技术总结
本发明揭示了一种制造执行系统的数据备份系统，包括：备份数据库设置模块，根据所述制造执行系统的生产数据库建立备份数据库，所述备份数据库中对晶圆批次的信息的存储方式与所述生产数据库中对晶圆批次的信息的存储方式相同；数据关系包生成模块，根据晶圆批次信息抽取机制，将满足期限的晶圆批次的信息导入所述备份数据库；数据删除模块，根据导入到所述备份数据库中晶圆批次的结果，在所述生产数据库中按顺序删除已导入的晶圆批次的信息。本发明的还公开了制造执行系统的数据备份方法。本发明提供的制造执行系统的数据备份系统及方法能够有效地减少硬件资源的消耗成本、数据库维护人员的人力成本以及时间成本。
技术研发人员：张爱;张俊
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201510249796
技术研发日：2015.05.15
技术公布日：2017.01.04