一种触摸屏的制作方法

本实用新型涉及触控技术领域，尤其涉及一种触摸屏。

背景技术：

随着电子技术的发展，触摸屏广泛应用在手机、平板电脑、计算机等诸多电子设备中，用户只需要用手指触碰屏幕就可以实现对电子设备的操作，人机交互非常方便、直接，给用户带来良好的体验感。

目前触摸屏中的触控电极一般为氧化铟锡材料，但是其电阻较大、灵敏度低，而金属电极具有低电阻、抗干扰能力强、制作简单等优点，逐渐成为人们关注的热点。但是，利用金属电极制作的触摸屏的柔性较差。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种触摸屏，以提高所述触摸屏的柔性。

为解决上述问题，本实用新型提供了如下技术方案：

一种触摸屏，包括：

柔性基板；

位于所述柔性基板第一表面的第一电极层，所述第一电极层包括多个第一电极，所述第一电极包括至少一个第一层叠单元，所述第一层叠单元包括层叠的第一金属单元和第一膜层单元，其中，所述第一膜层单元位于所述第一金属单元背离所述柔性基板的一侧，所述第一膜层单元为氮化物层，且所述第一膜层单元具有第一颜色，所述第一颜色的纯净度小于第一预设值。

优选地，所述第一电极包括两个第一层叠单元或三个第一层叠单元。

优选地，所述第一电极为所述触摸屏的自电容电极，所述触摸屏的触摸面具有所述第一颜色。

优选地，还包括：

位于所述第一电极层背离所述柔性基板一侧的绝缘层；

位于所述绝缘层背离所述第一电极层一侧的第二电极层，所述第二电极层包括多个第二电极，所述第二电极包括至少一个第二层叠单元，所述第二层叠单元包括层叠的第二金属单元和第二膜层单元，其中，所述第二膜层单元为氮化物层，且所述第二膜层单元具有第二颜色，所述第二颜色纯净度小于第二预设值；

所述第一电极和所述第二电极组成所述触摸屏的互电容电极，所述触摸屏的触摸面具有所述第二颜色。

优选地，所述第二电极包括两个第二层叠单元或三个第二层叠单元。

优选地，还包括：

位于所述柔性基板与所述第一电极层之间的第三膜层单元，所述第三膜层单元氮化物层，且所述第三膜层单元具有第三颜色，所述第三颜色纯净度小于第三预设值。

优选地，所述氮化物层包括氮化铌层、氮化钛层或氮化铜层中的至少一层。

优选地，第一电极层的膜层为利用磁控溅射工艺制作的膜层。

优选地，所述第一金属单元包括铜电极单元、银电极单元或金电极单元。

优选地，还包括：

位于所述柔性基板与所述第一电极层之间的显示模组；或，

位于所述柔性基板背离所述第一电极层一侧的显示面板。

与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

本实用新型实施例所提供的触摸屏，包括：柔性基板以及位于所述柔性基板第一表面的第一电极层，所述第一电极层多个第一电极，所述第一电极包括至少一个第一层叠单元，所述第一层叠单元包括层叠的第一金属单元和第一膜层单元，其中，所述第一膜层单元为氮化物层，以通过所述第一金属单元和所述第一膜层单元的相互作用，使得所述第一金属单元和所述第一膜层单元的共格结构被破坏，提高所述触摸屏的柔性。

而且，本实用新型所提供的触摸屏中，所述第一膜层单元具有第一颜色，所述第一颜色的纯净度小于第一预设值，从而在利用所述第一膜层单元的表面颜色作为所述触摸屏的触摸面颜色时，可以利用第一膜层单元的颜色对所述第一金属单元进行遮挡，避免所述触摸屏的触摸面出现金属电极可见现象。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所提供的一种触摸屏的结构示意图；

图2为本实用新型所提供的触摸屏的第一电极的一种结构图；

图3为本实用新型所提供的触摸屏的第一电极中的第一膜层单元的一种构成结构示意图；

图4为本实用新型所提供的另一种触摸屏的结构示意图；

图5为本实用新型所提供的又一种触摸屏的结构示意图；

图6为本实用新型所提供的第四种触摸屏结构示意图；

图7为本实用新型所提供的触摸屏的第二电极中的第二膜层单元的一种构成结构示意图；

图8为本实用新型所提供的第五种触摸屏结构示意图；

图9为本实用新型所提供的第六种触摸屏结构示意图；

图10为本实用新型所提供的触摸屏具有显示功能时的一种结构示意图；

图11为本实用新型所提供的触摸屏具有显示功能时的另一种结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

正如背景技术部分所述，利用金属电极制作的触摸屏的柔性较差。

发明人研究发现，这是由于金属材料的延展性较差，因此，利用金属材料制作触摸屏在发生弯折时，如果其弯折所在位置处具有金属材料，则弯折性能较差，从而使得利用金属电极制作的触摸屏的柔性较差。

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种触摸屏，如图1所示，图1为本实用新型一个实施例所提供的触摸屏的结构示意图，该触摸屏包括：

柔性基板1，具体地，柔性基板可以为聚酰亚胺(Polyimide，简称PI)基板、聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethyleneterephthalate，简称PET)基板、光学材料(Cyclo Olefin Polymer，简称COP)基板或聚碳酸酯(Polycarbonate，简称PC)基板，本实用新型对此并不做限定，具体视情况而定。

位于所述柔性基板1第一表面的第一电极层2，所述第一电极层2包括多个第一电极21，所述第一电极21包括至少一个第一层叠单元211，所述第一层叠单元211包括层叠的第一金属单元2111和第一膜层单元2112，第一金属单元2111为铜电极单元、银电极单元、金电极单元或其他导电性好且满足产品对方阻要求的电极单元，其中，所述第一膜层单元2112位于所述第一金属单元2111背离所述柔性基板1的一侧，所述第一膜层单元2112为氮化物层，氮化物层为氮化铌层、氮化钛层或氮化铜层中的至少一层，当然也可以为其他可靠性好、低反射率的氮化物材料形成的膜层，且所述第一膜层单元2112具有第一颜色，所述第一颜色的纯净度小于第一预设值，以使得第一颜色为深色，如深灰、深蓝、黑色等纯净度较小的颜色，本实用新型对第一预设值不做具体限定，只要保证从触摸面不能看见金属电极即可。

此外，本实用新型实施例所提供的触摸屏还包括位于所述第一电极层2背离所述柔性基板1一侧的封装层，所述封装层背离所述第一电极层2一侧表面为所述触摸屏的触摸面。可选的，所述封装层为透明膜层。

优选地，所述第一电极21也可以选择金属网格电极。

需要说明的是，在上述实施例中，可靠性好指在高温、高湿等恶劣环境下，氮化物层同样可以正常使用。反射率低是为了降低所述第一电极的可视性，从而降低所述触摸屏触摸面的可视性

具体地，所述第一金属单元2111的厚度在30-40nm之间，所述第一膜层单元2112的厚度在30-40nm之间，既能降低生产成本，又能满足产品所需的柔性。当然本实施例并不作具体的限定，可以根据需要而定。

本实用新型实施例提供的触摸屏中，两种晶体结构不同的调制层(即所述第一金属单元2111和所述第一膜层单元2112)，交替生长成纳米多层膜，其中当第一金属单元2111作为模板时，第一膜层单元2112的最初几层原子按第一膜层单元2112的晶体结构生长，同理，当第一膜层单元2112作为模板时，第一金属单元2111的最初几层原子按第一金属单元2111的晶体结构生长，产生新的亚稳态结构，使得两调制层实现共格生长，从而使纳米多层膜硬度增大。随着纳米多层膜厚度增加，体系的体积自由能和共格应变能增大,体系的总能量增加，当纳米多层膜厚度超过一临界值后，亚稳态结构变为稳态结构，生长方式为稳态生长，膜层生长到共格结构至少被破坏，所述第一金属单元2111和所述第一膜层单元2112相互渗透，表界面数量增加使弹性模量增大，因此第一电极21的柔性增强，从而使得所述触摸屏的柔性增强。

另外，所述第一膜层单元2112具有第一颜色，所述第一颜色的纯净度小于第一预设值，从而在利用所述第一膜层单元2112的表面颜色作为所述触摸屏的触摸面颜色时，可以利用第一膜层单元2112的颜色对所述第一金属单元2111进行遮挡，避免所述触摸屏的触摸面出现金属电极可见现象。

需要说明的是，上述实施例是以所述第一电极21包括一个第一层叠单元211为例进行说明的，但本实用新型对此并不做限定，在本实用新型的其他实施例中，所述第一电极21还可以包括多个第一层叠单元211，所述第一电极21中包括的第一层叠单元211的数量越多，所述第一电极21的柔韧性越好，相应的，包括所述第一电极21的触摸屏的柔韧性越好。

参考图2和图3，图2为本实用新型实施例提供的触摸屏的第一电极的一种结构示意图，图3为触摸屏的第一电极中的第一膜层单元的一种构成结构示意图，作为一种具体实施方式，触摸屏的所述第一电极21包括两个第一层叠单元211或三个第一层叠单元211，其中第一膜层单元2112的组成结构及各组成结构的顺序相同，当第一膜层单元2112为单层膜层时，刻蚀比较容易，当第一膜层单元2112为两层或者三层膜层时，韧性会更好，无论是单层膜层还是多层膜层均不影响本实用新型中触摸屏的实现。

如图3所示，在本实用新型的一个实施例中，所述第一膜层单元2112包括第一组成膜层21121、第二组成膜层21122和第三组成膜层21123，可选的，所述第一组成膜层21121、第二组成膜层21122和第三组成膜层21123分别为氮化铌层、氮化钛层和氮化铜层。需要说明的是，本实施例中对第一膜层单元2112的构成并不做具体限定，第一膜层单元2112可以有多种构成形式，根据实际情况而定。

本实用新型实施例提供的触摸屏，既能满足触摸屏对柔性的需求，又能实现节约成本。

参考图4，图4为本实用新型所提供的另一种触摸屏的结构示意图，在上述实施例的基础上，所述第一电极21为所述触摸屏的自电容电极，所述触摸屏的触摸面具有所述第一颜色，触摸面具有第一颜色以保证所述触摸面无法见到触控电极，在所述第一电极层2背离所述柔性基板1的一侧安装有封装层5。

需要说明的是，由于满足偏暗色、导电性好并且可靠性好的金属很难找到，所以所述第一金属单元2111优选作为所述第一电极层2中下面的膜层，所述第一膜层单元2112作为所述第一电极层2中上面的膜层，即所述第一层叠单元211中，所述第一膜层单元2112位于所述第一金属单元2111背离所述柔性基板1的一侧。但本实用新型对此并不做限定，如果可以找到满足偏暗色、导电性好并且可靠性好的金属，所述第一金属单元2111也可以位于所述第一膜层单元2112背离所述柔性基板1的一侧。

本实用新型提供的触摸屏，为自电容触摸屏，所述第一金属单元2111和所述第一膜层单元2112相互作用，使得所述第一金属单元2111和所述第一膜层单元2112的共格结构被破坏，提高所述触摸屏的柔性；所述第一膜层单元2112具有第一颜色，所述第一颜色的纯净度小于第一预设值，从而在利用所述第一膜层单元2112的表面颜色作为所述触摸屏的触摸面颜色时，可以利用第一膜层单元2112的颜色对所述第一金属单元2111进行遮挡，避免所述触摸屏的触摸面出现金属电极可见现象。

参考图5，图5为本实用新型提供的又一种触摸屏结构示意图，在上述实施例的基础上，在本实用新型的一个实施例中，所述触摸屏还包括：

位于所述柔性基板1与所述第一电极层2之间的第三膜层单元6，所述第三膜层单元6为氮化物层，且所述第三膜层单元6具有第三颜色，所述第三颜色纯净度小于第三预设值，以使得第三颜色为深色，如深灰、深蓝、黑色等，第三预设值不做具体限定，只要保证从触摸屏的背面不能看见金属电极即可，在所述第一电极层2背离所述柔性基板1的一侧安装有封装层5。

本实用新型实施例提供的触摸屏，为自电容触摸屏，通过在所述柔性基板1与所述第一电极层2之间增加第三膜层单元6，实现了不仅从触摸屏的触摸面无法看见金属电极，而且在触摸屏的背面也无法看到金属电极。

参考图6和图7，图6为本实用新型提供的第四种触摸屏结构示意图，图7为本实用新型所提供的触摸屏的第二电极中的第二膜层单元的一种构成结构示意图，图6所示触摸屏在上述实施方式的基础上，还包括：

位于所述第一电极层背离所述柔性基板1一侧的绝缘层4；

位于所述绝缘层4背离所述第一电极层2一侧的第二电极层3，所述第二电极层3包括多个第二电极31，所述第二电极31包括至少一个第二层叠单元311，所述第二层叠单元311包括层叠的第二金属单元3111和第二膜层单元3112，第二金属单元3112为铜电极单元、银电极单元、金电极单元或其他导电性好且满足产品对方阻要求的电极单元，其中，所述第二膜层单元3112为氮化物层，且所述第二膜层单元3112具有第二颜色，所述第二颜色纯净度小于第二预设值；

所述第一电极层2和所述第二电极层3组成所述触摸屏的互电容电极，互电容电极具有两层电极，由于所述第二电极31位于所述第一电极21背离所述柔性基板1的一侧，即相较于所述第一电极21，所述第二电极31更靠近所述触摸屏的触摸面，因此，所述触摸屏的触摸面所呈现的颜色为所述第二电极31所呈现的颜色，即所述触摸屏的触摸面具有所述第二颜色，可选地，第二颜色为深色，如深灰、深蓝、黑色等纯净度较小的颜色，本实用新型对第二预设值不做具体限定，只要保证所述第二颜色为深色，从所述触摸屏的触摸面不能看见所述触摸屏中的触控电极即可，可选的，在所述第二电极层3背离所述柔性基板1的一侧安装有封装层5。

具体地，所述第二金属单元3111的厚度在30-40nm之间，所述第二膜层单元3112的厚度在30-40nm之间，既能降低生产成本，又能满足产品所需的柔性。当然本实施例并不作具体的限定，可以根据需要而定。

如图7所示，在本实用新型的一个实施例中，所述第二膜层单元包括第四组成膜层31121和第五组成膜层31122，可选的，第四组成膜层31121和第五组成膜层31122分别为氮化铌层、氮化钛层和氮化铜层中的任意两层。需要说明的是，本实施例中对第二膜层单元3112的构成并不做具体限定，第二膜层单元3112可以有多种构成形式，根据实际情况而定。

需要说明的是，上述实施例是以所述第二电极31包括一个第二层叠单元311为例进行说明的，但本实用新型对此并不做限定，在本实用新型的其他实施例中，所述第二电极31还可以包括多个第二层叠单元311，所述第二电极31中包括的第二层叠单元311的数量越多，所述第二电极31的柔韧性越好，相应的，包括所述第二电极31的触摸屏的柔韧性越好。

优选地，在本实用新型的一个实施例中，触摸屏的所述第二电极31包括两个第二层叠单元311或三个第二层叠单元311。但本实用新型对此并不做限定，具体视情况而定。

本实用新型所提供的触摸屏，为互电容触摸屏，所述第一金属单元2111和所述第一膜层单元2112相互作用，使得所述第一金属单元2111和所述第一膜层单元2112的共格结构被破坏，所述第二金属单元3111和所述第二膜层单元3112相互作用，使得所述第二金属单元3111和所述第二膜层单元3112的共格结构被破坏，两者共同提高所述触摸屏的柔性；所述第二膜层单元3112具有第二颜色，所述第二颜色的纯净度小于第二预设值，从而在利用所述第二膜层单元3112的表面颜色作为所述触摸屏的触摸面颜色时，可以利用第二膜层单元3112的颜色对所述第二金属单元3111进行遮挡，避免所述触摸屏的触摸面出现金属电极可见现象。

参考图8，图8为本实用新型提供的第五种触摸屏结构示意图，在上述实施例的基础上，在本实用新型的一个实施例中，所述触摸屏还包括：

位于所述柔性基板1与所述第一电极层2之间的第三膜层单元6，所述第三膜层单元6为氮化物层，且所述第三膜层单元6具有第三颜色，所述第三颜色纯净度小于第三预设值，第三颜色为深色，如深灰、深蓝、黑色等纯净度较小的颜色，第三预设值不做具体限定，只要保证从触摸屏的背面不能看见金属电极即可，在所述第二电极层3背离所述柔性基板1的一侧安装有封装层5。

本实用新型实施例提供的触摸屏，为互电容触摸屏，通过在所述柔性基板1与所述第一电极层2之间增加第三膜层单元6，实现了不仅从触摸屏的触摸面无法看见第二电极31，而且在触摸屏的背面也无法看到第一电极21和第二电极31。

参考图9，图9为本实用新型提供的第六种触摸屏结构示意图，在上述实施例的基础上，在本实用新型的一个实施例中，所述触摸屏还包括：

位于所述第二电极层3与所述绝缘层4之间的第四膜层单元7，所述第四膜层单元7为氮化物层，且所述第四膜层单元7具有第四颜色，所述第四颜色的纯净度小于第四预设值，第四颜色为深色，如深灰、深蓝、黑色等纯净度较小的颜色，第四预设值不做具体限定，只要保证从触摸屏的背面不能看见金属电极即可，在所述第二电极层3背离所述柔性基板1的一侧安装有封装层5。

本实用新型实施例提供的触摸屏，为互电容触摸屏，通过在第二电极层3与绝缘层4之间的第四膜层单元7，实现了不仅从触摸屏的触摸面无法看见第二电极31，而且在触摸屏的背面也无法看到第二电极31。

参考图10和图11，图10为本实用新型所提供的触摸屏具有显示功能时的一种结构示意图，本实用新型提供的触摸屏，在上述实施例的基础上，进一步包括：

位于所述柔性基板1与所述第一电极层2之间的显示模组8；

具体地，触摸屏在具有触控功能的基础上，采用内嵌式在所述柔性基板1和所述第一电极层2之间增加显示模组8，以增加显示功能，其中，显示模组8与触摸屏共用封装层5和柔性基板1，封装层5位于所述第一电极层2背离所述柔性基板1的一侧。

图11为本实用新型所提供的触摸屏具有显示功能时的另一种结构示意图，本实用新型提供的触摸屏，在上述实施例的基础上，进一步包括：

位于所述柔性基板1背离所述第一电极层2一侧的显示面板9；

具体地，采用外挂式在所述柔性基板1背离所述第一电极层2一侧增加显示面板9，同样给触摸屏增加显示功能。

本实用新型实施例提供的触摸屏，在触摸屏具有触控功能的基础上，采用两种不同的方式使触摸屏增加显示功能。

进一步地，在上述任一实施例中，第一电极层2中的膜层为利用磁控溅射工艺制作的膜层，形成的膜层致密度高。当然，也可以为沉积、刻蚀等能保证膜层致密度高的方式制作的膜层。

具体地，采用磁控溅射工艺镀膜时，形成第一电极层2中氮化物层2112的材料除了具有可靠性好、低反射的特点，还应具有致密性高的特点。磁控溅射工艺参数，真空度取值范围为10-3-10-4Pa，工艺气体为氩气，工艺气体流量为100sccm，功率取值范围为3-5Kw。

进一步地，在上述任一实施例中，在所述柔性基板1上成膜前，对所述柔性基板1进行等离子处理，以去除表面脏污；在所述柔性基板1上成膜后，对所有膜层统一进行黄光工艺，将整面覆盖的膜层制成电极图案，金属膜层与氮化物膜层均能与强氧化性酸发生反应，通过调整刻蚀液成分配比以满足不同膜层刻蚀参数不同的需要求。

综上所述，本实用新型实施例所提供的触摸屏，包括：柔性基板以及位于所述柔性基板第一表面的第一电极层，所述第一电极层多个第一电极，所述第一电极包括至少一个第一层叠单元，所述第一层叠单元包括层叠的第一金属单元和第一膜层单元，其中，所述第一膜层单元为氮化物层，以通过所述第一金属单元和所述第一膜层单元的相互作用，使得所述第一金属单元和所述第一膜层单元的共格结构被破坏，提高所述触摸屏的柔性。

而且，本实用新型所提供的触摸屏中，所述第一膜层单元具有第一颜色，所述第一颜色的纯净度小于第一预设值，从而在利用所述第一膜层单元的表面颜色作为所述触摸屏的触摸面颜色时，可以利用第一膜层单元的颜色对所述第一金属单元进行遮挡，避免所述触摸屏的触摸面出现金属电极可见现象。

本说明书中各个部分采用递进的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。