1.一种制造执行系统的数据备份系统,包括:
备份数据库设置模块,根据所述制造执行系统的生产数据库建立备份数据库,所述备份数据库中对晶圆批次的信息的存储方式与所述生产数据库中对晶圆批次的信息的存储方式相同;
数据关系包生成模块,根据晶圆批次信息抽取机制,将满足期限的晶圆批次的信息导入所述备份数据库;
数据删除模块,根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果,在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息。
2.如权利要求1所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份系统还包括;
键入模块,用于键入一待查询的晶圆批次的序号;
查询引擎,分别连接所述键入模块和备份数据库,根据所述待查询的晶圆批次的序号,在所述备份数据库中查找到所述待查询的晶圆批次的信息。
3.如权利要求2所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,所述键入模块为所述制造执行系统的一键入界面。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份系统还包括一恢复模块,所述恢复模块将待恢复的晶圆批次的信息从所述备份数据库导入所述生产数据库,并保留所述备份数据库中对应的晶圆批次的信息。
5.如权利要求1至3中任意一项所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份系统还包括一子批次判断单元,所述子批次判断单元判断已导入的晶圆批次是否为子批次,如果所述已导入的晶圆批次为母批次,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;如果所述已导入的晶圆批次为子批次,且所述已导入的晶圆批次的母批次在所述生产数据库中,则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;如果所述已导入的晶圆批次为子批次,且所述生产数据库中不存在所述已导入的晶圆批次的母批次,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。
6.如权利要求1至3中任意一项所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份系统还包括一空挡片批次判断单元,所述空挡片批次判断单元判断已导入的晶圆批次是否为空挡片批次,如果所述已导入的晶圆批次为空挡片批次,则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;如果所述已导入的晶圆批次不为空挡片批次,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。
7.如权利要求1至3中任意一项所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份系统还包括一恢复晶圆批次判断单元,所述恢复晶圆批次判断单元判断已导入的晶圆批次是否在特定时间内重新进入所述生产数据库,如果所述已导入的晶圆批次在所述特定时间内重新进入所述生产数据库,则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;如果所述已导入的晶圆批次未在所述特定时间内重新进入所述生产数据库,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。
8.如权利要求1所述的制造执行系统的数据备份系统,其特征在于,根据数据库视图的方法建立所述晶圆批次信息抽取机制。
9.一种制造执行系统的数据备份方法,包括;
根据所述制造执行系统的生产数据库建立备份数据库,所述备份数据库中对晶圆批次的信息的存储方式与所述生产数据库中对晶圆批次的信息的存储方式相同;
根据晶圆批次信息抽取机制,将满足期限的晶圆批次的信息导入所述备份数据库;
根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果,在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息。
10.如权利要求9所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份方法还包括:
键入一待查询的晶圆批次的序号;
根据所述待查询的晶圆批次的序号,在所述备份数据库中查找到所述待查询的晶圆批次的信息。
11.如权利要求10所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,在所 述制造执行系统的一键入界面键入所示待查询的晶圆批次的序号。
12.如权利要求9至11中任意一项所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,所述制造执行系统的数据备份方法还包括:将待恢复的晶圆批次的信息从所述备份数据库导入所述生产数据库,并保留所述备份数据库中对应的晶圆批次的信息。
13.如权利要求9至11中任意一项所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,所述根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果,在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息的步骤包括:
判断已导入的晶圆批次是否为子批次,如果所述已导入的晶圆批次为母批次,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;
如果所述已导入的晶圆批次为子批次,且所述已导入的晶圆批次的母批次在所述生产数据库中,则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;
如果所述已导入的晶圆批次为子批次,且所述生产数据库中不存在所述已导入的晶圆批次的母批次,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。
14.如权利要求9至11中任意一项所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,所述根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果,在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息的步骤包括:
判断已导入的晶圆批次是否为空挡片批次,如果所述已导入的晶圆批次为空挡片批次,则所述数据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;
如果所述已导入的晶圆批次不为空挡片批次,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。
15.如权利要求9至11中任意一项所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,所述根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果,在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息的步骤包括:
判断已导入的晶圆批次是否在特定时间内重新进入所述生产数据库,如果所述已导入的晶圆批次在所述特定时间内重新进入所述生产数据库,则所述数 据删除模块不删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息;
如果所述已导入的晶圆批次未在所述特定时间内重新进入所述生产数据库,则所述数据删除模块删除所述生产数据库中已导入的晶圆批次的信息。
16.如权利要求9所述的制造执行系统的数据备份方法,其特征在于,根据数据库视图的方法建立所述晶圆批次信息抽取机制。