一种非作业时间长度确定方法及其系统与流程

文档序号:12158127阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非作业时间长度确定方法,其特征在于,包括:

获取机台在对半导体产品处理过程中生成的数据库信息;

根据所述数据库信息,确定对半导体产品处理过程中的第一时长,其中所述第一时长包括对半导体产品处理过程中所有非作业总时长;

根据所述数据库信息,确定所述第一时长中的所有作业总时长;

根据所述第一时长和所述第一时长中的所有作业总时长,确定对半导体产品处理过程中所有非作业总时长。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业起始时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业结束时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括所有工艺步骤的作业时长;

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业结束时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业结束时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括除了第一工艺步骤的其余工艺步骤的作业时长;

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业起始时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业起始时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括除了最后一个工艺步骤的其余工艺步骤的作业时长;

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业结束时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业起始时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括除了第一工艺步骤和最后一个工艺步骤的其余工艺步骤的作业时长。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,确定对半导体产品处理过程中所有非作业总时长之后,包括:

若所述所有非作业总时长超过所述第一阈值,则向机台发出停止作业信息或通知机台操作人员作业超时。

4.如权利要求2所述的方法,其特征在于,确定半导体产品的非作业时间 长度之后,还包括:

若所述所有非作业总时长大于第二阈值且不大于所述第一阈值,则通知机台操作人员作业即将超时。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取机台生成的数据库信息,包括:

通过数据库查询接口周期查询当前机台生成的数据库信息。

6.一种非作业时间长度确定系统,其特征在于,包括:

获取单元,用于获取机台在对半导体产品处理过程中生成的数据库信息;

第一确定单元,用于根据所述数据库信息,确定对半导体产品处理过程中的第一时长,其中所述第一时长包括对半导体产品处理过程中所有非作业总时长;

第二确定单元,用于根据所述数据库信息,确定所述第一时长中的所有作业总时长;

非作业总时长确定单元,用于根据所述第一时长和所述第一时长中的所有作业总时长,确定对半导体产品处理过程中所有非作业总时长。

7.如权利要求6所述的系统,其特征在于,

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业起始时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业结束时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括所有工艺步骤的作业时长;

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业结束时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业结束时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括除了第一工艺步骤的其余工艺步骤的作业时长;

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业起始时刻到半导体产品执行最后一个工艺步骤的作业起始时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括除了最后一个工艺步骤的其余工艺步骤的作业时长;

若所述第一时长为半导体产品执行第一工艺步骤的作业结束时刻到半导体 产品执行最后一个工艺步骤的作业起始时刻,则所述第一时长中的所有作业总时长包括除了第一工艺步骤和最后一个工艺步骤的其余工艺步骤的作业时长。

8.如权利要求6所述的系统,其特征在于,还包括:

判断处理单元,用于若所述所有非作业总时长超过所述第一阈值,则向机台发出停止作业信息或通知机台操作人员作业超时。

9.如权利要求8所述的系统,其特征在于,所述判断处理单元还用于:

若所述所有非作业总时长大于第二阈值且不大于所述第一阈值,则通知机台操作人员作业即将超时。

10.如权利要求6所述的系统,其特征在于,所述获取单元具体用于:

通过数据库查询接口周期查询当前机台生成的数据库信息。

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