用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置的制造方法

用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置，该方法包括：确定预设流程中第一对象所到达的站点；判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度等级；以及根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。通过本发明，解决了具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。
【专利说明】
用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置
技术领域
[0001] 本发明设及产品制造领域，具体而言，设及一种用于具有时间间隔限制的制造流 程处理方法及装置。
【背景技术】
[0002] 在产品制造工艺中，为了制造出高质量的产品，某些制造工序之间有严格的时间 间隔要求，当某一工序完成后，一定要在特定时间内完成另一工序，上述时间间隔要求即时 间间隔限制，例如，在晶圆制造工艺中，为了严格管控时间间隔限制，会在时间间隔限制区 间开始的站点之前设定一个虚拟站点（虚拟工艺步骤）作为缓冲站点，随着制造流程越来 越先进，时间间隔限制的要求也越来越严。如表1所示，工艺步骤2光刻完成后一定要在72 小时内完成工艺步骤8蚀刻，蚀刻完成后24小时必须完成工艺步骤10光阻去除，为了严格 满足运种时间要求，操作员在处理工艺步骤1和工艺步骤7的时候，要了解工艺步骤7的产 能和工艺步骤2到工艺步骤7的在制品状况，W及工艺步骤10的产能和工艺步骤7到工艺 步骤10的在制品状况，在确信工艺步骤7的产能在72小时之内能完成工艺步骤2到工艺 步骤7之间的在制品，W及工艺步骤10的产能在24小时之内能完成工艺步骤7到工艺步 骤10之间的在制品后，操作员在生产制造执行系统中手动派工（Manual Dispatch)工艺步 骤1的虚拟站点，当产品到达工艺步骤7时，手动派工工艺步骤7的虚拟站点，对于运种时 间间隔限制1的结束站点同时又是时间间隔限制2的开始站点的情况，称之为连环时间间 隔限制，其中，上述在制品是指处于制造流程中的产品。
[0003] 表1晶圆制造流程表
[0004] 阳0化]

[0006] 并不是每个操作员都能及时的做出正确判断，导致产品生产周期（cycle time)变 长，同时虚拟站点的手动派工也带来一定程度的误操作风险，通常在整个晶圆制造流程中， 还有很多运样的虚拟站点，总体而言大约12%的站点移动量是虚拟站点移动。W上面的例 子，当工艺步骤10由于某种不可预知原因（突然停机或工程师临时借机等）产能不能保证 在24小时内完成工艺步骤7到工艺步骤10之间的在制品，显然运时工艺步骤7应该停止 向下派货，但是又不能无限制停下来，因为它还处在时间间隔限制UQT1)的区间内，此时， 工艺步骤7需不需要停止派货，工艺步骤2到工艺步骤6需不需要放慢下来，甚至工艺步 骤1要不要停止派货（例如，工艺步骤10会无限期停线时，显然工艺步骤1应当会停止派 货），其中，上述的派货是指将在制品派送到下一个站点进行处理。总体而言，技术越先进的 产品，连环时间间隔限制越多，40/45纳米的晶圆产品生产流程中有40%的站点处于连环 时间间隔限制中，操作人员来判断时往往不能做到及时正确。在现在的300毫米的晶圆厂 中，已经在使用实时派工巧eal Time Dispatch,简称为RTD)，实时派工可W根据事先定义 好的规则给出派货结果，操作人员仅需要依据该系统推荐的产品顺序生产产品即可，通过 合理的设定RTD规则可W实现虚拟站点的自动跳过，调整产品优先级（lot priority),运 样总体的生产产品效率便会大大提高。目前工厂管控虚拟站点W及时间间隔限制区间内的 派货方法存在如下问题：
[0007] 1.当前工厂基于经验根据后续时间间隔限制站点在制品水位的方式来管控之前 的虚拟站点的派工，但运种方法的在处理连环时间间隔限制时，由于生产流程跨度大，需要 耗费大量的手动派货，W及大量的沟通时间，出现异常状况不能及时反应，其中，在制品水 位是指在制品的数量。
[0008] 2.当机台产能由于停机或者借机出现产能变小时，当前工厂基于经验根据在制品 水位来通知前站产品的速度W避免超出时间间隔限制，无法做到及时反应，也往往由于紧 张过度导致机台空置，或者由于过于乐观导致超出时间间隔限制。
[0009] 3.当前实时派工的派货考虑到了产品的剩余时间间隔（Remain Q Time,简称为 RQT)时间的长短来派货，对于剩余时间间隔比较紧急的产品会优先派货，但是运种过于简 单，无法针对产品剩余时间间隔的大小与产品真正到达时间间隔限制结束站点时的时间W 及各站点机台的负载和状态做出判断。
[0010] 针对相关技术中具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题，目前尚未 提出有效的解决方案。

【发明内容】

[0011] 本发明的主要目的在于提供一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及 装置，W解决相关技术中具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。
[0012] 为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种用于具有时间间隔限制 的制造流程处理方法。
[0013] 根据本发明的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法包括：确定预设流程中 第一对象所到达的站点，第一对象是处于预设流程中的对象；判断第一对象所到达的站点 是否为虚拟站点；在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的 站点是否具有时间间隔限制；在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断 时间间隔限制是否为最大时间间隔限制；在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时， 计算第一对象的紧急程度等级，其中，第一对象的紧急程度等级用于确定第一对象的优先 级和确定是否跳过第一对象所到达的站点；W及根据第一对象的紧急程度等级进行流程处 理。
[0014] 进一步地，在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急 程度等级之前，该方法还包括：计算第一对象的路径标记的值，其中，路径标记用于表示第 一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否均存在能够运行的机 台，当路径标记的值为第一值时，第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每 一个站点均存在能够运行的机台，当路径标记的值不为第一值时，第一对象所到达的站点 至时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的机台；W及判断第一对象 的路径标记的值是否为第一值，其中，在判断出第一对象的路径标记的值为第一值时，计算 第一对象的紧急程度等级。
[0015] 进一步地，在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急 程度等级包括：计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到 第一时间；计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的剩余时间间隔，得到 第二时间；获取预设安全系数；W及根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对 象的紧急程度等级。
[0016] 进一步地，计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期， 得到第一时间包括：计算剩余站点的生产时间，其中，剩余站点为第一对象所到达的站点到 时间间隔限制的终止站点之间的所有站点和时间间隔限制的终止站点；计算剩余站点的等 待时间；W及由剩余站点的生产时间和剩余站点的等待时间相加得到第一时间。
[0017] 进一步地，计算剩余站点的生产时间包括：获取剩余站点在历史第一预设天数的 生产时间；W及根据剩余站点在历史第一预设天数的生产时间计算剩余站点生产时间。
[0018] 进一步地，计算剩余站点的等待时间包括：计算剩余站点在历史第二预设天数的 等待时间；计算第一对象的下一次处理时间，其中，第一对象的下一次处理时间基于第一对 象和机台的状态进行计算；W及由剩余站点在历史第二预设天数的等待时间和第一对象的 下一次处理时间计算剩余站点等待时间。
[0019] 进一步地，根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对象的紧急程度等 级包括：计算第一时间和第二时间的比值，得到第一比值；将第一比值与预设安全系数相 乘，得到第二比值；获取预设的多个紧急程度区间，其中，紧急程度区间与第一对象的紧急 程度等级一一对应；W及根据第二比值所处的紧急程度区间确定第一对象的紧急程度等 级。
[0020] 进一步地，根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理包括：判断第一对象的紧 急程度等级是否大于第一预设等级值；W及在判断出第一对象的紧急程度等级大于第一预 设等级值时，跳过第一对象所到达的站点，其中，跳过第一对象所到达的站点是指将第一对 象派送至第一对象所到达的站点的后续的站点中。
[0021] 进一步地，在根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理之后，该方法还包括：判 断第一对象的紧急程度等级是否大于第二预设等级值；如果判断出第一对象的紧急程度等 级大于第二预设等级值，则保持第一对象的优先级不变；W及如果判断出第一对象的紧急 程度等级不大于第二预设等级值，则提高第一对象的优先级。
[0022] 为了实现上述目的，根据本发明的另一方面，提供了一种用于具有时间间隔限制 的制造流程处理装置。
[0023] 根据本发明的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置包括：确定单元，用于 确定预设流程中第一对象所到达的站点，第一对象是处于预设流程中的对象；第一判断单 元，用于判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点；第二判断单元，用于在判断出第一对 象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制；第Ξ 判断单元，用于在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔限制 是否为最大时间间隔限制；第一计算单元，用于在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限 制时，计算第一对象的紧急程度等级，其中，第一对象的紧急程度等级用于确定第一对象的 优先级和确定是否跳过第一对象所到达的站点；W及处理单元，用于根据第一对象的紧急 程度等级进行流程处理。
[0024] 进一步地，该装置还包括：第二计算单元，用于计算第一对象的路径标记的值，其 中，路径标记用于表示第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点是 否均存在能够运行的机台，当路径标记的值为第一值时，第一对象所到达的站点至时间间 隔限制的结束站点中每一个站点均存在能够运行的机台，当路径标记的值不为第一值时， 第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的 机台；W及第四判断单元，用于判断第一对象的路径标记的值是否为第一值，其中，在判断 出第一对象的路径标记的值为第一值时，计算第一对象的紧急程度等级。
[00巧]进一步地，第一计算单元包括：第一计算模块，用于计算第一对象所到达的站点到 时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时间；第二计算模块，用于计算第一对象所 到达的站点到时间间隔限制的终止站点的剩余时间间隔，得到第二时间；获取模块，用于获 取预设安全系数；W及确定模块，用于根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对 象的紧急程度等级。
[00%] 进一步地，处理单元包括：第一判断模块，用于判断第一对象的紧急程度等级是否 大于第一预设等级值；W及跳过模块，用于在判断出第一对象的紧急程度等级大于第一预 设等级值时，跳过第一对象所到达的站点，其中，跳过第一对象所到达的站点是指将第一对 象派送至第一对象所到达的站点的后续的站点中。
[0027] 进一步地，该装置还包括：第五判断单元，用于判断第一对象的紧急程度等级是否 大于第二预设等级值；保持单元，用于在判断出第一对象的紧急程度等级大于第二预设等 级值时，保持第一对象的优先级不变；W及提高单元，用于在判断出第一对象的紧急程度等 级不大于第二预设等级值时，提高第一对象的优先级。
[0028] 通过本发明，采用根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理，即根据第一对象 的紧急程度等级来确定是否向下派货，解决了相关技术中具有时间间隔限制的制造流程中 派货准确性低的问题，进而达到了提高具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性效果。
【附图说明】
[0029] 构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实 施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
[0030] 图1是根据本发明实施例的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法的流程 图；
[0031] 图2是根据本发明第一实施例的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法的 流程图；
[0032] 图3是根据本发明第二实施例的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法的 流程图；W及
[0033] 图4是根据本发明实施例的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置的示意 图。
【具体实施方式】
[0034] 需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可W相 互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
[0035] 为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的 附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是 本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术 人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范 围。
[0036] 需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语"第一"、"第 二"等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解运样使 用的数据在适当情况下可W互换，W便运里描述的本申请的实施例。此外，术语"包括"和 "具有及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元 的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有 清楚地列出的或对于运些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0037] 根据本发明实施例，提供了一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，图1 是根据本发明实施例的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法的流程图。
[0038] 如图1所示，该方法包括如下的步骤S102至步骤S112 :
[0039] 步骤S102 :确定预设流程中第一对象所到达的站点，第一对象是处于预设流程中 的对象。
[0040] 预设流程可W是任意具有时间间隔限制的制造流程，例如，晶圆制造流程，通常， 完整生产一种产品通常包含多个工序，该多个工序共同组成该产品的制造流程。站点是指 预设流程中的工序或是步骤，例如，晶圆制造流程中包括表面清洗、初次氧化、热处理、离子 注入等工序，其中，每个工序都可W称为站点。第一对象是处于预设流程中的对象，例如，处 于制造流程中待处理的产品，简称为在制品，在产品制造流程中，在制品依次经过多个站点 的加工处理才能成为最终的成品。W下本发明实施例W第一对象为在制品为例进行说明。
[0041] 步骤S104 :判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点。
[0042] 虚拟站点为预设流程中的缓冲站点，对预设流程中的对象并没有实际的处理过 程，仅用于管控预设流程中的时间间隔限制。制造执行系统（Manufac化ring Execution System,简称为ME巧可W为企业提供包括制造数据管理、计划排程管理、生产调度管理等 管理模块，在制造执行系统中配置有各个站点的信息，例如，站点的类型、机台的数量等，通 过获取制造执行系统中的站点配置信息可W判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点。
[0043] 步骤S106 :在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达 的站点是否具有时间间隔限制。
[0044] 在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，获取第一对象的相关信息，第一 对象的相关信息包含时间间隔限制的时间长度、时间间隔限制的开始站点、时间间隔限制 的结束站点、时间间隔限制的类型等信息，其中，时间间隔限制的类型包括最大时间间隔限 制和最少时间间隔限制。通过第一对象的相关信息可W判断第一对象所到达的站点是否具 有时间间隔限制，可W通过判断第一对象所到达的站点是否处于时间间隔限制的开始站点 和时间间隔限制的开始站点之间或下一个站点为时间间隔限制的开始站点来判断第一对 象所到达的站点是否具有时间间隔限制，具体地，当判断出第一对象所到达的站点的下一 个站点为时间间隔限制的开始站点或处于时间间隔限制的开始站点和时间间隔限制的开 始站点之间时，说明第一对象所到达的站点具有时间间隔限制，否则为不具有时间间隔限 制的站点。 W45] 步骤S108 :在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔 限制是否为最大时间间隔限制。
[0046] 最大时间间隔限制是指完成某个工序或多个工序的时间必需小于某个时间间隔， 例如，在晶圆制造流程中，第一次光刻必需在72小时时间内完成，第一次蚀刻必需在24小 时时间内完成，否则会影响晶圆的质量。具体地，根据上述第一对象的相关信息可W判断时 间间隔限制是否为最大时间间隔限制。
[0047] 步骤S110 :在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急 程度等级，其中，第一对象的紧急程度等级用于确定第一对象的优先级和确定是否跳过第 一对象所到达的站点。
[0048] 紧急程度等级用于衡量处理第一对象的紧急程度，当处理第一对象的剩余时间间 隔较充裕时，第一对象的紧急程度等级较高，相应的，当处理第一对象的剩余时间间隔较少 时，第一对象的紧急程度等级较低，例如，第一对象的紧急程度等级分为四个等级，紧急程 度等级0至紧急程度等级3,当第一对象的紧急程度等级为3时，说明当前不急于处理第一 对象，当第一对象的紧急程度等级为0时，说明当前需要立即处理第一对象，否则，可能不 能在时间间隔限制区间内完成该工序。具体地，可W根据第一对象的紧急程度等级确定当 前第一对象所到达的站点是否需要继续向下派货，即将第一对象派送到下一个站点进行处 理。此外，还可w根据第一对象的紧急程度等级来确定第一对象的优先级，w第一对象为在 制品为例进行说明，制造执行系统会根据在制品的加工顺序初始化在制品的优先级，即先 加工的在制品的优先级高于后加工的在制品的优先级，制造执行系统进一步根据在制品的 优先级来调度在制品加工过程的等待时间，优先级越局的在制品在加工过程的等待时间越 少。 W例优选地，判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程度 等级包括：计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一 时间；计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的剩余时间间隔，得到第二 时间；获取预设安全系数；W及根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对象的 紧急程度等级。
[0050] 第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点即剩余站点，第一对象所到达 的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期即剩余站点的生产周期（即第一时间），剩 余站点的生产周期是指剩余站点中每个站点完成在制品加工的时间之和，具体地，可 剩余站点过去预设天数内完成在制品处理的平均时间作为剩余站点的生产周期，也可W是 获取过去预设天数内完成在制品处理的时间的中间值作为剩余站点的生产周期。如表2所 示，工艺步骤2至工艺步骤10是一个时间间隔限制区间，假设在制品处于工艺步骤7中，此 时，剩余站点包括工艺步骤8至工艺步骤10,剩余站点的生成周期是指工艺步骤8至工艺步 骤10运四个站点全部完成在制品的加工的时间之和。第一对象所到达的站点到时间间隔 限制的终止站点的剩余时间间隔即剩余站点的剩余时间间隔（即第二时间），如表2中，工 艺步骤2至工艺步骤10是一个时间间隔限制区间，时间间隔限制区间包括两个子时间间隔 限制区间，即时间间隔限制区间1和时间间隔限制区间2,时间间隔限制区间1的长度为72 小时，时间间隔限制区间2的长度为24小时，假设在制品处于工艺步骤5中，时间间隔限制 区间1的剩余时间间隔为12小时，此时，剩余站点的剩余时间间隔为36小时，即时间间隔 限制区间1的剩余时间间隔和时间间隔限制区间2的时间长度之和。预设安全系数是为了 提高在制品加工处理的安全性而设置的一个参数，通常，操作人员可W根据经验来合理设 置该预设安全系数的值。
[0051] 表2晶圆制造流程表
[0052]
[0053] 可选地，根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对象的紧急程度等级 包括：计算第一时间和第二时间的比值，得到第一比值；将第一比值与预设安全系数相乘， 得到第二比值；获取预设的多个紧急程度区间，其中，紧急程度区间与第一对象的紧急程度 等级一一对应；W及根据第二比值所处的紧急程度区间确定第一对象的紧急程度等级。
[0054] 紧急程度区间用于对紧急程度等级进行划分，例如，将紧急程度等级分为4个等 级，第二比值处于区间0和1之间，此时可W将区间[oa]划分为4个子区间，例如，[0， 0.3]、[0.3,0. 6]、[0.6,0.引和[0.8,1]，其中，[0,0.3]对应于紧急程度等级 0,化 3,0.6] 对应于紧急程度等级1，[0.6,0.引对应于紧急程度等级2, [0.8,1]对应于紧急程度等级 3,第二比值处于哪个区间中则对应于该区间对应的紧急程度等级。 阳化5] 优选地，计算第一对象所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的生产周期，得 到第一时间包括：计算剩余站点的生产时间，其中，剩余站点为第一对象所到达的站点到时 间间隔限制的终止站点之间的所有站点和时间间隔限制的终止站点；计算剩余站点的等待 时间；W及由剩余站点的生产时间和剩余站点的等待时间相加得到第一时间。
[0056] 当在制品到达某个站点时，可能该站点不会立即对该在制品进行处理，而需要经 过一定时间的等待后才对该在制品进行处理，因此，每个站点的生产周期应包括该在制品 在该站点的等待时间和该站点实际处理该在制品的时间。剩余站点的生产时间即剩余站点 中每个站点实际处理在制品所花费的时间之和，剩余站点的等待时间即在制品在剩余站点 中每个站点中等待的时间之和，因此，剩余站点的生产周期（即第一时间）为剩余站点的生 产时间和剩余站点的等待时间之和，具体地，也可W通过分别计算剩余站点中每个站点的 生产周期，将剩余站点中全部站点的生产周期相加得到剩余站点的生成周期。
[0057] 优选地，计算剩余站点的生产时间包括：获取剩余站点在历史第一预设天数的生 产时间；W及根据剩余站点在历史第一预设天数的生产时间计算剩余站点生产时间。
[005引由于剩余站点中每个站点的生产时间是一个比较收敛的值，即变化较少，因此，可 W直接根据剩余站点的历史生产时间来确定，例如，取剩余站点在过去90天的生产时间的 中值作为剩余站点的生产时间，也可W是取剩余站点在过去90天的生产时间的平均值作 为剩余站点的生产时间。剩余站点在历史第一预设天数的生产时间是指剩余站点在过去的 第一预设天数的生产时间，第一预设天数用户可W根据时间情况进行设置，例如，可W是过 去30天，也可W是过去60。通过统计剩余站点在过去第一预设天数的生产时间确定剩余站 点的生产时间，得到的结果更为准确可靠，而且计算较为简单。具体地，如果找不到剩余站 点在过去第一预设天数的生产时间，可用剩余站点群组在过去第一预设天数的生产时间代 替。
[0059] 优选地，计算剩余站点的等待时间包括：计算剩余站点在历史第二预设天数的等 待时间；计算第一对象的下一次处理时间，其中，第一对象的下一次处理时间基于第一对象 和机台的状态进行计算；W及由剩余站点在历史第二预设天数的等待时间和第一对象的下 一次处理时间计算剩余站点等待时间。 W60] 剩余站点的等待时间不如剩余站点的生产时间稳定，如果仅依赖剩余站点在过去 的生产等待时间来计算剩余站点的等待时间，得到的结果的准确性较低。因此，本发明实 施例综合考虑剩余站点在过去的生产等待时间和基于在制品、机台的状态预测得到的下一 次处理时间来确定剩余站点的等待时间W提高得到的剩余站点的生产时间的准确性。具体 地，剩余站点在历史第二预设天数的等待时间可W是剩余站点在过去90天的等待时间，也 可W是剩余站点在过去60天的等待时间。在得到剩余站点在历史第二预设天数的等待时 间之后，可W对第二预设天数的等待时间设置权重，对于越接近当前时间的权重越大，W获 取剩余站点在过去90天的等待时间为例进行说明，可W将剩余站点在过去30天的等待时 间的中值、剩余站点在过去30天到60天的等待时间的中值和剩余站点在过去60天到90 天的等待时间的中值分别乘W不同的权重再相加，例如，剩余站点在过去30天的等待时间 的中值乘W 0. 5,剩余站点在过去30天到60天的等待时间的中值乘W 0. 3,剩余站点在过 去60天到90天的等待时间的中值乘W 0. 2。第一对象的下一次处理时间的计算W表3和 表4为例进行说明，在表3中，标识V用于表示机台可W处理在制品，例如，在制品A可W由 机台1和机台2处理，在制品B可W有机台1、机台2和机台3处理，在制品C可W由机台2 和机台3处理，在制品D可W由机台1和机台3处理，在表4中，RTa、RTe、RTc和RT D分别表 不在制品A、在制品B、在制品C和在制品D的生广时间，T1、T2和T3分别表不机台1、机台 2和机台3的下一次处理时间，则在制品的下一次处理时间为能够处理该在制品的机台的 下一次处理时间中的最小值，例如，在制品A的下一次处理时间为机台1的下一次处理时间 和机台2的下一次处理时间中的较小值。在得到剩余站点在历史第二预设天数的等待时间 和第一对象的下一次处理时间后，取两者中数值较大的值作为剩余站点等待时间。如果剩 余站点在历史第二预设天数的等待时间用剩余站点群组在历史第二预设天数的等待时间 代替，计算剩余站点基于历史数据的生产等待时间的意义在于找到一个剩余站点群组等待 时间的参照物，由于没有引入仿真工具，必须找到一种预测等待时间的方法。
[0061] 表3在制品和机台状态表
[0062]
[0063] 表4在制品下一次处理时间计算表
[0064]
阳0化]步骤S112 :根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。
[0066] 具体的，在得到第一对象的紧急程度等级之后，可W根据第一对象的紧急程度等 级确定是否需要派货，即将第一对象派送至预设流程的下一个站点进行处理。可选地，根据 第一对象的紧急程度等级进行流程处理包括：判断第一对象的紧急程度等级是否大于第一 预设等级值；W及在判断出第一对象的紧急程度等级大于第一预设等级值时，跳过第一对 象所到达的站点，其中，跳过第一对象所到达的站点是指将第一对象派送至第一对象所到 达的站点的后续的站点中。
[0067] 第一预设等级值的设置与第一对象的紧急程度等级相关，例如，当第一对象的紧 急程度等级设置为4个等级，即紧急程度等级0、紧急程度等级1、紧急程度等级2和紧急程 度等级3,其中，紧急程度等级值越大说明紧急程度越低，此时，用户可W根据实际需求设置 第一预设等级值，例如，设置第一预设等级值为紧急程度等级2,即只要第一对象的紧急程 度等级大于紧急程度等级2时，跳过第一对象所到达的站点，即将第一对象派送至第一对 象所到达的站点后续的站点中进行处理，也可W设置第一预设等级值为紧急程度等级3。
[0068] 本发明实施例根据第一对象的紧急程度等级来确定是否需要向下一个站点派货， 其中，第一对象的紧急程度等级的确定综合考虑了剩余站点的剩余时间间隔和剩余站点的 生产周期，相比于现有技术中仅考虑剩余站点的剩余时间间隔来确定是否向下派货，提高 了向下派货的准确性，解决了具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。
[0069] 优选地，在根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理之后，该方法还包括：判断 第一对象的紧急程度等级是否大于第二预设等级值；如果判断出第一对象的紧急程度等级 大于第二预设等级值，则保持第一对象的优先级不变；W及如果判断出第一对象的紧急程 度等级不大于第二预设等级值，则提高第一对象的优先级。
[0070] 同上，第二预设等级值的设置与第一对象的紧急程度等级也相关，例如，设置第二 预设等级值为紧急程度等级2,即当第一对象的紧急程度等级大于紧急程度等级2时，则保 持第一对象的优先级不变，当第一对象的紧急程度等级不大于紧急程度等级2时，则提高 第一对象的优先级，例如，如果第一对象之前的优先级为优先级2,则将第一对象的优先级 提高为优先级1，第一对象优先权的提高使得第一对象在处理站点的等待时间相应减少。
[0071] 优选地，在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一对象的紧急程 度等级之前，该方法还包括：计算第一对象的路径标记的值，其中，路径标记用于表示第一 对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否均存在能够运行的机台， 当路径标记的值为第一值时，第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个 站点均存在能够运行的机台，当路径标记的值不为第一值时，第一对象所到达的站点至时 间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的机台；W及判断第一对象的路 径标记的值是否为第一值，其中，在判断出第一对象的路径标记的值为第一值时，计算第一 对象的紧急程度等级。
[0072] 通过分别判断第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点 是否具有可W运行的机台，如果某个站点具有能够处理第一对象的机台时，则路径标记为 1，否则，路径标记为0,如果判断出第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中全 部站点的标识均为1，此时第一对象的路径标记的值为第一值，该第一值也可W设为1，如 果判断出第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中存在站点的标识均不为1， 此时第一对象的路径标记的值不为第一值，例如，可W是与第一值不同的任意标识。具体 地，可W通过获取实时派工巧eal Time Dispatch,简称为RTD)的基础数据之一设备和处理 关系巧quipment and process relationship,简称为EPR)来判断处理站点是否具有能够 处理第一对象的机台。在判断出第一对象的路径标记的值为第一值时，即第一对象所到达 的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点均有能够处理第一对象的机台，此时才继 续计算第一对象的紧急程度等级。判断第一对象的路径标记的值的意义在于保证每个时间 间隔限制区间里的每一个在制品到时间间隔限制区间的终止站点前都至少有一个机台可 W运行，运显然是保证在制品不会超过时间间隔限制的前提。如果在制品在时间间隔限制 区间里的虚拟站点的路径标记不为第一值，除非当前在制品的紧急程度等级最高，即当前 需要立即处理该在制品，否者该在制品不能派送至下一个站点进行处理。具体地，在判断出 路径标记的值不为第一值时，继续判断第一对象所到达的站点是否为时间间隔限制区间之 间的虚拟站点，如果是，则继续判断第一对象的紧急程度等级是否为最高等级，如果是则将 第一对象的优先级提升为最高优先级，否则停止向下一个站点派货。
[0073] W下W实例对本发明实施例的应用进行详细说明，如图2所示，该方法包括如下 步骤S202至步骤S220 :
[0074] 步骤S202 :在制品到达站点，即待处理的产品到达产品制造流程的某个处理步 骤。
[0075] 步骤S204 :判断是否为虚拟站点。根据制造执行系统的站点配置信息可W判断该 站点是否为虚拟站点，如果判断出该站点为虚拟站点，执行步骤S208,否则执行步骤S206。
[0076] 步骤S206 :结束，即不向下一个站点派货，在制品停留在当前站点中。 阳077] 步骤S208 :获取在制品基础信息。在制品基础信息包含时间间隔限制的时间长 度、时间间隔限制的开始站点、时间间隔限制的结束站点、时间间隔限制的类型等信息。
[0078] 步骤S210 :判断是否为时间间隔区间限制的虚拟站点。根据该在制品的基础信息 判断该站点是否为时间间隔区间限制的虚拟站点，如果判断出该站点为时间间隔区间限制 的虚拟站点，执行步骤S212,否则执行步骤S206。
[0079] 步骤S212 :判断是否为最大时间间隔区间限制。时间间隔区间限制包括最大时间 间隔限制和最少时间间隔限制，本发明实施例仅用于最大时间间隔区间限制的派货。具体 地，根据上述在制品基础信息可W判断是否为最大时间间隔区间限制，在判断出为最大时 间间隔区间限制时，执行步骤S214,否则执行步骤S206。
[0080] 步骤S214 :获取路径标记。路径标记用于表示在制品所到达的站点至时间间隔限 制的结束站点中每一个站点是否均存在能够运行的机台，当在制品所到达的站点至时间间 隔限制的结束站点中每一个站点均存在能够运行的机台时，路径标记为1，否则路径标记为 0。
[0081] 步骤S216 :判断路径标记是否为1，在判断出路径标记为1时，执行步骤S218,否 则执行步骤S206。
[0082] 步骤S218 :判断紧急程度等级是否大于预设值。紧急程度等级用于衡量处理在制 品的紧急程度，可W结合剩余站点的剩余时间间隔和剩余站点的生成周期W及预设的安全 系数共同确定紧急程度等级。预设值可W根据实际情况进行设置，例如，当紧急程度等级设 置为4个等级，即紧急程度等级0、紧急程度等级1、紧急程度等级2和紧急程度等级3,其 中，紧急程度等级值越大说明紧急程度越低，此时可W设置预设值为紧急程度等级2,当紧 急程度等级大于紧急程度等级2时，执行步骤S220,否则执行步骤S206。
[0083] 步骤S220 :跳过虚拟站点，即跳过在制品当前所到达的站点，将在制品派送至下 一个站点，实现向下一个站点派货。
[0084] 图3详细说明了本发明实施例如何自动改变在制品优先级，如图3所示，该方法包 括步骤S302至步骤S328。 阳0财步骤S302 :处于时间间隔限制区间的在制品，即该在制品位于时间间隔区间的站 点中。
[0086] 步骤S304 :判断路径标记是否为1。当判断出路径标记为1时，执行步骤S306,否 贝1J，执行步骤S320。
[0087] 步骤S306 :判断紧急程度等级是否大于为3。具体地，可W预先将紧急程度等级划 分为紧急程度等级0至紧急程度等级4,其中，紧急程度等级值越大说明紧急程度越低。当 紧急程度等级大于3时，执行步骤S308,否则执行步骤S310。
[008引步骤S308 :保持在制品优先级，即在制品的优先级不变。优先级的值越小，优先级 越高，则在制品在处理站点的等待时间越短，例如，优先级0高于优先级1。
[0089] 步骤S310 :判断紧急程度等级是否大于为2。具体地，当紧急程度等级大于2时， 执行步骤S312,否则执行步骤S314。
[0090] 步骤S312 :提升在制品优先级至优先级2,即将在制品优先级提升为优先级2。
[0091] 步骤S314 :判断紧急程度等级是否大于为1。具体地，当紧急程度等级大于1时， 执行步骤S316,否则，执行步骤S318。
[0092] 步骤S316 :提升在制品优先级至优先级1，即将在制品的优先级提升为优先级1。
[0093] 步骤S318 :提升在制品优先级至优先级0,即将在制品的优先级提升为优先级0。
[0094] 步骤S320 :判断是否为虚拟站点，判断方法同上述步骤S210。当判断出为虚拟站 点时，执行步骤S322,否则执行步骤S328。
[0095] 步骤S322 :判断是否为时间间隔限制区间之间虚拟站点。虚拟站点分为时间间隔 限制区间之间的虚拟站点和时间间隔限制区间之前的虚拟站点，在判断出为时间间隔限制 区间之间的虚拟站点时，执行步骤S324,否则，执行步骤S328。
[0096] 步骤S324 :判断紧急程度等级是否为0。紧急程度等级0为紧急程度最高的急程 度等级，当在制品的紧急程度等级为0时，说明需要立即处理该在制品，否则可能超过时间 间隔限制，执行步骤S326,否则执行步骤S328。
[0097] 步骤S326 :提升在制品优先级至优先级0,其中，优先级0为最高优先级。
[009引步骤S328 :停止派货，即在制品不再被派送至下一个站点，停留在当前站点中。
[0099] 本发明实施例建立基于路径标记和紧急程度等级算法为基础的派货方法，自动改 变在制品优先级，决定在制品是否向下走，自动跳过虚拟站点从而减少手动动作，避免超过 时间间隔限制避免机台由于时间间隔限制原因导致的机台控制，提高生产效率。
[0100] 本发明实施例基于现有工厂已经建立了基于操作人员根据经验设定后续时间间 隔限制站点在制品的水位的方式来管控之前的虚拟站点W及使用实时派工的设备和处理 关系来判断在制品未来站点是否有机台可W运行和得到需要处理的在制品列表等。需要进 行W下Ξ个方面的设置： 阳101] (1)安全系数和时间间隔限制区间站点群设置模块：技术人员首先在系统中设定 并维护时间间隔限制站点相关信息，包括时间间隔限制区间，产品批号，安全系数等。 阳102] 似虚拟站点与时间间隔限制区间站点匹配模块：系统根据上述时间间隔限制区 间站点配置，自动从工厂的流程数据库中找出与其匹配的（也即流程当中之前连接着的） 各项已设定的虚拟站点信息。
[0103] (3)路径标记和紧急程度等级算法模块：定义路径标记，该参数表示在制品未来 所要到达的时间间隔限制区间站点，是否每个站点都有机台可运行，定义紧急程度等级，该 参数表示在制品到达时间间隔限制终止站点的紧急程度，定义了得到上述项的中间参数， 能同时考虑历史值与实时的在制品机台的准许状况来判断在制品的紧急程度，其中，机台 的准许状况即该机台是否可进行在制品处理。
[0104] 通过本发明实施例，技术人员可实时维护安全系数和时间间隔限制区间站点群配 置，保证当前生效的站点群的范围可控。系统可根据在制品水位，各站点之间的机台和在制 品处理流程的约束关系，合理判断在制品是否往下走，在制品优先级是否需要改变，虚拟站 点是否可W跳过。线上操作员只需点击实时派工查询来获取机台的处理在制品的信息，同 时不需要人为操作来跳过虚拟站点，工程师可W根据在制品及时了解线上产能出问题的地 方，运Ξ者相结合可极大的降低了生产复杂性，提高生产效率同时更有效管控时间间隔限 制风险。
[0105] 从W上的描述中，可W看出，本发明实现了如下技术效果：
[0106] 本发明实施例通过确定预设流程中第一对象所到达的站点，判断第一对象所到 达的站点是否为虚拟站点，在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象 所到达的站点是否具有时间间隔限制，在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制 时，判断时间间隔限制是否为最大时间间隔限制，在判断出时间间隔限制为最大时间间隔 限制时，计算第一对象的紧急程度等级，W及根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。 本发明实施例根据第一对象的紧急程度等级确定是否需要向下派货、是否跳过虚拟站点W 及是否需要更改第一对象的优先级，其中，第一对象的紧急程度等级的确定综合考虑了剩 余站点的剩余时间间隔和剩余站点的生产周期，不需要人为操作来跳过虚拟站点，避免超 过时间间隔限制避免机台由于时间间隔限制原因导致的机台控制，提高生产效率，解决了 现有技术中具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低的问题。 阳107] 需要说明的是，在附图的流程图示出的步骤可W在诸如一组计算机可执行指令的 计算机系统中执行，并且，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可不 同于此处的顺序执行所示出或描述的步骤。
[0108] 根据本发明实施例的另一方面，提供了一种用于具有时间间隔限制的制造流程处 理装置，该用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置可W用于执行本发明实施例的用于 具有时间间隔限制的制造流程处理方法，本发明实施例的用于具有时间间隔限制的制造流 程处理方法也可W通过本发明实施例的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置来执 行。 阳109] 如图4所示，该用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置包括：确定单元10,第 一判断单元20,第二判断单元30,第Ξ判断单元40,第一计算单元50和处理单元60。
[0110] 确定单元10,用于确定预设流程中第一对象所到达的站点，第一对象是处于预设 流程中的对象。 阳111] 第一判断单元20,用于判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点。
[0112] 第二判断单元30,用于在判断出第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一 对象所到达的站点是否具有时间间隔限制。
[0113] 第Ξ判断单元40,用于在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判 断时间间隔限制是否为最大时间间隔限制。
[0114] 第一计算单元50,用于在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算第一 对象的紧急程度等级，其中，第一对象的紧急程度等级用于确定第一对象的优先级和确定 是否跳过第一对象所到达的站点。
[0115] 可选地，第一计算单元50包括：第一计算模块，用于计算第一对象所到达的站点 到时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时间；第二计算模块，用于计算第一对象 所到达的站点到时间间隔限制的终止站点的剩余时间，得到第二时间；获取模块，用于获取 预设安全系数；W及确定模块，用于根据第一时间、第二时间和预设安全系数确定第一对象 的紧急程度等级。
[0116] 处理单元60,用于根据第一对象的紧急程度等级进行流程处理。
[0117] 可选地，处理单元60包括：第一判断模块，用于判断第一对象的紧急程度等级是 否大于第一预设等级值；W及跳过模块，用于在判断出第一对象的紧急程度等级大于第一 预设等级值时，跳过第一对象所到达的站点，其中，跳过第一对象所到达的站点是指将第一 对象派送至第一对象所到达的站点的后续的站点中。
[0118] 本发明实施例通过确定单元10确定预设流程中第一对象所到达的站点，第一判 断单元20判断第一对象所到达的站点是否为虚拟站点，第二判断单元30在判断出第一对 象所到达的站点为虚拟站点时，判断第一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制，第Ξ 判断单元40在判断出第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断时间间隔限制是 否为最大时间间隔限制，第一计算单元50在判断出时间间隔限制为最大时间间隔限制时， 计算第一对象的紧急程度等级，W及处理单元60根据第一对象的紧急程度等级进行流程 处理。本发明实施例第一计算单元50综合考虑了剩余站点的剩余时间间隔和剩余站点的 生产周期来计算紧急程度等级，并根据第一对象的紧急程度等级来确定是否向下派货，提 高了向下派货的准确性，解决了现有技术中具有时间间隔限制的制造流程中派货准确性低 的问题。
[0119] 优选地，该装置还包括：第二计算单元，用于计算第一对象的路径标记的值，其中， 路径标记用于表示第一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否 均存在能够运行的机台，当路径标记的值为第一值时，第一对象所到达的站点至时间间隔 限制的结束站点中每一个站点均存在能够运行的机台，当路径标记的值不为第一值时，第 一对象所到达的站点至时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的机 台；W及第四判断单元，用于判断第一对象的路径标记的值是否为第一值，其中，在判断出 第一对象的路径标记的值为第一值时，计算第一对象的紧急程度等级。
[0120] 优选地，该装置还包括：第五判断单元，用于判断第一对象的紧急程度等级是否大 于第二预设等级值；保持单元，用于在判断出第一对象的紧急程度等级大于第二预设等级 值时，保持第一对象的优先级不变；W及提高单元，用于在判断出第一对象的紧急程度等级 不大于第二预设等级值时，提高第一对象的优先级。 阳121] 显然，本领域的技术人员应该明白，上述的本发明的各模块或各步骤可W用通用 的计算装置来实现，它们可W集中在单个的计算装置上，或者分布在多个计算装置所组成 的网络上，可选地，它们可W用计算装置可执行的程序代码来实现，从而，可W将它们存储 在存储装置中由计算装置来执行，或者将它们分别制作成各个集成电路模块，或者将它们 中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。运样，本发明不限制于任何特定的 硬件和软件结合。
[0122] W上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技 术人员来说，本发明可W有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修 改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1. 一种用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于，包括： 确定预设流程中第一对象所到达的站点，所述第一对象是处于所述预设流程中的对 象； 判断所述第一对象所到达的站点是否为虚拟站点； 在判断出所述第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断所述第一对象所到达的站点 是否具有时间间隔限制； 在判断出所述第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断所述时间间隔限制是 否为最大时间间隔限制； 在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等 级，其中，所述第一对象的紧急程度等级用于确定所述第一对象的优先级和确定是否跳过 所述第一对象所到达的站点；以及 根据所述第一对象的紧急程度等级进行流程处理。2. 根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等级之 前，所述方法还包括： 计算所述第一对象的路径标记的值，其中，所述路径标记用于表示所述第一对象所到 达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否均存在能够运行的机台，当所 述路径标记的值为第一值时，所述第一对象所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点 中每一个站点均存在能够运行的机台，当所述路径标记的值不为第一值时，所述第一对象 所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存在能够运行的机台； 以及 判断所述第一对象的路径标记的值是否为第一值， 其中，在判断出所述第一对象的路径标记的值为第一值时，计算所述第一对象的紧急 程度等级。3. 根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第一对象的紧急程度等级包 括： 计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第 一时间； 计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点的剩余时间间隔，得 到第二时间； 获取预设安全系数；以及 根据所述第一时间、所述第二时间和所述预设安全系数确定所述第一对象的紧急程度 等级。4. 根据权利要求3所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点的生产周期，得到第一时 间包括： 计算剩余站点的生产时间，其中，所述剩余站点为所述第一对象所到达的站点到所述 时间间隔限制的终止站点之间的所有站点和所述时间间隔限制的终止站点； 计算所述剩余站点的等待时间；以及 由所述剩余站点的生产时间和所述剩余站点的等待时间相加得到所述第一时间。5. 根据权利要求4所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 计算剩余站点的生产时间包括： 获取所述剩余站点在历史第一预设天数的生产时间；以及 根据所述剩余站点在历史第一预设天数的生产时间计算所述剩余站点生产时间。6. 根据权利要求4所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 计算所述剩余站点的等待时间包括： 计算所述剩余站点在历史第二预设天数的等待时间； 计算所述第一对象的下一次处理时间，其中，所述第一对象的下一次处理时间基于所 述第一对象和机台的状态进行计算；以及 由所述剩余站点在历史第二预设天数的等待时间和所述第一对象的下一次处理时间 计算所述剩余站点等待时间。7. 根据权利要求3所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 根据所述第一时间、所述第二时间和所述预设安全系数确定所述第一对象的紧急程度等级 包括： 计算所述第一时间和所述第二时间的比值，得到第一比值； 将所述第一比值与所述预设安全系数相乘，得到第二比值； 获取预设的多个紧急程度区间，其中，所述紧急程度区间与所述第一对象的紧急程度 等级一一对应；以及 根据所述第二比值所处的紧急程度区间确定所述第一对象的紧急程度等级。8. 根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 根据所述第一对象的紧急程度等级进行流程处理包括： 判断所述第一对象的紧急程度等级是否大于第一预设等级值；以及 在判断出所述第一对象的紧急程度等级大于所述第一预设等级值时，跳过所述第一对 象所到达的站点，其中，跳过所述第一对象所到达的站点是指将所述第一对象派送至所述 第一对象所到达的站点的后续的站点中。9. 根据权利要求1所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法，其特征在于， 在根据所述第一对象的紧急程度等级进行流程处理之后，所述方法还包括： 判断所述第一对象的紧急程度等级是否大于第二预设等级值； 如果判断出所述第一对象的紧急程度等级大于所述第二预设等级值，则保持所述第一 对象的优先级不变；以及 如果判断出所述第一对象的紧急程度等级不大于所述第二预设等级值，则提高所述第 一对象的优先级。10. -种用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置，其特征在于，包括： 确定单元，用于确定预设流程中第一对象所到达的站点，所述第一对象是处于所述预 设流程中的对象； 第一判断单元，用于判断所述第一对象所到达的站点是否为虚拟站点； 第二判断单元，用于在判断出所述第一对象所到达的站点为虚拟站点时，判断所述第 一对象所到达的站点是否具有时间间隔限制； 第三判断单元，用于在判断出所述第一对象所到达的站点具有时间间隔限制时，判断 所述时间间隔限制是否为最大时间间隔限制； 第一计算单元，用于在判断出所述时间间隔限制为最大时间间隔限制时，计算所述第 一对象的紧急程度等级，其中，所述第一对象的紧急程度等级用于确定所述第一对象的优 先级和确定是否跳过所述第一对象所到达的站点；以及 处理单元，用于根据所述第一对象的紧急程度等级进行流程处理。11. 根据权利要求10所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置，其特征在 于，所述装置还包括： 第二计算单元，用于计算所述第一对象的路径标记的值，其中，所述路径标记用于表示 所述第一对象所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中每一个站点是否均存在能 够运行的机台，当所述路径标记的值为第一值时，所述第一对象所到达的站点至所述时间 间隔限制的结束站点中每一个站点均存在能够运行的机台，当所述路径标记的值不为第一 值时，所述第一对象所到达的站点至所述时间间隔限制的结束站点中至少有一个站点不存 在能够运行的机台；以及 第四判断单元，用于判断所述第一对象的路径标记的值是否为第一值， 其中，在判断出所述第一对象的路径标记的值为第一值时，计算所述第一对象的紧急 程度等级。12. 根据权利要求10所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置，其特征在 于，所述第一计算单元包括： 第一计算模块，用于计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点 的生产周期，得到第一时间； 第二计算模块，用于计算所述第一对象所到达的站点到所述时间间隔限制的终止站点 的剩余时间间隔，得到第二时间； 获取模块，用于获取预设安全系数；以及 确定模块，用于根据所述第一时间、所述第二时间和所述预设安全系数确定所述第一 对象的紧急程度等级。13. 根据权利要求10所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置，其特征在 于，所述处理单元包括： 第一判断模块，用于判断所述第一对象的紧急程度等级是否大于第一预设等级值；以 及 跳过模块，用于在判断出所述第一对象的紧急程度等级大于所述第一预设等级值时， 跳过所述第一对象所到达的站点，其中，跳过所述第一对象所到达的站点是指将所述第一 对象派送至所述第一对象所到达的站点的后续的站点中。14. 根据权利要求10所述的用于具有时间间隔限制的制造流程处理装置，其特征在 于，所述装置还包括： 第五判断单元，用于判断所述第一对象的紧急程度等级是否大于第二预设等级值； 保持单元，用于在判断出所述第一对象的紧急程度等级大于所述第二预设等级值时， 保持所述第一对象的优先级不变；以及 提高单元，用于在判断出所述第一对象的紧急程度等级不大于所述第二预设等级值 时，提高所述第一对象的优先级。
【文档编号】G05B19/418GK105988443SQ201510090163
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2015年2月27日
【发明人】谭小兵, 王晓东
【申请人】中芯国际集成电路制造(上海)有限公司