制造执行系统的数据备份系统及方法与流程

本发明涉及半导体制造执行系统
技术领域：
，特别是涉及一种制造执行系统的数据备份系统及方法。
背景技术：
：现代化大规模集成电路的生产是高科技的制造过程，因产品种类繁多、加工工序复杂，要求半导体企业对生产过程实施更加精益化的管理，而制造执行系统(MES)为用户提供了一个精细化的制造业环境，帮助企业降低成本、按期交货、提高产品的质量和提高服务质量。因此所有的半导体生产企业都设有生产执行系统(MES)来监控和管理生产现场。可以说MES系统对先进晶圆厂的生产至关重要。MES系统对工艺流程和产品跑货的数据随着生产过程的持续进行，就会在数据库中大量堆积起来，在现有技术中，晶圆批次(lot)在工艺流程中产生的数据的归档方式是：将MES系统的生产数据库按季度做备份，然后删除过期的lot的工艺流程数据。具体的，lot出货后，即lot的生产状态表现为“shipped”三个月后，MES自动删除此lot所有的工艺流程数据。此外，IT工程师每个季度的第一个月初，即1月初、4月初、7月初和10月初，对上一个季度周期的MES生产数据库进行全备份，并存储到一备份数据库中。如果用户有需求要恢复某一lot的工艺流程数据做重加工(rework)或者复查，IT工程师会先找到相应年份和月份的备份数据库，然后恢复这个备份数据库，数据库恢复之后，从中得到lot的工艺流程的数据包，再将这个数据包输入到生产数据库当中，通知用户对lot做重新加工。然而，随着生产过程的持续进行和生产流程的日益复杂，生产数据库也会越来越庞大，将生产数据库按季度做备份，需要有很大的硬盘空间来支持，这加大了硬件资源的消耗成本，同时也增加了数据库维护人员的人力成本。并且， 恢复备份数据库非常耗时间，从用户提交申请恢复，到数据恢复到用户手里，至少需要一个星期的周期，这增加了用户对lot工艺流程数据的等待时间和停工时间，影响了lot重新加工的流程。技术实现要素：本发明的目的在于，提供一种制造执行系统的数据备份系统及方法，能够有效地减少硬件资源的消耗成本、数据库维护人员的人力成本以及时间成本。为解决上述技术问题，本发明提供一种制造执行系统的数据备份系统，包括：备份数据库设置模块，根据所述制造执行系统的生产数据库建立备份数据库，所述备份数据库中对晶圆批次的信息的存储方式与所述生产数据库中对晶圆批次的信息的存储方式相同；数据关系包生成模块，根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次的信息导入所述备份数据库；数据删除模块，根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，所述制造执行系统的数据备份系统还包括：键入模块，用于键入一待查询的晶圆批次的序号；查询引擎，分别连接所述键入模块和备份数据库，根据所述待查询的晶圆批次的序号，在所述备份数据库中查找到所述待查询的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，所述键入模块为所述制造执行系统的一键入界面。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，所述制造执行系统的数据备份系统还包括一恢复模块，所述恢复模块将待恢复的晶圆批次的信息从所述备份数据库导入所述生产数据库，并保留所述备份数据库中对应的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，所述制造执行系统的数据备份系统还包括一子晶圆批次判断单元，所述子晶圆批次判断单元判断已导 入的晶圆批次是否为子晶圆批次，如果所述已导入的晶圆批次为母晶圆批次，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次为子晶圆批次，且所述已导入的晶圆批次的母晶圆批次在所述生产数据库中，则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次为子晶圆批次，且所述生产数据库中不存在所述已导入的晶圆批次的母晶圆批次，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，所述制造执行系统的数据备份系统还包括一空挡片批次判断单元，所述空挡片批次判断单元判断已导入的晶圆批次是否为空挡片批次，如果所述已导入的晶圆批次为空挡片批次，则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次不为空挡片批次，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，所述制造执行系统的数据备份系统还包括一恢复晶圆批次判断单元，所述恢复晶圆批次判断单元判断已导入的晶圆批次是否在特定时间内重新进入所述生产数据库，如果所述已导入的晶圆批次在所述特定时间内重新进入所述生产数据库，则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次未在所述特定时间内重新进入所述生产数据库，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份系统中，根据数据库视图的方法建立所述晶圆批次信息抽取机制。根据本发明的另一面，还提供一种制造执行系统的数据备份方法，包括：根据所述制造执行系统的生产数据库建立备份数据库，所述备份数据库中对晶圆批次的信息的存储方式与所述生产数据库中对晶圆批次的信息的存储方式相同；根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次的信息导入所述备份数据库；根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺 序删除已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，所述制造执行系统的数据备份方法还包括：键入一待查询的晶圆批次的序号；根据所述待查询的晶圆批次的序号，在所述备份数据库中查找到所述待查询的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，在所述制造执行系统的一键入界面键入所示待查询的晶圆批次的序号。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，所述制造执行系统的数据备份方法还包括：将待恢复的晶圆批次的信息从所述备份数据库导入所述生产数据库，并保留所述备份数据库中对应的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，所述根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息的步骤包括：判断已导入的晶圆批次是否为子批次，如果所述已导入的晶圆批次为母批次，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次为子批次，且所述已导入的晶圆批次的母批次在所述生产数据库中，则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次为子批次，且所述生产数据库中不存在所述已导入的晶圆批次的母批次，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，所述根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息的步骤包括：判断已导入的晶圆批次是否为空挡片批次，如果所述已导入的晶圆批次为空挡片批次，则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次不为空挡片批次，则所述数据删除模块删除所 述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，所述根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息的步骤包括：判断已导入的晶圆批次是否在特定时间内重新进入所述生产数据库，如果所述已导入的晶圆批次在所述特定时间内重新进入所述生产数据库，则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息；如果所述已导入的晶圆批次未在所述特定时间内重新进入所述生产数据库，则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。可选的，在所述制造执行系统的数据备份方法中，根据数据库视图的方法建立所述晶圆批次信息抽取机制。与现有技术相比，本发明提供的制造执行系统的数据备份系统及方法具有以下优点：在本发明提供的制造执行系统的数据备份系统中，所述数据关系包生成模块根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次的信息导入所述备份数据库，所述数据删除模块根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息，从而使得所述备份数据库中仅保存晶圆批次(lot)的信息，避免在所述备份数据库中保存机台PM(预防性维护)或OCAP(OutofControlActionPlan，异常管制计划)等过多的记录，从而节约存储空间；并且，制造执行系统的数据备份系统时刻随时自动地对数据进行备份，避免IT工程师人工进行备份，节约人力资源。附图说明图1为本发明一实施例中制造执行系统的数据备份系统的示意图；图2为本发明一实施例中制造执行系统的数据备份方法的流程图。具体实施方式下面将结合示意图对本发明的制造执行系统的数据备份系统及方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以 修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。本发明的核心思想在于，提供一种制造执行系统的数据备份系统，如图1所示，包括：备份数据库设置模块110，根据所述制造执行系统MES的生产数据库DB1建立备份数据库DB2，所述备份数据库DB2中对晶圆批次lot的存储方式与所述生产数据库DB1中对晶圆批次lot的存储方式相同；数据关系包生成模块120，根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次lot的信息导入所述备份数据库DB2；数据删除模块130，根据导入到所述备份数据库中DB2晶圆批次lot的结果，在所述生产数据库DB1中按顺序删除已导入的晶圆批次lot的信息。所述备份数据库DB2中仅保存晶圆批次(lot)的信息，避免在所述备份数据库DB2中保存机台PM(预防性维护)或OCAP(OutofControlActionPlan，异常管制计划)等过多的记录，从而节约存储空间；并且，制造执行系统MES的数据备份系统时刻随时自动地对数据进行备份，避免IT工程师人工进行备份，节约人力资源。进一步，结合上述制造执行系统的数据备份系统，本发明还提供了一种制造执行系统的数据备份方法，如图2所示，包括：步骤S1，根据所述制造执行系统的生产数据库建立备份数据库，所述备份数据库中对晶圆批次的信息的存储方式与所述生产数据库中对晶圆批次的信息的存储方式相同；步骤S2，根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次的信息导入 所述备份数据库；步骤S3，根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息。以下结合具体的实施例说明本发明的制造执行系统的数据备份系统及方法。如图1所示，所述数据备份系统包括备份数据库设置模块110、数据关系包生成模块120以及数据删除模块130。当所述数据备份系统进行数据备份时，首先进行步骤S1，所述备份数据库设置模块110根据所述制造执行系统MES的生产数据库DB1建立备份数据库DB2，其中，所述备份数据库DB2中对晶圆批次lot信息的存储方式与所述生产数据库DB1中对晶圆批次lot信息的存储方式相同。即所述备份数据库DB2和生产数据库DB1有相同的架构、表、索引、主键，并将所述生产数据库DB1中与lot信息相关的14张配置表的数据同步这个所述备份数据库DB2，另外在所述备份数据库DB2中建立11张和lot信息相关的查询视图，最后在所述备份数据库DB2中建立权限控制表，其中，所述备份数据库DB2用于存放数据的单元格为空的。TableDataIndexDataAX1DX2BY1EY2CZ1FZ2表1TableDataIndexDataADBECF表2例如，表1为所述生产数据库DB1中对晶圆批次lot信息的存储方式，所述生产数据库DB1的数据表包括Table(表，包括A、B、C等项目)及其Data(包括X1、Y1、Z1等具体数据)、Index(索引，包括D、E、F等项目)及其Data(包括X2、Y2、Z2等具体数据)。表2为所述备份数据库DB2中对晶圆 批次lot信息的存储方式，所述备份数据库DB2的数据表包括Table(表，包括A、B、C等项目)及其Data(其中具体数据为空)、Index(索引，包括D、E、F等项目)及其Data(其中具体数据为空)。然后进行步骤S2，所述数据关系包生成模块120根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次lot的信息导入所述备份数据库DB2。较佳的，根据数据库视图的方法建立所述晶圆批次信息抽取机制，数据库视图的方法为本领域的普通技术人员可以理解的。具体的，工程师根据所述生产数据库DB1中lot数据表关系，建立一个完整的lot信息抽取机制，当输入晶圆批次的序号(lotID)时候，可以得到关于lot的全部数据集合，从而将所述生产数据库DB1中该lot的所有数据毫无差错地导入到所述备份数据库DB2里面。之后进行步骤S3，所述数据删除模块130根据导入到所述备份数据库DB2中晶圆批次lot的结果，以lotID为输入源，在所述生产数据库DB1中按顺序删除已导入的晶圆批次lot的信息。较佳的，在所述步骤S3中，还包括，根据lotID为输入源，对各个lot的基本情况依次进行判断，如图1所示，所述数据备份系统还包括lot基本情况判断单元170，具体的，所述lot基本情况判断单元170包括子批次判断单元171、空挡片批次判断单元172、恢复晶圆批次判断单元173。在所述数据备份方法中，步骤S3中包括步骤S31、步骤S32和步骤S33：进行所述步骤S31，所述子批次判断单元171依次判断在步骤S2中已导入的晶圆批次lot是否为子批次(子lot)，如果所述已导入的晶圆批次lot为母批次(母lot)，所述数据删除模块130删除所述生产数据库DB1中已导入的晶圆批次lot的信息；如果在步骤S2中所述已导入的晶圆批次lot为子批次，且所述已导入的晶圆批次lot的母lot在所述生产数据库DB1中(即该子lot的母lot在所述生产数据库DB1中)，则所述数据删除模块130不删除所述生产数据库DB1中已导入的晶圆批次(该子lot)的信息；如果所述已导入的晶圆批次lot为子lot，且所述生产数据库DB1中不存在所述已导入的晶圆批次的母批次(即该子lot的母lot不在所述生产数据库DB1中)，则所述数据删除模块130删除所述生产数据库DB1中已导入的晶圆批次(该子lot)的信息；进行所述步骤S32，所述空挡片批次判断单元172依次判断在步骤S2中已 导入的晶圆批次lot是否为空挡片批次(Vlot)，如果所述已导入的晶圆批次lot为空挡片批次(Vlot)，则所述数据删除模块130不删除所述生产数据库DB1中已导入的晶圆批次(该Vlot)的信息；如果所述已导入的晶圆批次lot不为空挡片批次(Vlot)，则所述数据删除模块130删除所述生产数据库DB1中已导入的晶圆批次(该Vlot)的信息；进行所述步骤S33，所述恢复晶圆批次判断单元173依次判断在步骤S2中已导入的晶圆批次lot是否在特定时间内重新进入(restore)所述生产数据库DB1，所述特定时间根据具体情况进行设置，在此不做限定。例如所述特定时间可以为7天，则判断已导入的晶圆批次lot在7天内是否做过restore的操作。如果所述已导入的晶圆批次lot在所述特定时间内重新进入所述生产数据库DB1，则所述数据删除模块130不删除所述生产数据库DB1中的该lot；如果所述已导入的晶圆批次lot未在所述特定时间内重新进入所述生产数据库DB1，则所述数据删除模块130删除所述生产数据库DB1中的该lot。其中，步骤S31、步骤S32和步骤S33的先后顺序不做限定。经过步骤S1-步骤S3，将所述生产数据库DB1中的lot信息备份到所述备份数据库DB2，所述备份数据库DB2中仅保存晶圆批次(lot)的信息，避免在所述备份数据库DB2中保存机台PM(预防性维护)或OCAP(OutofControlActionPlan，异常管制计划)等过多的记录，从而节约存储空间；并且，制造执行系统MES的数据备份系统时刻随时自动地对数据进行备份，避免IT工程师人工进行备份，节约人力资源。为了方便客户查询在所述生产数据库DB1中被删除的晶圆批次lot的信息，较佳的，如图1所示，所述数据备份系统还包括键入模块140和查询引擎150，所述查询引擎150分别连接所述键入模块140和备份数据库DB2。在所述数据备份方法中，还包括步骤S4，具体包括步骤S41和步骤S42：进行步骤S41，客户在所述140键入模块中键入一待查询的晶圆批次的序号(lotID)，该待查询的晶圆批次为在所述生产数据库DB1中被删除的晶圆批次；进行步骤S42，所述查询引擎150根据所述待查询的晶圆批次的序号(lotID)，在所述备份数据库中DB2查找到所述待查询的晶圆批次的信息。优选的，所述键入模块140为所述MES的一键入界面，在所述制造执行系 统MES建立所述键入界面，以方便客户直接在MES系统中进行查询，并将查询结果显示在MES系统的结果显示界面中。为了方便将被删除的晶圆批次lot的信息从所述备份数据库DB2中恢复到所述生产数据库DB1中，较佳的，如图1所示，所述数据备份系统还包括一恢复模块160。在所述数据备份方法中，还包括步骤S5，具体包括：所述恢复模块160将待恢复的晶圆批次lot的信息从所述备份数据库DB2导入所述生产数据库DB1，以方便待恢复的晶圆批次lot进行重新加工(rework)；同时，保留所述备份数据库DB2中对应的晶圆批次lot的信息。其中，所述待恢复的晶圆批次lot可以为所述步骤S4中查找到的晶圆批次lot。经过步骤S4、步骤S5，客户可以随时根据需要，自己在MES系统进行查找，避免向IT工程师提交申请，客户通过本发明的所述数据备份系统及方法可以快速地查找和恢复所述备份数据库DB2中的lot信息，节约时间。并且，步骤S5中，所述恢复模块160保留所述备份数据库DB2中对应的晶圆批次lot的信息，而是在该lot再一次倒入所述备份数据库DB2时，再删除上一次倒入的信息。这样做可以避免该Lot数据回到所述生产数据库DB1之后，如果有意外情况出现，比如lot数据异常，用户误操作数据，需要重新再来一次restorelot数据时，所述备份数据库DB2中的lot源数据已丢失。此外，所述制造执行系统的数据备份系统及方法还可以对机台的信息进行备份和恢复，此为本领域的普通技术人员可以理解的，在此不做赘述。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。当前第1页1 2 3