1.一种晶圆图配置数据的修正方法，其特征在于，所述修正方法包括：
2.根据权利要求1所述的修正方法，其特征在于，针对于所述历史晶圆圆心位置，所述基于所述历史芯片测试数据集合下的历史芯片在横轴方向上的最大横坐标值、最小横坐标值、在纵轴方向上的最大纵坐标值以及最小纵坐标值，确定出所述历史晶圆的历史晶圆图配置数据，包括：
3.根据权利要求2所述的修正方法，其特征在于，所述基于所述最大横坐标值、所述最小横坐标值、所述最大纵坐标值以及所述最小纵坐标值，确定出所述历史芯片测试数据集合的历史高度刻度值以及历史宽度刻度值，包括：
4.根据权利要求2所述的修正方法，其特征在于，所述基于所述历史高度刻度值、所述历史宽度刻度值、所述最大横坐标值、所述最小横坐标值、所述最大纵坐标值以及所述最小纵坐标值，确定出所述历史晶圆图配置数据之中的所述历史晶圆圆心位置，包括：
5.根据权利要求1所述的修正方法，其特征在于，针对于所述历史晶圆半径，所述基于所述历史芯片测试数据集合下的历史芯片在横轴方向上的最大横坐标值、最小横坐标值、在纵轴方向上的最大纵坐标值以及最小纵坐标值，确定出所述历史晶圆的历史晶圆图配置数据，包括：
6.根据权利要求1所述的修正方法，其特征在于，所述历史晶圆图配置数据还包括历史槽口方向，通过以下步骤确定出所述历史槽口方向：
7.根据权利要求1所述的修正方法，其特征在于，所述基于所述目标晶圆图配置数据对所述历史晶圆图配置数据进行修正，包括：
8.一种晶圆图配置数据的修正装置，其特征在于，所述修正装置包括：
9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过所述总线进行通信，所述机器可读指令被所述处理器运行时执行如权利要求1至7任一所述的晶圆图配置数据的修正方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至7任一所述的晶圆图配置数据的修正方法的步骤。