布局设计系统、布局设计方法及利用其制造的半导体装置的制造方法
【专利说明】布局设计系统、布局设计方法及利用其制造的半导体装置
[0001]本申请要求于2013年11月18日提交到韩国知识产权局的第10_2013_0139844号韩国专利申请的优先权以及由其产生的全部权益，该韩国专利申请的内容通过引用全部包含于此。
技术领域
[0002]根据本发明构思的原理的示例性实施例涉及一种布局设计系统、一种布局设计方法以及一种利用其制造的半导体装置。
【背景技术】
[0003]许多年来，电子装置已经以更紧凑的封装的形式提供了改善了的性能和集成度，并且这种趋势持续至今。持续地需要解决集成度、性能和小型化的需求的方法和设备。
【发明内容】
[0004]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种布局设计系统包括:处理器；存储单元，被配置为存储具有第一面积的第一单元设计，其中，在第一单元设计中，在第一单元设计的边界上未布置端子；以及设计模块，被配置为通过使用处理器在第一单元设计的边界上布置端子来产生具有大于第一面积的第二面积的第二单元设计。
[0005]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一单元设计包括元级设计或宏级设计，第二单元设计包括块级设计或芯片级设计。
[0006]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，端子包括虚设栅极和虚设有源鳍中的至少一种。
[0007]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，端子包括具有虚设栅极的第一端子和具有虚设有源鳍的第二端子，第一端子被布置为沿着第一单元设计的边界在第一方向上延伸，第二端子被布置为沿着第一单元设计的边界在与第一方向交叉的第二方向上延伸。
[0008]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一端子包括多个虚设栅极，第二端子包括多个虚设有源鳍。
[0009]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，设计模块包括:布局模块，被配置为将第一单元设计布置在第二单元设计的界限内；边线设置模块，被配置为在布置的第一单元设计的边界上设置边线；端子产生模块，被配置为在设置的边线内产生端子。
[0010]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，边线限定环形区域。
[0011 ] 在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，设计模块存储在所述存储单元中，或者存储在与所述存储单元分开的另一存储单元中。
[0012]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一单元设计包括逆变器设计，第二单元设计包括逻辑块设计。
[0013]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一单元设计包括存储元设计，第二单元设计包括存储元阵列设计。
[0014]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种布局设计系统中的布局设计方法，所述布局设计系统通过使用处理器和存储单元接收多个第一单元设计来产生具有比所述多个第一单元设计的面积大的面积的第二单元设计，该布局设计方法包括下述步骤:接收所述多个第一单元设计；布置所述多个第一单元设计；通过在所述多个第一单元设计的边界上产生第一端子来产生第二单元设计。
[0015]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一端子未被布置在每个第一单元设计的边界上。
[0016]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一端子包括虚设栅极和虚设有源鳍中的至少一种。
[0017]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，与第一端子不同的第二端子被布置在每个第一单元设计的边界上。
[0018]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，布置所述多个第一单元设计的步骤包括布置所述多个第一单元设计而不用考虑第二端子部分的至少一部分。
[0019]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，所述布局设计方法包括在布置所述多个第一单元设计之后，限定环形区域，其中，在限定环形区域的步骤中，使用第二端子的至少一部分作为环形区域。
[0020]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一单元设计包括逆变器设计，第二单元设计包括逻辑块设计。
[0021]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一单元设计包括存储元设计，第二单元设计包括存储元阵列设计。
[0022]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种计算机可读记录介质具有能够执行存储在其中的根据发明构思的原理的布局设计方法的软件。
[0023]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种半导体装置包括第一存储元以及被布置成与第一存储元相邻的第二存储元，其中，第一存储元和第二存储元中的每个包括沿第一方向延伸的有源鳍以及沿与第一方向交叉的第二方向延伸并形成在有源鳍上的栅极，虚设有源鳍和虚设栅极中的至少一个形成在第一存储元的使第一存储元不与第二存储元相邻的一侧，虚设有源鳍和虚设栅极未形成在第一存储元的使第一存储元与第二存储元相邻的另一侧。
[0024]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一存储元和第二存储元包括静态随机存取存储器(SRAM)元。
[0025]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，虚设栅极包括平行于第二方向延伸的多个虚设栅极，多个虚设栅极中的任意一个的宽度与另一宽度不同。
[0026]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，虚设有源鳍包括平行于第一方向延伸的多个虚设有源鳍。
[0027]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种半导体装置包括应用处理器和DRAM，其中，第一存储元和第二存储元被布置在应用处理器中。
[0028]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种半导体装置包括多个第一单元设计以及通过在第一单元设计的边界上形成端子来产生的第二单元设计。
[0029]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，端子是虚设栅极或虚设有源鳍。
[0030]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，第一单元设计包括逆变器。
[0031]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种电子装置包括半导体装置，所述半导体装置包括多个第一单元设计以及通过在第一单元设计的边界上形成端子来产生的第二单元设计。
[0032]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种电子系统包括半导体装置，所述半导体装置包括多个第一单元设计以及通过在第一单元设计的边界上形成端子来产生的第二单元设计。
[0033]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种智能电话包括半导体装置，所述半导体装置包括多个第一单元设计以及通过在第一单元设计的边界上形成端子来产生的第二单元设计。
[0034]在根据本发明构思的原理的示例性实施例中，一种芯片上系统(SoC)包括半导体装置，所述半导体装置包括多个第一单元设计以及通过在第一单元设计的边界上形成端子来产生的第二单元设计。
【附图说明】
[0035]通过参照附图详细地描述本发明的实施例，本发明的上述和其它特征与优点将变得更加清楚，在附图中:
[0036]图1是根据本发明的一些实施例的布局设计系统的框图；
[0037]图2是示出根据本发明的一些实施例的布局设计方法的流程图；
[0038]图3至图9是用于描述图2中示出的布局设计方法的图；
[0039]图10至图16是用于描述图2中示出的布局设计方法的效果的图；
[0040]图17A是示出根据本发明的一些实施例的布局设计方法的流程图；
[0041]图17B是通过根据本发明的一些实施例的布局设计方法来布置第一单元设计的示例性图；
[0042]图18A是包括根据本发明构思的原理的半导体装置的SoC系统的框图；
[0043]图18B是示出图18A的中央处理单元的示意性配置的框图；
[0044]图19是示出图18A的半导体装置被封装的状态的图；
[0045]图20是包括根据本发明构思的原理的半导体装置的电子系统的框图；
[0046]图21至图23是能够采用根据本发明的一些实施例的半导体装置的示例性半导体系统。
【具体实施方式】
[0047]将在下文中参照附图更充分地描述各种示例性实施例，在附图中示出了示例性实施例。然而，示例性实施例可以以许多不同的形式实施，而不应被解释为局限于在这里阐述的示例性实施例。相反，提供这些示例性实施例，使得本公开将是彻底的，并将把示例性实施例的范围传达给本领域技术人员。在附图中，为了清楚起见，可以夸大层和区域的尺寸和相对尺寸。
[0048]将理解的是，当元件或层被称作“在”另一元件或层“上”或者“连接到”或“结合至IJ”另一元件或层时，该元件或层可以直接在所述另一元件或层上或者直接连接到或直接结合到所述另一元件或层，或者可以存在中间元件或中间层。相反，当元件被称作“直接在”另一元件或层“上”或者“直接连接到”或“直接结合到”另一元件或层时，不存在中间元件或中间层。同样的标号始终表示同样的元件。如在这里使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项的任意组合和全部组合。除非另外指出，否则以包含性的意义来使用术语“或”。
[0049]将理解的是，虽然在这里可以使用例如第一、第二、第三术语来描述不同的元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、组件、区域、层或部分与另一元件、组件、区域、层或部分区分开。按照这种方式，在不脱离示例性实施例的教导的情况下，下面讨论的第一元件、组件、区域、层或部分可以被命名为第二元件、组件、区域、层或部分。
[0050]为了方便描述，在这里可使用空间相对术语，如“在…之下”、“在…下方”、“下面的”、“在…上方”、“上面的”等，来描述在图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应该理解的是，空间相对术语意在包含除了在附图中描述的方位之外的装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则描述为“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件随后将被定位为“在”所述其它元件或特征“上方”。按这种方式，示例性术语“在…下方”可包括“在…上方”和“在…下方”两种方位。所述装置可被另外定位(旋转90度或者在其它方位)，并对在这里使用的空间相对描述符做出相应的解释。
[0051]这里使用的术语仅出于描述特定示例性实施例的目的，而不意图成为示例性实施例的限制。如这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式“一个(种)”和“该(所述)”也意图包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，说明存在所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除存在或附加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它