晶炉控制的效率，且降低单晶炉控制的成本及难度。

2、第一方面，本发明实施例提供了一种基于界面的单晶炉控制方法，包括：

3、响应于变量配置操作，对各工艺控制流程分别配置对应的变量；其中，所述变量包括自定义变量和系统变量；系统变量包括工艺变量和控制变量；

4、响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本；

5、响应于数据通信操作，接收单晶炉系统发送的工艺参数；其中，所述工艺参数与所述工艺变量一一对应；所述单晶炉系统包括单晶炉内部软件系统和/或plc系统；

6、响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得各所述工艺控制流程对应的控制参数；其中，所述控制参数与所述控制变量一一对应；

7、将所述控制参数发送至所述单晶炉系统，使得所述单晶炉系统基于所述控制参数对单晶炉进行控制。

8、进一步地，响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本，包括：

9、响应于脚本编辑操作，调用各工艺控制流程对应的控制算法；其中，所述控制算法包括第三方算法和基础工艺算法；

10、基于所述控制算法和所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本。可以满足不同用户的个性化的工艺要求。

11、进一步地，在响应于数据通信操作之前，还包括：

12、响应于通信地址配置操作，配置单晶炉系统的通信地址；

13、相应的，接收单晶炉系统发送的工艺参数，包括：

14、通过所述通信地址与单晶炉系统建立通信连接；

15、接收所述单晶炉系统发送的工艺参数；其中，工艺参数为设置于单晶炉中的多种传感器实时采集到的。可以保证与单晶炉系统进行准确的通信连接，从而准确的控制对应的单晶炉。

16、进一步地，响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得所述对应的控制参数，包括：

17、响应于针对一个或多个工艺控制流程触发的脚本运行操作，将对应的工艺参数出入传入所述一个或多个工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得所述一个或多个工艺控制流程对应的控制参数。可以对各工艺控制流程分别进行独立的控制，提高对单晶炉控制的精度。

18、进一步地，还包括：

19、对于任意一个工艺控制流程；

20、响应于针对所述工艺控制流程中的一个或多个变量的显示操作，显示所述一个或多个变量的变化曲线。可以使得用户直观的看到变量的变化情况，提高用户体验。

21、进一步地，所述工艺控制流程包括：生长控制、压力控制、液温控制、直径控制、热场控制、升温控制、液位控制及坩埚跟踪。对不同的工艺控制流程独立进行控制，提高对单晶炉控制的精细化。

22、第二方面，本发明实施例还提供了一种基于界面的单晶炉控制系统，包括：第三方交互系统及单晶炉系统；其中，所述单晶炉系统包括晶炉内部软件系统和/或plc系统；

23、所述第三方交互系统用于执行本发明实施例所述的基于界面的单晶炉控制方法；所述单晶炉系统用于接收所述第三方交互系统发送的控制参数，并根据所述控制参数控制单晶炉。

24、第三方面，本发明实施例还提供了一种基于界面的单晶炉控制装置，包括：

25、变量配置模块，用于响应于变量配置操作，对各工艺控制流程分别配置对应的变量；其中，所述变量包括自定义变量和系统变量；系统变量包括工艺变量和控制变量；

26、自定义控制脚本生成模块，用于响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本；

27、工艺参数接收模块，用于响应于数据通信操作，接收单晶炉系统发送的工艺参数；其中，所述工艺参数与所述工艺变量一一对应；所述单晶炉系统包括单晶炉内部软件系统和/或plc系统；

28、脚本运行模块，用于响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得各所述工艺控制流程对应的控制参数；其中，所述控制参数与所述控制变量一一对应；

29、单晶炉控制模块，用于将所述控制参数发送至所述单晶炉系统，以基于所述控制参数对所述单晶炉进行控制。

30、第四方面，本发明实施例还提供了一种电子设备，所述电子设备包括：

31、至少一个处理器；以及

32、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

33、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本发明实施例所述的基于界面的单晶炉控制方法。

34、第五方面，本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本发明实施例所述的基于界面的单晶炉控制方法。

35、本发明实施例公开了一种基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质。响应于变量配置操作，对各工艺控制流程分别配置对应的变量；其中，变量包括自定义变量和系统变量；系统变量包括工艺变量和控制变量；响应于脚本编辑操作，基于变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本；响应于数据通信操作，接收单晶炉系统发送的工艺参数；其中，工艺参数与工艺变量一一对应；单晶炉系统包括单晶炉内部软件系统和/或plc系统；响应于脚本运行操作，将工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得各工艺控制流程对应的控制参数；其中，控制参数与控制变量一一对应；将控制参数发送至单晶炉系统，使得单晶炉系统基于控制参数对单晶炉进行控制。本发明实施例提供的基于界面的单晶炉控制方法，基于界面的方式生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本，从而实现对单晶炉的自定义控制，不仅可以提高单晶炉控制的效率及降低单晶炉控制的成本及难度，且可以进一步提高单晶炉生成产品的质量。

技术特征：

1.一种基于界面的单晶炉控制方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在响应于数据通信操作之前，还包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得所述对应的控制参数，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺控制流程包括：生长控制、压力控制、液温控制、直径控制、热场控制、升温控制、液位控制及坩埚跟踪。

7.一种基于界面的单晶炉控制系统，其特征在于，包括：第三方交互系统及单晶炉系统；其中，所述单晶炉系统包括晶炉内部软件系统和/或plc；

8.一种基于界面的单晶炉控制装置，其特征在于，包括：

9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-6中任一项所述的基于界面的单晶炉控制方法。

技术总结
本发明公开了一种基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质。响应于变量配置操作，对各工艺控制流程分别配置对应的变量；响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本；响应于数据通信操作，接收单晶炉系统发送的工艺参数；响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得各所述工艺控制流程对应的控制参数；将所述控制参数发送至所述单晶炉系统，使得所述单晶炉系统基于所述控制参数对单晶炉进行控制。不仅可以提高单晶炉控制的效率及降低单晶炉控制的成本及难度，且可以进一步提高单晶炉生成产品的质量。

技术研发人员：曹建伟,朱凌锋,芮志仲,陈佳,沈文杰
受保护的技术使用者：浙江求是创芯半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17