技术总结
本发明公开了一种非作业时间长度确定方法及其系统，包括：获取机台在对半导体产品处理过程中生成的数据库信息；根据所述数据库信息，确定对半导体产品处理过程中的第一时长，其中所述第一时长包括对半导体产品处理过程中所有非作业总时长；根据所述数据库信息，确定所述第一时长中的所有作业总时长；根据所述第一时长和所述第一时长中的所有作业总时长，确定对半导体产品处理过程中所有非作业总时长。用以解决现有技术中半导体作业过程中工艺步骤之间存在非作业时间超时的问题，导致半导体产品的产品质量较低。
技术研发人员：詹祥宇
受保护的技术使用者：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
文档号码：201510512201
技术研发日：2015.08.19
技术公布日：2017.03.01