专利名称：触摸屏的制作方法
技术领域：
本发明涉及触摸屏。
背景技术：
在便携式电话、智能手机、PDA(个人数字助理)等电子设备中，要求画面尽量大型化，而能够配置开关、键盘等输入装置的区域不断减少。另外，希望实现以下信息输入方法 即，一边参照显示于液晶显示屏等显示元件的图像来一边触摸显示图像，从而能够容易理解并输入信息。由此，近来对带有触摸屏的显示装置的要求不断提高。触摸屏配置在上述液晶显示器等显示元件上，是在操作者利用手指或笔等接触操作面的情况下、检测该接触位置的输入装置的总称。作为检测接触位置的方式，有电阻膜方式或电容方式等。电阻膜方式是将在表面设置有透明基板的两块基板以彼此的透明电极相互相对的方式隔开进行配置的。即，需要两块基板，难以薄型化。然后，在现有的电阻膜方式的触摸屏中，由于采用按压基板使相对的电极间短路的结构，因此，因产生磨损等而缺乏耐久性。电容方式由于只使用一块基板，因此，能够实现薄型化，是特别适合便携式电子设备的方式。然后，该方式中近年来使用较多的是投影型电容方式。投影型电容方式中，人作为导体，利用操作者的手指起到作为接地的作用。S卩，若手指接近配置于触摸屏的基板上的检测用的电极，则在手指和电极之间形成电容，利用控制电路等检测上述变化。此时，由于根据电容变化，能够感知操作者的手指接近，因此，无需直接用手指接触检测用的电极。在上述投影型电容方式中，为了进行检测，需要检测用的透明电极图案。近来，大多使用以下技术即，在透明基板的一面设置沿X方向延伸的X电极，和沿Y方向延伸的Y 电极，将其配置为栅格状。在专利文献1中揭示了以下电容方式的触摸屏技术即，在玻璃等透明基板上，隔着绝缘膜相互绝缘配置多个X侧透明导电线路(X电极)和多个Y侧透明导电线路(Y电极)。在投影型电容方式中，如专利文献1所示的那样，在构成触摸屏的玻璃基板上，需要使一个电极与一个电极相互交叉进行配置。对于这种情况下的电极间的连接结构，例如，在专利文献2中示出了以下结构 即，作为电容型输入装置的结构例，在透光性基板的一个面上形成有第一透光性电极图案和第二透光性电极图案，在交叉部分断开的第二透光性电极图案由形成于层间绝缘膜的上层的中继电极进行电连接。现有技术文献专利文献专利文献1 日本国专利特开昭60-75927号公报
专利文献2 日本国专利特开2008-310550号公报
发明内容
例如，在专利文献2中记载如下即，层间绝缘膜是由感光性树脂形成的，另外，作为透光性电极图案及中继电极使用ITOandium Thin Oxide 铟锡氧化物)。然而，本发明的发明者在使用树脂作为层间绝缘层的情况下，发现产生以下问题即，因该材料的性质会导致其与用作为透光性电极图案及中继电极的ITO等之间的粘接性不良。S卩，在上述连接结构中，由于树脂制的层间绝缘膜对于ITO的附着力较弱，因此， 层间绝缘膜可能会从ITO电极剥落而浮起。在这种情况下，还存在以下问题即，设置于层间绝缘膜的上层的中继电极也会产生浮起，电极间失去连接。关于上述中继电极浮起的问题，在操作者的手指接触操作面的情况下，会因该按压而加剧了该问题。在投影型电容方式中，虽然即使人的手指不接触操作面也能感知到，但是问题在于手指常接触操作面。另外，在操作者接触触摸屏时，也可能会对接触屏施加静电。在该情况下，在接触屏的电极中会流过大电流。因而，需要接触屏具有能够耐受因施加静电而引起的大电流的、 可靠性高的电极结构。本发明是基于上述接触屏中使用ITO电极的问题、及能够应对因静电而引起的大电流的电极结构的要求而完成的。S卩，本发明的目的在于提供一种能够避免ITO电极所具有的问题、对于施加静电的耐受性的问题的可靠性高的触摸屏。本发明的其他目的及优点可从以下记载中明白。本发明的电容方式的触摸屏包括透光性的基板；多个第一电极，该多个第一电极在该基板的一个面上沿第一方向延伸，具有透光性；以及多个第二电极，该多个第二电极在基板的具有第一电极的面上、沿与第一方向相交叉的第二方向延伸，具有透光性，在第一电极和第二电极的交叉部分，第一电极及第二电极中的一个电极相连接， 而另一个电极断开，该断开的另一个电极通过桥接电极相互连接，在交叉部分，在桥接电极和一个电极之间形成有层间绝缘膜，其特征在于，桥接电极采用金属材料，包括连接部，该连接部分别配置于在交叉部分断开的另一个电极的各部位；以及桥接部，该桥接部将该连接部之间进行连接。对于与电流从另一个电极流向桥接部的电流方向相垂直的方向上的长度，连接部的长度要比桥接部的长。在本发明中，优选连接部具有以下形状即，其长轴的方向垂直于从另一个电极流向桥接部的电流方向。另外，在本发明中，优选连接部具有以下形状即，其在垂直于从另一个电极流向桥接部的电流方向的方向上的长度为40 μ m以上。在本发明中，桥接电极包括两个连接部，上述两个连接部分别配置于在交叉部分断开的另一个电极的各部位上；以及桥接部，该桥接部将上述两个连接部之间进行连接。优选两个连接部分别具有长方形形状，该长方形形状的长轴的方向垂直于从另一个电极流向桥接部的电流方向，且对于位于与相互相对一侧的侧面相反的一侧的侧面的角部分进行圆角加工。此处，优选将角R(半径)设为9μπι以上。在本发明中，在交叉部分的一个电极上的层间绝缘膜和另一个电极之间形成有间隙，形成于层间绝缘膜上的桥接电极隔着该间隙能够与基板相粘接。根据本发明，提供一种能够避免ITO电极所具有的问题、对于施加静电的耐受性的问题的可靠性高的触摸屏。
图1是说明本实施方式的触摸屏的简要结构的俯视图。图2是说明本实施方式的触摸屏的简要结构的剖视图。图3是说明本实施方式的触摸屏的交叉部的结构的图。图4是对桥接电极的连接部的优选的前端形状进行放大表示的示意图。图5是表示桥接电极的连接部的其他例子的示意图。图6是表示形成有第一电极和第二电极的状态下的透明基板的俯视图。图7是表示在交叉部形成有层间绝缘膜的状态下的透明基板的俯视图。图8是示意性表示使用本实施方式的触摸屏的带触摸屏功能的显示装置的结构的剖视图。图9是说明具有金属制的桥接电极的触摸屏的简要结构的俯视图。图10是对图9所示的触摸屏的桥接电极部分进行放大说明的图。附图标记1、200 触摸屏2、102、103、202 透明基板3、203层间绝缘膜4第一电极5第二电极6、206桥接电极8、208 交叉部9、9a、9b 电极焊盘11、13 连接部12桥接部14、15侧面部分16尖端角部分17引出布线100带触摸屏功能的显示装置101显示面板104 液晶105、106 偏光板107密封材108透明电极
5
109 驱动 IC204 Y 电极205 X 电极
具体实施例方式如上所述，在投影型电容方式的触摸屏中，为了进行检测而对检测用的透明电极进行图案形成，在一块玻璃等透明基板上设置配置成格子状的多个透明的X电极和Y电极。 然后，对在交叉部分断开的X电极或Y电极，利用设置于层间绝缘膜的上层的中继用的桥接电极进行电连接。此时，对于树脂制的层间绝缘膜，在想要利用ITO形成桥接电极的情况下，会产生上述问题。因此，本发明者对触摸屏的电极结构中利用对于基板的粘接性更高的材料、例如金属材料来构成桥接电极的新结构进行了研究。图9是说明具有金属制的桥接电极的触摸屏的简要结构的俯视图。图10是对图 9所示的触摸屏的桥接电极部分进行放大说明的图。图9所示的触摸屏200在玻璃基板等透明基板202的一个面上设置有X电极205 和Y电极204，X电极205和Y电极204分别沿相交叉的X轴和Y轴这两根轴的方向延伸。 X电极205和Y电极204在其相互交叉的交叉部208隔着绝缘性的层间绝缘膜203进行配置，是电非接触(独立)的状态。如图10所示，在交叉部208，X电极205的电极图案是连接的，而Y电极204的电极图案是断开的。Y电极204由形成于层间绝缘膜203的上层的桥接电极206进行电连接。桥接电极206是金属制的电极，如图10所示，具有下述长方形形状即，其长轴的方向平行于从Y电极204流向桥接电极206的电流方向。金属电极对光进行反射，会减少透射光量。因此，希望尽可能地减小桥接电极206的大小，希望减小其宽度，也缩短其长度。 这样，在触摸屏200中，防止桥接电极206较为醒目而有损外观。然而，在触摸屏200中，如上所述，可能会因施加静电而在桥接电极206中流过大电流。此时，若桥接电极206与Y电极204的连接部分的面积较小，则会发生电流集中并发热。该现象会引起桥接电极206和Y电极204的连接部分发生断线。因此，在本发明中，以金属来构成在交叉部将断开的Y电极或X电极进行连接的桥接电极。然后，提供一种触摸屏，该触摸屏能够改善桥接电极的形状，并对静电引起的大电流具有耐受性。以下，参照附图，对本发明的实施方式的触摸屏进行说明。图1是说明本实施方式的触摸屏的简要结构的俯视图。图2是说明本实施方式的触摸屏的简要结构的剖视图。图3是说明本实施方式的触摸屏的交叉部的结构的图。图1及图2所示的触摸屏1在透光性基板即透明基板2的一个面上具有多个第一电极4及第二电极5。第一电极4及第二电极5相当于图9所示的触摸屏的Y电极204及 X电极205。透明基板2是电绝缘性的基板，例如可以使用玻璃基板、PET(聚对苯二甲酸乙二醇脂)薄膜、PC(聚碳酸酯)薄膜等。在玻璃基板的情况下，可将厚度设为0.3mm 3. 0mm。第一电极4和第二电极5都是相同的透光性的电极(以下，也称为透明电极)，形成相当于触摸屏1的操作面的区域。第一电极4及第二电极5是使用对可见光具有高透射率和导电性的透明材料构成的。例如，能够使用ITO(氧化铟锡)、IZ0andium Zinc Oxide 铟锌氧化物)、SiO (氧化锌)来构成。然后，如图1所示，在透明基板2上第一电极4沿Y方向延伸，第二电极5沿与Y 方向正交的X方向延伸。将第一电极和第二电极呈矩阵状地配置在透明基板2上。多个第一电极4将触摸屏1的操作面沿X方向分离成多个区域，来检测X方向的坐标。多个第二电极5同样地检测Y方向的坐标。此外，在触摸屏1中，如后述那样，第一电极4和第二电极5是电学上相互独立的，以使得能够检测触摸位置。如图1所示，第1电极4及第2电极5具有将多个菱形的电极焊盘9、沿Y方向及 X方向排列的形状。然后，如图3放大所示的那样，对第2电极5进行电极的图案形成，使得在第一电极4和第二电极5的交叉部分即交叉部8相连接，对第1电极4形成断开状态的电极图案。即，如图3所示，第2电极5是进行电连接的，但是第一电极4断开。在交叉部 8的第一电极4的断开部分彼此的电连接如后述那样，是由桥接电极6实现的。此外，第一电极4及第二电极5具有菱形的电极焊盘9，以提高触摸屏1的灵敏度。 然而，在本发明中，并未将电极焊盘9的形状限定为菱形，能够选择六边形、八边形等多种形状。另外，第一电极4及第二电极5的个数也不限于此处所示出的个数。电极的形状、数量能够根据操作面的大小和所要求的检测位置的精度而决定。在图1所示的实施方式的触摸屏1中，如上所述，将第一电极4和第二电极5形成在透明基板2的同一面上的同一层。因而，存在多个第一电极4和第二电极5的交叉部分即交叉部8。在交叉部8，在以相互连接的方式进行图案形成的第二电极5的上层形成层间绝缘膜3。然后，利用形成于层间绝缘膜3的上层的桥接电极6来实现对第一电极4的断开部分彼此进行电连接。即，在交叉部8，在桥接电极6和第二电极5之间设置有层间绝缘膜 3。另外，仅将层间绝缘膜3配置在形成有桥接电极6的交叉部8的部分。优选层间绝缘膜3由光透过性的绝缘性材料构成，具有透光性。例如，能够使用 SiO2等无机材料、感光性的丙烯酸树脂等有机材料。在使用SW2的情况下，能够容易地应用溅射法并利用掩膜来获得图案形成后的绝缘层。在使用感光性丙烯酸树脂等来形成层间绝缘膜的情况下，能够利用光刻技术来获得进行了图案形成的树脂制的层间绝缘膜3。特别在透明基板2是玻璃基板的情况下，最好使用具有与玻璃基板的表面所产生的硅烷醇基进行反应的基团的感光性树脂。通过使用相关感光性树脂，从而能够在玻璃基板和感光性树脂之间产生化学结合来形成紧贴力强的绝缘层。例如，除了上述感光性的丙烯酸树脂之外，还可以举出感光性甲基丙烯树脂、感光性聚酰亚胺树脂、感光性聚硅氧烷树脂、感光性聚乙烯醇树脂、及丙烯酸聚氨酯系感光性树脂等。此外，也可以使用遮光性的绝缘性材料。在采用遮光性的绝缘性材料的情况下，从可视性的观点考虑，则优选层间绝缘膜 3的形成区域较小的情况下。优选本实施方式的桥接电极6是由金属材料构成的。由于金属材料对于透明基板 2具有较强的紧贴力，因此，是合适的材料。在透明基板2为玻璃基板的情况下，优选金属材料中的、对于玻璃基板的紧贴力强、比ITO的导电性好、耐用性、耐磨损性也优异的金属材料。具体而言，能够使用Mo、Mo合金、Al、Al合金、Au、Au合金等金属材料。作为具有更高耐腐蚀性的合金，优选例如Mo-Nb类合金、Al-Nd类合金等。
上述的桥接电极6还能具有双层或三层等的多层结构。例如，可以列举出Mo层/ Al层/Mo层这三层结构。由上述金属材料构成的桥接电极6与使用ITO的情况下相比，能够减小电极宽度， 或能够加长电极长度。而且还能够减小电极的膜厚。对于上述桥接电极6，能够提高电极结构的设计自由度，并改善了外观。优选本实施方式的桥接电极6具有桥接部12和连接部11的结构。例如，优选后述的图3所示的结构。桥接电极6的桥接部12架设在第一电极4的断开部分。连接部11配置在第一电极4的电极焊盘9上，将桥接电极6和第一电极4进行连接。即，连接部11分别配置于在交叉部8断开的第一电极4的电极焊盘9之上。然后，桥接部12将这两个连接部11进行连接。桥接电极6包括两个连接部11，这两个连接部12配置于在交叉部8断开的第一电极4之上；以及桥接部12，该桥接部12将上述两个连接部11进行连接。桥接电极6具有连接部11，因此能够放大第一电极4和桥接电极6的连接面积。 而且，能够防止流过第一电极4和桥接电极6之间的电流集中在其连接部分。因而，能防止连接部分发热或断线，还能够减小桥接电极6的面积、特别是桥接部12的面积。尽管桥接电极6具有上述结构和功能，但是连接部11等各部分的形成还具有多种选择。具体而言，在桥接电极6的桥接部12和连接部11中，对于与从第一电极4流向桥接部12的电流的方向(以下，称为电流方向)相垂直的方向上的长度，优选连接部11比桥接部12要长的形状。例如，优选桥接电极6的桥接部12具有以下形状S卩，其长轴的方向平行于电流方向。然后，优选连接部11具有以下形状即，其长轴的方向垂直于该电流方向。然后，连接部11通过调整垂直于电流方向的长度，从而能够控制电流集中到第一电极4和桥接电极6 的连接部分的情况。具体而言，优选连接部11的长轴方向的长度为40μπι以上。在这种情况下，优选短轴方向的长度为20 μ m以下。由此，桥接电极6的具体形状能够选择例如图3所示的形状。此外，在本实施方式中，桥接电极6的形状并不限于图3所示的例子。如图3所示，在桥接电极6中，桥接部12具有沿平行于电流方向的方向延伸的形状。然后，连接部11配置在第一电极4上，具有沿垂直于电流方向的方向延伸的形状。更具体而言，桥接电极6的桥接部12具有长轴的方向平行于电流方向的长方形形状。然后，连接部11也具有长方形形状，且其长轴的方向垂直于电流方向。然后，如图3所示，在桥接电极6中，将连接部11和桥接部12进行组合，使整体形状具有使字母H进行90°旋转后获得的H形状。桥接电极6通过将桥接部12和连接部11 进行组合，从而能够将桥接部12形成为细长形状。其结果是，在触摸屏1中，能够抑制金属制的桥接电极6过于醒目，另一方面，能够放大第一电极4和桥接电极6的连接部分的面积。而且，即使在因施加静电而流过大电流的情况下，也能防止电流集中到第一电极4和桥接电极6的连接部分，能够防止连接部分发热进而断线。对于桥接电极6的连接部11的形状，优选在Y方向侧(图3中的上下方向)的前端不具有尖锐部分的形状。若在Y方向侧的前端具有尖锐部分，则电流会集中在该尖锐部分，可能会发生上述问题。图4是对桥接电极的连接部的优选的前端形状进行放大表示的示意图。如图4所示，对于桥接电极6在电极焊盘9上的连接部11，优选将位于与两个连接部11的相互相对一侧的侧面相反的一侧的侧面的角部分进行圆角加工。即，优选将连接部11的位于与层间绝缘膜3相对一侧相反的一侧的前端的角部分16 (以下称为前端角部分16)进行圆角加工。通过进行上述加工，从而连接部11在Y方向上不具有尖锐的部分。 此外，在图4所示的桥接电极6中，对于连接部11的与层间绝缘膜3相对一侧的角部分也同样进行圆角加工。对于图4所示的金属制的桥接电极6，本发明者在有电流流过时进行电流密度的评价。其结果是，对于将前端角部分16进行圆角加工，优选使角具有9 μ m以上的R(半径)。 通过使R(半径)为9 μ m以上，从而能够使流过该部分附近的电流密度分布得更均勻。因而，为了防止电流集中到连接部11的一部分，优选将前端角部分16进行圆角加工，使其具有9 μ m以上的R(半径)。另外，图5是表示桥接电极的连接部的其他例子的示意图。此外，在图5中，关于与图4相同的部分，使用相同的标号进行说明。在电极焊盘9上的连接部13中，对于位于与层间绝缘膜3相对一侧相反的一侧的侧面部分15，不是将其加工成直线状，而是将其加工成带有圆形状。即，在上述图4所述的例子中，连接部11具有长方形形状，与层间绝缘膜3的相对一侧相反的一侧的侧面部分14 具有与电流方向相垂直的直线形状。与此不同的是，在图5所示的例子中，连接部13的、位于与层间绝缘膜3相对一侧相反的一侧的侧面部分15不是直线形状，而具有沿电流方向膨胀的、带圆形的形状。通过进行上述加工，从而能够使流过连接部13的电流密度分布得更均勻。接着，如图3所示，对于本实施方式的触摸屏1，在交叉部8中，将层间绝缘膜3设置在第二电极5上。形成层间绝缘膜3，使得不与第一电极4的两个电极焊盘9a、9b相接触。而且，桥接电极6横跨层间绝缘层3，将Y方向(图3中的上下方向)上的两个电极焊盘9a、9b之间进行连接。在该状态下，桥接电极6直接与露出在层间绝缘膜3和各电极焊盘9a、9b之间的透明基板2紧贴。S卩，通过形成金属制的桥接电极6，从而与ITO的情况相比，能够进一步提高桥接电极6和透明基板2之间的紧贴力.然后，在交叉部8中，利用桥接电极6和透明电极2的紧贴力，能够更牢固地将桥接电极6和第一电极4进行连接。其结果是，通过直接使金属制的桥接电极6与透明基板2紧贴，从而能够抑制因层间绝缘膜3的剥落而引起的桥接电极 6和第一电极4之间的连接不良情况。在图1所示的触摸屏1中，在第一电极4和第二电极5的端部分别设置有端子(未图示)，从该端子连接多根引出布线17。引出布线17能够使用金属布线。而且，能够将构成引出布线17的金属材料与构成桥接电极6的材料采用相同材料。接着，说明本实施方式的触摸屏1的制造方法。图6是表示形成有第一电极和第二电极的状态下的透明基板的俯视图。首先，如图6所示，在透明基板2的一个面上形成有第一电极4和第二电极5。例如，使用溅射法等在透明基板2上将ITO进行成膜。接着，利用光刻技术等对成膜后的ITO 膜进行加工，形成规定形状的第一电极4和第二电极5的电极图案。图7是表示在交叉部形成有层间绝缘膜的状态下的透明基板的俯视图。接着，如图7所示，在第一电极4和第二电极5的交叉部8，形成覆盖第二电极5的电极焊盘9间的连接部分的层间绝缘膜3。利用光刻技术来形成层间绝缘膜3。S卩，在透明基板2上的第一电极4和第二电极5的上层涂敷感光性的丙烯酸树脂，使用规定图案的掩膜进行曝光，接着进行蚀刻。此时，在交叉部8中，在层间绝缘膜3和位于其上下的第一电极4的电极焊盘9之间隔开有间隙，层间绝缘膜3和第一电极4不接触。接着，形成桥接电极6，该桥接电极6横跨在设置于各交叉部8的层间绝缘膜3之上，将断开的第一电极4的电极焊盘9之间进行连接。即，利用溅射法等对形成有层间绝缘膜3的透明基板2的面，来形成金属膜。利用光刻法来对该金属膜进行图案形成，在层间绝缘膜3上形成具有规定形状的桥接电极6。此外，在上述形成桥接电极6的工序中，在对金属膜进行图案形成时，也能够使用该金属膜，同时对引出布线17进行图案形成。由此，能够减小引出布线17的电阻。这样，获得图1所示的触摸屏1。另外，图1所示的触摸屏1包括通过第一电极4及第二电极5对电容进行监视的电路部(未图示)。该电路部可以通过例如引线布线17的端子部(未图示)和柔性薄膜等来连接。此外，也可以在与引出布线的端子部(未图示)相连接的柔性薄膜上直接装载IC 芯片来构成电路部。图8是示意性表示使用本实施方式的触摸屏的带触摸屏功能的显示装置的结构的剖视图。使用本实施方式的触摸屏1的带触摸屏功能的显示装置100具有触摸屏1和显示面板101。显示面板101是液晶显示面板。液晶面板101在彼此相对的一对透明基板102、 103之间夹着液晶层104。相互隔开的透明基板102、103利用密封材料107进行相互固定。 将用于驱动液晶104的透明电极108分别配置在透明基板102、103的夹着液晶104的面上。 另外，将偏光板105、106分别配置在透明基板102、103的与夹着液晶104的面相反的面上。 设置于透明基板103上的透明电极108从利用密封材料107划分的区域的内部向外部的周围延伸。然后，安装驱动IC109。将触摸屏1的形成有第一电极4及第二电极5的面、和显示面板101的可视侧的面(相当于偏光板105的表面)隔着UV固化性树脂等构成的粘接层(未图示)进行重合， 从而提供带有触摸屏功能的显示装置100。(实施例)接下来，根据实施例，说明本发明的触摸屏的耐静电性。准备图1所示的本实施方式的触摸屏1、和具有图9所示的金属制的桥接电极206 的触摸屏200，进行静电破坏检查。所准备的触摸屏1是厚度为0. 55mm的玻璃基板。具有纵4cmX横4cm的操作面， 分别具有四列由膜厚为20nm的ITO构成的第一电极4和第二电极5。层间绝缘膜3是利用光刻技术对感光性的丙烯酸树脂进行图案形成而获得的。桥接电极6与引出布线17相同，是采用从玻璃基板侧起依次层叠含有Nb的Mo层、含有Nd的Al层、含有Nb的Mo层的三层结构的金属膜的结构。对于触摸屏200，除了桥接电极206的形状不同之外，也具有相同的结构。对于检查，是将模拟(模仿)静电的高压电施加到触摸屏1和触摸屏200，来对耐静电性进行试验。对于静电破坏检查的方法，是利用人体模型(人体带电模型)法(电容分量: IOOpF,电阻分量1.证Ω )。人体模型(人体带电模型)法是对因带电的人体接触检查对象而引起静电破坏进行模拟的检查方法。对于测定装置，使用Noisenken公司制的ESS-2000型带电装置，在金属板上放置厚度为50mm的绝缘体，在此基础上进行试验。将测定枪前端的形状设定为剑前端的类型， 在温度为25°C、湿度为53 56%的条件下，将所施加的高压设为5kV、10kV、及15kV这三个等级，在各条件下分别对两个样品进行试验。上述静电破坏试验的结果是，在本实施方式的触摸屏1中，即使施加15kV的高压， 在第一电极4和桥接电极6的连接部11之间也不会发生断线等，不会产生任何的不良情况。另一方面，在具有图9所示的金属制的桥接电极206的触摸屏200中，在施加5kV 及IOkV的试验中，未发生不良情况，但在施加15kV的试验中，会在桥接电极206和第一电极204之间发生断线。基于上述试验结果可知，本实施方式的触摸屏1对因施加静电而引起的大电流具有高耐受性。此外，在上述实施方式中，是在形成了第一电极及第二电极之后，形成金属制的桥接电极，但是也可在形成金属制的桥接电极之后，形成第一电极、第二电极。在这种情况下， 将层间绝缘膜配置在桥接电极上，之后，形成第一电极、第二电极。
权利要求
1.一种触摸屏，是电容方式的触摸屏，包括 透光性的基板；多个第一电极，该多个第一电极在所述基板的一个面上沿第一方向延伸，具有透光性；以及多个第二电极，该多个第二电极在所述基板的具有所述第一电极的面上、沿与所述第一方向相交叉的第二方向延伸，具有透光性，在所述第一电极和所述第二电极的交叉部分，所述第一电极及所述第二电极中的一个电极相连接，而另一个电极断开，该断开的另一个电极通过桥接电极相互连接，在所述交叉部分，在所述桥接电极和所述一个电极之间形成有层间绝缘膜，所述电容方式的触摸屏的特征在于，所述桥接电极采用金属材料，包括连接部，该连接部分别配置于在所述交叉部分断开的所述另一个电极的各部位；以及桥接部，该桥接部将所述连接部之间进行连接，对于与从所述另一个电极流向所述桥接部的电流方向相垂直的方向上的长度，所述连接部的长度要比所述桥接部的长。
2.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述连接部具有以下形状即，其长轴的方向垂直于从所述另一个电极流向所述桥接部的电流方向。
3.如权利要求1或2所述的触摸屏，其特征在于，所述连接部具有以下形状即，其在垂直于从所述另一个电极流向所述桥接部的电流方向的方向上的长度为40 μ m以上。
4.如权利要求1至3的任一项所述的触摸屏，其特征在于，所述桥接电极包括两个连接部，所述两个连接部分别配置于在所述交叉部分断开的所述另一个电极的各部位上；以及桥接部，该桥接部将所述两个连接部之间进行连接，所述两个连接部分别具有长方形形状，该长方形形状的长轴的方向垂直于电流从所述另一个电极流向所述桥接部的电流方向，且对于位于与相互相对一侧的侧面相反的一侧的侧面的角部分进行圆角加工。
5.如权利要求1至4的任一项所述的触摸屏，其特征在于，在所述交叉部分的所述一个电极上的所述层间绝缘膜和所述另一个电极之间形成有间隙，形成于所述层间绝缘膜上的所述桥接电极隔着该间隙与所述基板相粘接。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种对所施加的静电具有高耐受性的可靠性高的触摸屏。触摸屏是电容方式的，在透光性的基板的一个面上具有沿第一方向及第二方向延伸的透光性的多个第一电极及第二电极。在第一电极和第二电极的交叉部分，第一电极及第二电极中的一个电极相连接，而另一个电极断开。在交叉部分的一个电极的上层形成有透光性的层间绝缘膜，在层间绝缘膜的上层形成有将在交叉部分断开的另一个电极进行相互连接的桥接电极。桥接电极采用金属材料，包括连接部，该连接部分别配置于在交叉部分断开的另一个电极的各部位之上；以及桥接部，该桥接部将该连接部之间进行连接，对于从另一个电极流向桥接部的电流方向相垂直的方向上的长度，连接部的长度要比桥接部的长。
文档编号G06F3/044GK102446047SQ20111030789
公开日2012年5月9日 申请日期2011年9月28日 优先权日2010年10月1日
发明者尾关正雄, 岛田卓, 渡边圣 申请人:奥博特瑞克斯株式会社