专利名称：用于局部探头数据存储设备的数据检测的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于局部探头存储设备中的数据检测的方法和装置。
局部探头存储设备的一个例子在“‘百足虫’-用于将来AFM数据存储器的一千个以上尖端(The“Millipede”-More than one thousand tipsfor future AFM data storage)”，P.Vettiger等人，IBM研发期刊(IBMJournal of Research and Development)，Vol.44 No.3，2000年5月。百足虫设备包括热阻传感器探头阵列。该阵列可以用于在诸如表面可视化和数据存储的应用中检测表面地形。在数据存储应用中，记录在表面地形中的数据可以通过在表面上移动热阻传感器并且检测传感器与表面之间的距离变化时的传感器与表面之间的热传导变化来读取。如前述Vettiger等人的参考文献所述，百足虫设备包括在硅衬底上装配的二维悬臂传感器阵列。各悬臂在其一端连至衬底。各悬臂的另一端具有电阻加热元件以及朝外面对的尖端。各悬臂通过行和列导线是可寻址的。行和列导线允许电流选择性地通过各悬臂以加热其上的加热元件。在读取和写入操作中，阵列尖端使得与由承载在平面衬底上的聚合物膜存储表面构成的存储介质接触，并且相对于其进行移动。
通过组合通过各尖端将局部力施加于薄膜以及通过相应行和列导线施加数据信号来选择性地加热各尖端至足以使薄膜局部变形的级别，使得在其上留下凹痕或凹坑，将数据写入到存储介质上。
各加热元件还提供热回读传感器，因为它具有依赖于温度的电阻。对于数据读取操作，将加热信号顺序施加于阵列中的各行。加热信号对所选行中的所有加热元件进行加热，但此时只是到达不足以使薄膜变形的温度。加热元件与表面之间的热传导根据加热元件与表面之间的距离而变化。当阵列在表面上扫描时尖端移入凹坑的情况下，相关加热元件与存储介质之间的距离减小。加热元件与表面之间的介质在加热元件与存储表面之间传热。当相关尖端移入凹坑时，各加热元件与表面之间的热传输变得更高效。加热元件的温度及其电阻因此减小。可以并行监测连续加热的各行加热元件的温度变化，从而有助于检测记录比特。与该检测相关联的一个问题是从加热元件接收的信号可能包含无用的偏置(offset)。与该检测相关联的另一个问题是从加热元件接收的信号可能包含噪声分量。从加热元件接收的信号的这些无用特征会干扰比特恢复。因此，最好提供减轻这些问题的检测方法和装置。
根据本发明，现在提供用于在局部探头数据存储设备中检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据的装置，该装置包括差分器(differentiator)，用于从传感器信号的后一值中减去传感器信号的值，以产生三值(ternary)差信号；以及转换器，连接到差分器，用于将差信号转换成表示检测数据的二值(binary)输出信号。这就有利地防止传感器信号中的偏置干扰数据恢复。差分器有效地担当高通滤波器。
低通滤波器可以连接到差分器，用于在传感器信号到达差分器之前对传感器信号进行滤波。这就有利地从对差分器的输入中消除无用高频噪声分量。
在本发明的具体优选实施例中，一减法器连接到低通滤波器，用于在传感器信号到达低通滤波器之前，从传感器信号中减去由基准传感器产生的基准信号。这就有利地减小对低通滤波器输入的动态范围要求。
在简单性方面是特别优选的本发明一个实施例中，差分器包括存储器，用于存储要从传感器信号的后一值中减去的传感器信号的值；以及减法器，连接到存储器，用于从后一值中减去存储在存储器中的传感器信号的值，以产生三值差信号。为了进一步获得简单性，减法器最好包括反相器，用于反相存储在存储器中的传感器信号的值以产生反相值；以及加法器，连接到反相器，用于将反相值加到传感器信号的后一值以产生三值差信号。
转换器最好将三值差信号的极值(extremities)转换成二值输出信号的第一值，并且将三值差信号的中间值转换成二值输出信号的第二值。再次，为了获得简单性，转换器最好包括积分器，用于产生其斜度依赖于三值差信号采样值的斜坡(ramp)；以及计数器，连接到积分器，用于根据斜坡到达预设阈值电平所花的时间来确定二值输出。
应该理解，本发明扩展到一种局部探头数据存储设备，它包括存储表面；读取传感器，可以在平行于存储表面的平面中相对于存储表面移动，用于根据以表面地形特征的形式存储在表面中的数据来产生传感器信号；以及如前所述的一装置，连接到传感器，用于当读取传感器相对于存储表面移动时检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据。
本发明还扩展到一种局部探头数据存储设备，它包括读取传感器，可以在平行于存储表面的平面中相对于存储表面移动，用于根据以表面地形特征的形式存储在表面中的数据来产生传感器信号；基准传感器，用于根据表面中的基准点来产生基准信号；以及如从属于权利要求3的任一项权利要求所述的一装置，连接到读取传感器和基准传感器，用于当读取传感器相对于存储表面移动时检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据。
最好，实施本发明的局部探头存储设备还包括一预编码器，用于对要写入到存储表面上的数据进行预编码，该预编码器包括一异或门，根据所要记录的比特值和与输入比特流的前一比特相对应的异或门输出值而具有对于要记录到存储表面上的输入比特流的各比特所确定的输出。
从另一方面来看本发明，现在提供一种用于在局部探头数据存储设备中检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据，该方法包括使用差分器从传感器信号的后一值中减去传感器信号的值，以产生三值差信号；以及使用连接到差分器的转换器，将差信号转换成表示检测数据的二值输出信号。
现在参照附图仅作为示例来描述本发明的优选实施例，其中
图1是局部探头数据存储设备的示例简化平面图；图2是设备的传感器的简化电路图；图3是传感器的诺顿(Norton)等效电路；图4是用于传感器的检测通道(detection channel)的示例方框图；图5是用于检测通道的低通滤波器的简化方框图；图6是用于检测通道的高通滤波器的简化方框图7是用于检测通道的模数转换器的方框图；图8是检测通道的详细方框图；图9是检测通道的变型的详细方框图；图10是采用预编码的检测通道的方框图；图11是用于图10的检测通道的预编码器的方框图；图12是用于设备的传感器电路的简化电路图；图13是用于设备的另一传感器电路的简化电路图；图14是图13传感器电路的预放大器的输入特性图；图15是采用CMOS实现的预放大器的示例电路图；图16是采用CMOS实现的低通滤波器的示例电路图；图17是采用CMOS实现的低通滤波器的另一示例电路图；图18是低通滤波器的另一示例方框图；图19是高通滤波器的另一示例方框图；图20是采用CMOS实现的高通滤波器的存储器级和反相器的电路图；图21是模数转换器的示例方框图；图22是图21所示的模数转换器的实现方框图；图23是模数转换器的另一实现方框图；图24是检测通道的示例方框图；图25是检测通道的另一示例方框图；图26是检测通道的示例电路图。
首先参照图1，局部探头数据存储设备的一个例子包括安置在硅衬底上的悬臂传感器10的二维阵列。行导线30和列导线40也安置在衬底上。各传感器10通过行导线30和列导线40的不同组合来寻址。对于传感器10的各列，存在一对列导线与之关联，并且对于传感器10的各行，存在一根行导线与之关联。各传感器10包括长度在70微米左右且厚度在微米级的硅悬臂结构。悬臂的臂在其末梢端固定到衬底。悬臂顶点在衬底的法线方向上具有一定的移动自由度。悬臂在其顶点具有一电阻加热元件以及一面向远离衬底方向的硅尖端。悬臂的臂被高度掺杂，以提供电流传导路径。加热元件通过对悬臂顶点搀杂至较小程度来形成，从而引入一电阻增大区域来使电流流过悬臂。通过悬臂的电流路径在相关行导线和相关列导线之间延伸。列导线之一通过中间二极管D连接到悬臂。具体地说，二极管D的阴极连接到列导线。另一列导线通过驱动电路60连接到悬臂。二极管D的阳极和驱动电路60的输入端通过加热元件连接到相应行导线。行导线30、列导线40、二极管D和驱动器60也安置在衬底上。悬臂被预加应力以使尖端弹性地偏离衬底。
工作时，驱使尖端靠向聚合物层形式的平面存储介质70，诸如厚度在40nm左右的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜。聚合物层由硅衬底承载。
通过组合经由尖端施加局部力于聚合物层70以及通过悬臂将写入电流从相应行导线30传到相应列导线40来加热尖端，将数据写入到存储介质上。电流通过悬臂导致加热元件发热。热能通过热传导从加热元件传入尖端。写入电流选成将尖端加热至足以使聚合物层70局部变形的级别，以在其中留下直径在40nm左右的凹坑20。作为示例，已经发现，PMMA膜的局部变形可以通过将尖端加热至约700摄氏度的温度。
加热元件还提供热回读传感器，因为它具有依赖于温度的电阻。对于数据读取操作，通过悬臂使加热电流从相应行导线30通到相应列导线40。因此，加热元件再次被加热，但此时只是到达不足以使聚合物层70变形的温度。例如，约400摄氏度的读取温度不足以使PMMA膜变形，但是提供可接受的读取性能。加热元件与聚合物层70之间的热传导根据加热元件与聚合物层70之间的距离而变化。当阵列在聚合物层上扫描时尖端移入凹坑20的情况下，加热元件与聚合物层70之间的距离减小。加热元件与聚合物层之间的介质在加热元件与聚合物层之间传热。当尖端移入凹坑20时，加热元件与聚合物层之间的热传输更高效。加热元件的温度减小，从而其电阻也随之减小。可以监测连续加热的加热元件的温度变化，从而有助于检测记录比特。
前述加热电流是通过将加热电压脉冲施加于相应行导线30而产生的。因此，加热电流流经连接到被施加加热电压脉冲的行导线30的各传感器10。因此对阵列相应行中的所有加热元件都进行加热。然后，从加热传感器行中并行读出记录数据。因此，根据复用方案顺序读取阵列各行。
阵列可以在平行于聚合物层70的平面70中相对于聚合物层移动，从而使各尖端可以在聚合物层70的相应场(field)80上扫描。各场80可以容纳多个凹坑20。在读取和写入操作中，阵列尖端均在存储介质70的表面上移动。
参照图2，在本发明的一个优选实施例中，读取/写入电流从通过相应传感器中的加热元件被施加电压VS的行导线30经由二极管D流至施加于相关列导线的较低电压电平。参照图3，该方案近似于电流源I’与代表加热元件的可变电阻VR串联。加热元件将携带存储信息的物理值变换成电信号。可变电阻VR的值依赖于尖端处的温度。如前所述，在读取操作期间，当尖端从凹坑场所(值“1”)移到无凹坑场所(值“0”)时，尖端到达不同的温度。用于该系统的检测电路检测依赖于加热元件电阻值的电压，并且判定在尖端位置所写入的是“1”还是“0”。“1”产生典型具有ΔR/R＝10-4数量级的相对电阻变化。检测是否存在凹坑的一个重要问题是适于提取包含表示比特是“1”还是“0”的信息的信号的较大分辨率。该检测由于存在各种偏置如因制造容限产生的偏置而复杂化。由于模数转换的精度要求较高以及与出现在系统中的偏置相关联的不确定性，传统阈值检测方法是不适合的。
在本发明的一个优选实施例中，提供一种用于如前所述的热机械传感器阵列的鲁棒(robust)检测方案。该方案工作于模拟域中。系统中的偏置通过采用马上将要描述的三电平判决元件(three level decisionelement)来排除。三电平判决元件避免对显现较宽动态范围的信号进行前述处理。另外，可以采用预编码方案来在不招致速率损失的情况下避免三电平判决元件之后的错误传播。从下面详细描述中可以明白，实施本发明的检测方案适用于电流驱动和电压驱动热机械传感器系统。
现在参照图4，实施本发明的检测子系统的一个例子包括串联的低通滤波器100和高通滤波器110。模数转换器(ADC)120可以通过采样保持开关130连接到高通滤波器110的输出。工作时，低通滤波器100限制从与之相连的传感器输入的信号中的高频噪声带宽。参照图5，低通滤波器100由一个积分器构成，其中，该积分器具有带有由电容Cf构成的反馈路径的虚接地放大器140以及输入电阻Rs。应该理解，该低通滤波器100具有1/s的传递函数，其中，s是拉普拉斯算子。参照图6，高通滤波器由一个具有延迟级150和求和块160的差分器级构成。由延迟级150施加的延迟T设成对存储在存储介质上的比特进行两次连续判决之间的间隔。该间隔对应于传感器从可以写入一个凹坑或无凹坑的一个场所移到下一个场所所需的时间。因此，求和块160相加与两次连续比特读取操作相对应的来自低通滤波器100的输出。应该理解，该高通滤波器110具有1-e-sT的传递函数。工作时，高通滤波器消除偏置和低频噪声。低通滤波器100和高通滤波器110级联在一起在ADC 120的输入端产生三电平信号。参照图7，ADC 120由三电平判决元件170构成。
参照图8，用于如前面参照图3所述的恒流源传感器方案的实施本发明的检测通道的一个优选例子包括前面参照图5所述的低通滤波器100、前面参照图6所述的高通滤波器、开关130以及前面参照图7所述的ADC 170。
参照图9，在前面参照图8所述的本发明实施例的变型中，输入到低通滤波器100的信号的动态范围减小。该减小是通过采用来自基准传感器的输出来实现的，在图9中，该基准传感器以由电流源I”和可变电阻VR’构成的诺顿等效电路表示。由求差块180从当前传感器输出中减轻来自基准传感器的输出。因为高通滤波器110消除了可能存在于低通滤波器100的输出端的任何偏置，所以不要求精确的基准信号。两次连续读取间隔上的基准信号差异相对于来自求差块180的输出的差信号足以忽略不计。基准信号例如可以从读取其中所有比特全为“0”的专用场的传感器中获得。
前面参照图8和9所述的检测通道是所谓离散时间1-D通道的例子，其中，D是延迟。具有二值输入符号序列的离散时间1-D通道的输出端的逐符号检测存在多个缺点。在存在噪声的情况下，与错误传播一起会遭受2到3dB的性能损失。性能损失依赖于噪声频谱特性。该损失可以通过输入序列的最大似然检测来至少部分克服。然而，最大似然检测需要较高复杂性。参照图10，在本发明的一个优选实施例中，采用预编码器200来对要记录在存储介质70上的信息比特序列进行预编码。预编码消除错误传播。ADC 120包括组合逻辑210，用于使高通滤波器110输出端的“+1”或“-1”等同于通道输出端的“1”并且使高通滤波器110输出端的“0”等同于通道输出端的“0”。一般而言，对于1-Dk预编码，采用1/(1Dk)预编码器，其中，表示模2相加。参照图11，预编码器200包括具有延迟T的延迟级220以及求和级230。工作时，所要预编码的信息比特输入到求和级，并且与前一信息比特所对应的来自求和级230的输出进行求和。来自求和级的输出通过延迟级220反馈到求和级。
参照图12，在本发明的一个优选实施例中，传感器如前所述在电流模式下工作。换句话说，各传感器包括驱动读出电阻(sense resistor)VR并且通过电压输出器300在输出端提供电压信号的电流源I’。一定范围的标准电压模式电路可以提供该信号的准确检测。然而，传统电压模式电路存在多个缺点。具体地说，这些电路典型地需要较大芯片面积并且在较低供应电压显现较低性能。这些问题在图13所示的读出电路(sensecircuit)中得到减轻。在图13中，读出电路适于电流模式检测电路模数阵列架构(ad array architecture)。具体地说，图13的电路包括读出电阻VR期间的电压源V’以及具有如图14所示的输入特性的限幅预放大器310。预放大器310限制传感器电路中的功耗，并且将传感器信号传输到随后的检测电路。现在参照图15，预放大器310的简单CMOS实现包括3个晶体管T1、T2和T3。
用于电压工作模式的积分器采用无源积分器或有源积分器。图16示出包括晶体管T4、电容C1和开关S1的采用CMOS实现的无源积分器的一个例子。图18示出包括虚接地放大器320、电容C3和开关S3的有源积分器电路的一个例子。图17示出包括晶体管T5、电容C2和开关S2的用于电流工作模式的积分器电路的CMOS实现。图17所示的积分器是跨积分器(transintegrator)电路。一般而言，低通滤波器100可以采用多种方法中的任一种来实现，包括RC滤波器、MOSFET滤波器、跨导-C(gm-C、OTA-C)滤波器、开关电容滤波器以及电流开关滤波器。在前面参照图16、17和18所述的电路中，各开关S1、S2和S3允许周期性地复位相应积分器。这些积分器的复位马上将要进行详述。
如前所述，高通滤波器110的差分器电路从当前信号值中减去前一信号值以近似信息信号的导数。现在参照图19，在本发明的一个优选实施例中，高通滤波器110包括存储元件400，它具有连接到反相器门410的输出。反相器门410的输出与存储元件400的输入连接到求和级的输入，从而使求和级的输出产生相等于两个连续信息比特之差的值。图20示出存储元件400和反相器410的电流模式CMOS实现，其中包括基于具有晶体管T6以及开关S4、S5和S6的开关电流晶体管存储器单元的反相存储器单元。用于电流工作模式的求和级410可以简单地通过有线节点连接来实现。高通滤波器方法如RC滤波器、MOSFET滤波器、跨导-C(gm-C、OTA-C)滤波器、开关电容滤波器以及电流开关滤波器具有类似于前面参照低通滤波器100所述的限制。应该理解，在本发明的VLSI实施例中，开关S1-S6可以由无源晶体管实现。
如前所述，在本发明的优选实施例中，ADC 120具有用于检测信息信号的三电平分辨率。现在参照图21，在本发明的一个优选实施例中，ADC 120包括连接到斜坡模数转换器(RADC)510的积分器500。积分器500可以例如具有前面参照图16、17和18所述的形式中的任一种。工作时，积分器500与高通滤波器的三值输出端的输入比特同步来周期性地复位。对于各输入比特，积分器500产生一个斜坡。斜坡的斜度依赖于输入比特的值。RADC 510通过测量斜坡到达预设阈值电平的时间来测量斜坡信号的斜度。现在参照图22，在本发明的一个具体优选实施例中，RADC 510由预设于前述阈值电平的比较器520以及计数器530实现。参照图23，前面参照图22所述的本发明优选实施例的变型组合三电平ADC和反向预编码器功能。工作时，一对比较器600和610各自接收所要解码的比特流。比较器600将比特流与第一电压电平V1进行比较。比较器610将比特流与第二电压电平V2进行比较。比较器的输出通过两输入与非门620进行组合以提供以1/T计时的单一D类型锁存器630的数据输入。锁存器630的输出提供解码比特流。
现在参照图24，在本发明的一个优选实施例中，提供积分器700，用于在相同固定积分时间内对两个连续回读信号进行积分。积分器700的输出由采样保持电路710进行采样。采样保持电路的输出馈送给包括存储元件720、反相器门730和求和块740的差分器。差分器从存储在存储元件730中的前一值中减去来自积分器700的输出的当前值。然后，第二积分器750对结果值进行积分，并且通过RADC 760对它进行转换。具体地说，第二积分器750产生一个斜坡，该斜坡又与一个预定阈值进行比较。斜坡到达阈值所花的时间与在采样保持电路710的输出端提供的最后两个值之差成反比。因此，在理想无噪声情况下，在RADC 760的输出端提供对应于+d、0和-d的三个可能时间值。在带噪声信号的情况下，将连续时间值量化成前述三个值。
如图25所示，可以组合图24的实施例的积分器700和730。在图25的实施例中，在固定积分时间内仅对前一信号值进行积分，随后将其存储在存储单元720中。在采样保持电路710上游的积分器70的输出端，从连续积分信号值中直接减去存储值。然后，将加法器740输出端的差值馈送给RADC 760。图25的实施例中的积分器70同时提供下一采样所对应的要存储在存储元件720中的信号以及要通过加法器740馈送给RADC 760的信号。
参照图26，本发明的一个具体优选实施例由一个CMOS实现构成，该CMOS实现包括连接到由可变电阻VR构成的当前测试热机械检测器830的第一电压源810。第二电压源800连接到由可变电阻VR’构成的基准热机械检测器。当前测试检测器830通过由晶体管T12、T13和T21构成的预放大器840连接到积分器850的输入端。基准检测器820通过由晶体管T7、T8和T9构成的第二预放大器900连接到积分器850的输入端。工作时，基准检测器820如前面参照图9所述起作用。积分器850由开关S7、电容C4以及晶体管T14和T15构成。积分器的输出端通过晶体管T14连接到由开关S11构成的采样器880。采样器S11又连接到由开关S8、S9、S10、S11、S12、S13以及晶体管T16、T17和T18构成的反向存储器890的输入端。存储器890的输出端连接到由电路节点组成的加法器860。另外通过晶体管T15和开关S14耦合到加法器860的是积分器850的输出端。加法器的输出端连接到由晶体管T19和T20构成的比较器870。采样器880、存储器890和加法器860一起构成如前所述的差分器。比较器870组成如前所述的ADC。
总而言之，前面描述了用于在局部探头数据存储设备中检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据的装置，包括差分器，用于从传感器信号的后一值中减去传感器信号的值以产生三值差信号；以及转换器，连接到差分器，用于将差信号转换成表示检测数据的二值输出信号。还描述了一种包括该装置的局部探头数据存储设备。
权利要求
1.一种用于在局部探头数据存储设备中检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据的装置，所述装置包括差分器，用于从传感器信号的后一值中减去传感器信号的值，以产生三值差信号；以及转换器，连接到差分器，用于将差信号转换成表示检测数据的二值输出信号。
2.如权利要求1所述的装置，还包括低通滤波器，连接到差分器，用于在传感器信号到达差分器之前对传感器信号进行滤波。
3.如权利要求2所述的装置，还包括减法器，连接到低通滤波器，用于在传感器信号到达低通滤波器之前，从传感器信号中减去由基准传感器产生的基准信号。
4.如前面任一项权利要求所述的装置，其中，差分器包括存储器，用于存储要从传感器信号的后一值中减去的传感器信号的值；以及减法器，连接到存储器，用于从后一值中减去存储在存储器中的传感器信号的值，以产生三值差信号。
5.如权利要求4所述的装置，其中，减法器包括反相器，用于反相存储在存储器中的传感器信号的值以产生反相值；以及加法器，连接到反相器，用于将反相值加到传感器信号的后一值以产生三值差信号。
6.如前面任一项权利要求所述的装置，其中，转换器将三值差信号的极值转换成二值输出信号的第一值，并且将三值差信号的中间值转换成二值输出信号的第二值。
7.如权利要求6所述的装置，其中，转换器包括积分器，用于产生其斜度依赖于三值差信号采样值的斜坡；以及计数器，连接到积分器，用于根据斜坡到达预设阈值电平所花的时间来确定二值输出。
8.一种局部探头数据存储设备，包括存储表面；读取传感器，可以在平行于存储表面的平面中相对于存储表面移动，用于根据以表面地形特征的形式存储在表面中的数据来产生传感器信号；以及如前面任一项权利要求所述的装置，连接到传感器，用于当读取传感器相对于存储表面移动时检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据。
9.一种局部探头存储设备，包括存储表面；读取传感器，可以在平行于存储表面的平面中相对于存储表面移动，用于根据以表面地形特征的形式存储在表面中的数据来产生传感器信号；基准传感器，用于根据表面中的基准点来产生基准信号；以及如从属于权利要求3的任一项权利要求所述的装置，连接到读取传感器和基准传感器，用于当读取传感器相对于存储表面移动时检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据。
10.如权利要求8或权利要求9所述的局部探头存储设备，包括预编码器，用于对要写入到存储表面上的数据进行预编码，所述预编码器包括一异或门，根据所要记录的比特值和与输入比特流的前一比特相对应的异或门输出值而具有对于要记录到存储表面上的输入比特流的各比特所确定的输出。
11.如权利要求8到10中的任一项所述的局部探头存储设备，包括多个传感器。
12.一种用于在局部探头数据存储设备中检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据的方法，所述方法包括使用差分器从传感器信号的后一值中减去传感器信号的值，以产生三值差信号；以及使用连接到差分器的转换器，将差信号转换成表示检测数据的二值输出信号。
全文摘要
用于在局部探头数据存储设备中检测由读取传感器产生的传感器信号中的数据的装置，包括差分器，用于从传感器信号的后一值中减去传感器信号的值，以产生三值差信号；以及转换器，连接到差分器，用于将差信号转换成表示检测数据的二值输出信号。还描述了一种包括该装置的局部探头数据存储设备。
文档编号G11B9/00GK1547743SQ02816741
公开日2004年11月17日 申请日期2002年7月19日 优先权日2001年9月3日
发明者彼得·拜齐托德, 热尔德·K·宾尼格, 卓奥瓦尼·谢吕比尼, 阿雅·多拉克亚, 厄斯·T·杜拉格, 爱瓦格洛斯·S·埃莱夫特里乌, 西奥多·W·洛利格, 彼得·维特泰格, K 宾尼格, W 洛利格, T 杜拉格, 多拉克亚, 尼 谢吕比尼, 彼得 拜齐托德, 洛斯 S 埃莱夫特里乌, 维特泰格 申请人:国际商业机器公司