技术特征：
1.一种载片台平整度的调节方法，所述载片台包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物，其特征在于，所述调节方法包括：通过图像获取装置采集待承载物的第一分析图；在所述第一分析图中获取第一区域，所述第一区域为均匀性小于或等于预设阈值的区域；根据所述第一区域获取所述待承载物的操作区，所述第一区域为所述待承载物操作区的第一分析图；根据所述操作区获取目标支撑柱，所述目标支撑柱为支撑所述操作区的支撑柱；进行预调节处理，改变目标支撑柱和图像获取装置之间的距离；所述预调节处理之后，依据所述图像获取装置采集所述待承载物的第二分析图，所述待承载物操作区的第二分析图为第二区域；根据所述第一分析图至所述第二分析图的变化及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向。2.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，根据所述第一分析图至所述第二分析图的变化及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向包括：当第二区域的清晰度大于所述第一区域的清晰度时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载物之间距离的变化方向与预调节处理相同；当第二区域的清晰度小于所述第一区域的清晰度时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载物之间距离的变化方向与预调节处理相反；或者，当所述第二区域中的离焦区小于第一区域中的离焦区时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载台之间距离的变化方向与预调节处理相同；当所述第二区域中的离焦区大于第一区域中的离焦区时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载台之间距离的变化方向与预调节处理相反。3.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，通过图像获取装置采集待承载物的第一分析图的步骤包括：通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取承载物的第一图像，第一图像上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；获取所述第一图像的第一清晰度图像作为第一分析图，所述第一清晰度图像各点的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第一图像的清晰度；或，所述第一分析图为灰度图像，通过图像获取装置采集待承载物的第一分析图的步骤包括：通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取第一图像，将所述第一图像作为所述第一分析图，第一分析图上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；根据所述第一分析图至所述第二分析图的变化及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向的步骤包括：获取所述第一图像的第一清晰度图像，所述第一清晰度图像各点的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第一图像的清晰度；根据所述第一清晰度图像、第二分析图及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向。4.如权利要求3所述的调节方法，其特征在于，所述第一图像由多个像素组成；获取所述第一图像的第一清晰度图像的步骤包括：将所述第一图像划分为多个单元区域，各单元区域包括多个像素；根据梯度函数分别获取各单元区域的清晰度值，根据清晰度
值与各单元区域的对应关系得到所述第一清晰度图像。5.如权利要求4所述的调节方法，其特征在于，所述梯度函数包括：brenner梯度函数、tenengrad梯度函数、laplacian梯度函数、eav点锐度算法函数；所述单元区域为矩形区域，所述矩形区域的边长包括80～120个像素。6.如权利要求4所述的调节方法，其特征在于，所述第一区域为连续分布的多个单元区域所围成的区域，所述第二区域为连续分布的多个单元区域所围成的区域；所述第一区域的单元区域的均匀性小于或等于预设阈值；相邻所述单元区域之间的表征值之差的绝对值与相邻特征单元的比值大于预设阈值的单元区域；所述表征值为灰度值或清晰度值；所述预设阈值为25％～35％。7.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，所述预调节距离小于所述图像获取装置景深。8.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，预调节处理的步骤包括：使所述操作区的所述目标支撑柱向着靠近或远离所述图像获取装置的方向移动，或者，使所述图像获取装置向着靠近或远离所述操作区的所述目标支撑柱的方向移动；或者，使所述图像获取装置和所述目标支撑柱均向相互远离或靠近的方向移动。9.如权利要求2所述的调节方法，其特征在于，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载物之间距离的变化方向与预调节处理相同，包括：当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离减小时，所述目标支撑柱的调节方向为朝向所述图像获取装置；当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离增加时，所述目标支撑柱的调节方向为背离所述图像获取装置；目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载物之间距离的变化方向与预调节处理相反，包括：当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离减小时，所述目标支撑柱的调节方向为背离所述图像获取装置；当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离增加时，所述目标支撑柱的调节方向为朝向所述图像获取装置。10.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，所述目标支撑柱包括：被所述操作区覆盖的支撑柱以及与所述操作区边缘的距离小于预设距离的支撑柱作为目标支撑柱；所述预设距离大于等于零小于相邻支撑柱之间的距离。11.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，依据图像获取装置采集的所述待承载物的第二分析图获取第二区域的步骤包括：通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取承载物的第二图像，第二图像上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；获取所述第二图像的第二清晰度图像作为第二分析图，所述第二清晰度图像的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第二图像的清晰度；或所述第二分析图为灰度图像；通过图像获取装置获取待承载物的第二分析图的步骤包括：通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取第二图像，将所述第二图像作为所述第二分析图，第二分析图上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；根据所述第一分析图至所述第二分析图的变化及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向的步骤包括：获取所述第二图像的第二清晰度图像，所述第二清晰度图像各点的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第二图像的清晰度；根据所述第二清晰度图像、第一分析图及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向。
12.如权利要求1所述的调节方法，其特征在于，所述预调节处理之前，还包括：根据支撑柱的位置信息将所述载片台的所述支撑柱标记在所述第一分析图上，形成支撑柱标记；根据所述操作区获取目标支撑柱的步骤包括：根据所述第一分析图的操作区与支撑柱标记的相对位置关系，获取所述目标支撑柱。13.一种载片台平整度的调节装置，其特征在于，包括：载片台，包括多个支撑柱，所述支撑柱用于承载待承载物；图像获取装置，用于采集所述图像获取装置与待承载物的间距不同时所述待承载物的图像；处理单元，用于依据所述图像获取装置采集的所述待承载物的第一分析图，用于在所述第一分析图中获取第一区域，所述第一区域为均匀性小于或等于预设阈值的区域；用于根据所述第一区域获取所述待承载物的操作区，所述第一区域为所述待承载物操作区的第一分析图；用于根据所述第一区域获取所述待承载物的操作区，所述第一区域为所述待承载物操作区的第一分析图；用于根据所述操作区获取目标支撑柱；用于依据所述图像获取装置采集所述待承载物的第二分析图，所述待承载物操作区的第二分析图为第二区域；分析单元，用于根据所述第一分析图至所述第二分析图的变化及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向；调节单元，用于进行预调节处理，改变目标支撑柱和图像获取装置之间的距离；用于根据分析单元确定的调节方向调节所述目标支撑柱。14.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述分析单元，用于当第二区域的清晰度大于所述第一区域的清晰度时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载物之间距离的变化方向与预调节处理相同；当第二区域的清晰度小于所述第一区域的清晰度时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载物之间距离的变化方向与预调节处理相反；或者，所述分析单元，用于当所述第二区域中的离焦区小于第一区域中的离焦区时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载台之间距离的变化方向与预调节处理相同；当所述第二区域中的离焦区大于第一区域中的离焦区时，目标支撑柱的调节方向使图像获取装置与承载台之间距离的变化方向与预调节处理相反。15.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述处理单元，用于通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取承载物的第一图像，第一图像上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；获取所述第一图像的第一清晰度图像作为第一分析图，所述第一清晰度图像各点的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第一图像的清晰度；或，所述第一分析图为灰度图像，所述处理单元，用于通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取第一图像，将所述第一图像作为所述第一分析图，第一分析图上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；所述分析单元，用于获取所述第一图像的第一清晰度图像，所述第一清晰度图像各点的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第一图像的清晰度；用于根据所述第一清晰度图像、第二分析图及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向。16.如权利要求15所述的调节装置，其特征在于，所述第一图像由多个像素组成；
所述处理单元，用于将所述第一图像划分为多个单元区域，各单元区域包括多个像素；用于根据梯度函数分别获取各单元区域的清晰度值，用于根据清晰度值与各单元区域的对应关系得到所述第一清晰度图像。17.如权利要求16所述的调节装置，其特征在于，所述梯度函数包括：brenner梯度函数、tenengrad梯度函数、laplacian梯度函数、eav点锐度算法函数；所述单元区域为矩形区域，所述矩形区域的边长包括80～120个像素。18.如权利要求16所述的调节装置，其特征在于，所述第一区域为连续分布的多个单元区域所围成的区域，所述第二区域为连续分布的多个单元区域所围成的区域；所述第一区域的单元区域的均匀性小于或等于预设阈值；相邻所述单元区域之间的表征值之差的绝对值与相邻特征单元的比值大于预设阈值的单元区域；所述表征值为灰度值或清晰度值；所述预设阈值为25％～35％。19.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述调节单元进行预调节处理的距离小于所述图像获取装置的景深。20.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述调节单元，用于使所述操作区的所述目标支撑柱向着靠近或远离所述图像获取装置的方向移动，或者，使所述图像获取装置向着靠近或远离所述操作区的所述目标支撑柱的方向移动；或者，使所述图像获取装置和所述目标支撑柱均向相互远离或靠近的方向移动。21.如权利要求14所述的调节装置，其特征在于，所述分析单元确定的目标支撑柱的调节方向与所述调节单元的预调节处理的调节方向相同，包括：当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离减小时，所述目标支撑柱的调节方向为朝向所述图像获取装置；当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离增加时，所述目标支撑柱的调节方向为背离所述图像获取装置；所述分析单元确定的目标支撑柱的调节方向与所述调节单元的预调节处理的调节方向相反，包括：当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离减小时，所述目标支撑柱的调节方向为背离所述图像获取装置；当所述预调节处理使所述图像获取装置与承载台之间的距离增加时，所述目标支撑柱的调节方向为朝向所述图像获取装置。22.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述处理单元，用于通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取承载物的第二图像，第二图像上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；获取所述第二图像的第二清晰度图像作为第二分析图，所述第二清晰度图像的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第二图像的清晰度；或所述第二分析图为灰度图像；所述处理单元，用于通过图像获取装置获取待承载物的第二分析图的步骤包括：通过所述图像获取装置对所述承载物进行成像，获取第二图像，将所述第二图像作为所述第二分析图，第二分析图上各点灰度值表征承载物表面对应点返回的光强度；所述分析单元，用于获取所述第二图像的第二清晰度图像，所述第二清晰度图像各点的清晰度值表征承载物表面对应单元区的第二图像的清晰度；根据所述第二清晰度图像、第一分析图及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向。23.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述处理单元，用于根据支撑柱的位置信息将所述载片台的所述支撑柱标记在所述第一分析图上，形成支撑柱标记；
所述处理单元，用于根据所述第一分析图的操作区与支撑柱标记的相对位置关系，获取所述目标支撑柱。24.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述目标支撑柱包括：被所述操作区覆盖的支撑柱以及与所述操作区边缘的距离小于预设距离的支撑柱作为目标支撑柱；所述预设距离大于等于零小于相邻支撑柱之间的距离。25.如权利要求13所述的调节装置，其特征在于，所述调节单元包括：步进电机、驱动液压机构、驱动气压装置或者伺服电机。
技术总结
一种载片台平整度的调节方法及装置，载片台包括多个支撑柱，支撑柱用于承载待承载物，调平方法包括：根据第一区域，能够快速有针对性的锁定待承载物的操作区，通过预调节处理，改变目标支撑柱和图像获取装置之间的距离，使得待承载物表面处在图像获取装置的景深中的尺寸大小发生变化，预调节后，依据图像获取装置采集的待承载物的图像获取第二区域，根据第一分析图至第二分析图的变化及预调节处理的调节方向，确定目标支撑柱的调节方向，避免盲目地调节操作区对应的目标支撑柱，使得目标支撑柱的调节有章可循，提高了待承载物平面度的调节效率，且提高了待承载物平面度的调节准确性，更易获得更好的待承载物平面度。更易获得更好的待承载物平面度。更易获得更好的待承载物平面度。
技术研发人员：陈鲁 王天民 张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2022/7/18