触控屏的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种触控屏的制造方法，特别涉及一种具有单层氧化铟锡膜的触控屏 的制造方法。
【背景技术】
[0002] 触控屏的应用非常广泛，而具有单层氧化铟锡（Single Indium Tin Oxide，SIT0) 结构的触控屏因其厚度薄、制造成本较低，具有更广阔的应用前景。SITO触控屏通常包括一 个基板、形成于基板上的氧化铟锡膜，所述氧化铟锡膜经由蚀刻等方法形成大致呈矩阵排 列的多个第一电极和多个第二电极。多个第二电极和多个第一电极间隔设置。在第一方向 上同一列的多个第一电极之间电性连接。多个第二电极之间是绝缘的，为了在与第一方向 交叉的第二方向上使得同一列的多个第二电极之间电性连接，通常在交叉点处采用金属搭 桥（bridge)的方式形成金属导线以电性连接相邻的第二电极，如采用银、铜等金属导线进 行金属搭桥连接。
[0003] 由于金属导线在可见光波段的反射率较高，导致强光下目视明显，所以需将金属 导线的宽度控制在l〇um以下。Bridge金属导线一般利用黄光微影（lithography)制程蚀 刻形成，然而黄光微影制程工序较为繁琐；或通过气溶胶喷印（Aerosol jet)形成，然而气 溶胶喷印速度较为缓慢，导致加工效率较低。
【发明内容】
[0004] 鉴于上述状况，有必要提供一种制程较为简单且加工效率较高的触控屏的制造方 法。
[0005] -种触控屏的制造方法，其包括以下步骤：在基板上形成氧化铟锡膜；蚀刻氧化 铟锡膜以形成呈矩阵排列且相互绝缘的多个第一电极及多个第二电极，多个第一电极与多 个第二电极按列交替排列，沿第一方向排列的同一行第一电极之间相互电性连接，沿与该 第一方向交叉的第二方向排列的同一列的第二电极相互间隔；在氧化铟锡膜上形成多个绝 缘片，每个绝缘片覆盖沿第一方向排列的同一行的相邻的两个第一电极的角部及沿第二方 向排列的同一列的相邻的两个第二电极的角部；采用喷墨印刷方法于相应的绝缘片上形成 连接导线，以电性连接沿第二方向排列的同一列的第二电极；采用激光加工方法将连接导 线的宽度消减缩小至l〇um以内。
[0006] 本发明的触控屏的制造方法，利用喷墨技术及激光加工搭配形成连接导线，使连 接导线的宽度控制在l〇um以下，简化了加工制程；且利用喷墨技术喷墨初步形成连接导 线，提高了加工效率。
【附图说明】
[0007] 图1为本发明实施方式的触控屏的俯视图。
[0008] 图2为图1中II处的放大图。
[0009] 图3为沿图2中III-III线的放大剖视图。
[0010] 图4-图8为图2中II处的触控屏的制造过程示意图，其中图4-图6为剖视图， 图7-图8为俯视图，且图7为图6所示触控屏的俯视图。
[0011] 图9为本发明实施方式的触控屏的制造流程图。
[0012] 主要元件符号说明
【主权项】
1. 一种触控屏的制造方法，其包括以下步骤： 在基板上形成氧化铟锡膜； 蚀刻该氧化铟锡膜以形成呈矩阵排列且相互绝缘的多个第一电极及多个第二电极，多 个第一电极与多个第二电极按列交替排列，沿第一方向排列的同一行第一电极之间相互电 性连接，沿与该第一方向交叉的第二方向排列的同一列的第二电极相互间隔； 在氧化铟锡膜上形成多个绝缘片，每个绝缘片覆盖沿第一方向排列的同一行的相邻的 两个第一电极的角部及沿第二方向排列的同一列的相邻的两个第二电极的角部； 采用喷墨印刷方法于相应的绝缘片上形成连接导线，以电性连接沿第二方向排列的同 一列的第二电极； 采用激光加工方法将连接导线的宽度消减缩小至IOum以内。
2. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：在喷墨印刷形成连接导线时， 印刷后的连接导线的宽度为30unT50um。
3. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：在采用激光加工方法减小连 接导线的宽度时，采用的激光为连续激光。
4. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：在采用激光加工方法减小连 接导线的宽度时，采用的激光为脉冲激光。
5. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：在采用激光加工方法减小连 接导线的宽度时，采用的激光的波长为l〇64nm。
6. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：在形成氧化铟锡膜、形成绝缘 片及形成连接导线的各个步骤后均包含一固化步骤，以固化相应的氧化铟锡膜、绝缘片及 连接导线。
7. 如权利要求6所述的触控屏的制造方法，其特征在于：固化步骤采用的固化方法为 高温固化、室温固化及UV固化中的一种。
8. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：采用喷墨印刷方法形成该连 接导线时,采用的墨水为纳米银墨水、纳米金墨水及纳米铜墨水中的一种。
9. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：在基板上形成该氧化铟锡膜 的方法为溅射镀膜方法。
10. 如权利要求1所述的触控屏的制造方法，其特征在于：形成该绝缘片的方法为喷墨 印刷方法。
【专利摘要】一种触控屏的制造方法，其包括以下步骤：在基板上形成氧化铟锡膜；蚀刻氧化铟锡膜以形成呈矩阵排列且相互绝缘的多个第一电极及多个第二电极，多个第一电极与多个第二电极按列交替排列，沿第一方向排列的同一行第一电极之间相互电性连接，沿与第一方向交叉的第二方向排列的同一列的第二电极相互间隔；在氧化铟锡膜上形成多个绝缘片，每个绝缘片覆盖同一行的相邻的两个第一电极的角部及同一列的相邻的两个第二电极的角部；采用喷墨印刷方法于相应的绝缘片上形成连接导线，以电性连接沿第二方向排列的同一列的第二电极；采用激光加工方法将连接导线的宽度消减缩小至10um以内。该制造方法制程简单且加工效率较高。
【IPC分类】G06F3-041
【公开号】CN104750279
【申请号】CN201310726870
【发明人】赵天行, 吴景扬, 宋斯伟, 魏清河
【申请人】鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月26日