专利名称：微驱动器、减振器、磁头折片组合及其磁盘驱动单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种磁盘驱动单元，尤指一种微驱动器、减振器以及包含压电元件(piezoelectric(PZT)elements)的磁头折片组合(head gimbal assembly、HGA)。具体来讲，本发明涉及一种磁头折片组合的改良过的压电微驱动器，所述磁头折片组合包括一个减振系统(vibration canceling system)，该减振系统可以在微调读/写头的位置时消除由于激发微驱动器而产生的悬臂件(suspension)振动。
背景技术：
磁盘驱动单元为一种常见的信息存储装置，其使用磁介质储存数据。一个可移动的磁头置于所述磁介质之上用于选择性地读取或写入磁介质中的数据。
对于此种磁盘驱动设备，消费者总是不断追求更大的存储量、更快及更准确的读写操作。这样，磁盘驱动单元生产商不断提高磁盘驱动的存储量，例如通过减少磁轨宽度和磁迹间距(track pitch)来增加信道密度(track density)。然而，每一次信道密度的增加都需要磁盘驱动设备在读/写头的位置控制性能上作相应增加，以使其在使用更高密度的磁盘时可进行快速、准确的读写操作。随着信道密度的增加，用现有技术快速而准确地将读/写头定位在存储媒介上的特定信道亦愈来愈难。因此，为适应信道密度不断增加的需要，磁盘驱动单元生产商不断寻求能改进读/写头位置控制的方法以达到最佳效果。
目前磁盘驱动单元生产商所采取的用于高密度磁盘的读/写头位置控制的一种有效方式是引入第二个驱动器，一般称为微驱动器，其与主驱动器一起快速而准确地控制读/写头位置。含有微驱动器的磁盘驱动单元一般被称作双重驱动系统(dual-stage actuator system)。
过去已开发多种双重驱动系统用以增加高密度存储媒介特定磁轨上的读/写头的工作速度以及改良其位置微调功能。这些双重驱动系统通常包括一个主音圈马达(Voice-Coil Motor，VCM)驱动器和一个次微驱动器，例如一个压电微驱动器(PZT micro-actuator)。所述音圈马达驱动器由伺服控制系统控制，其旋动用以支撑读/写头的驱动臂来调整存储媒介特定信道上的读/写头的位置。压电微驱动器和音圈马达驱动一起用于提高在特定信道上的读/写头的定位速度和微调的准确性。这样，音圈马达驱动器对读/写头的位置进行大的调整，而压电微驱动器则相对于存储媒介的位置对读/写头作出微调。音圈马达驱动器和压电微驱动器联合工作就能从高密度存储媒介中准确、高效地读写数据。
本发明主要涉及的一种类型的微驱动器，其引入可微调读/写头的压电元件。此类压电微驱动器包含的辅助电路可激发微驱动器上的压电元件从而使其选择性地膨胀或收缩。由于压电微驱动器这样的构造，压电元件的膨胀或收缩都会引起微驱动器的移动从而引起读/写头的移动。与单独采用音圈马达驱动器的磁盘驱动单元相比，这种移动将会更快更好地调整读/写头的位置。类似的压电微驱动器曾在专利中请号为JP 2002-133803，名称为“微驱动器和磁头折片组合”的专利申请以及专利申请号为JP 2002-074871，名称为“装有定位驱动器的磁头折片组合、设有所述磁头折片组合的磁盘驱动单元以及磁头折片组合的制造方法”的专利申请中披露过。
图1a为引入双重驱动器的传统磁盘驱动装置的磁头折片组合277。所述磁盘驱动装置除了一些构件之外包括一个磁盘以及一个用来驱动装有磁头203的悬臂件213(suspension)的驱动臂。所述磁盘被装于主轴马达(spindle motor)上，所述主轴马达用以旋动所述磁盘。音圈马达用来控制驱动臂的运动从而使得磁头203从磁盘表面的一个磁轨移到另一个磁轨，从而实现读/写头从磁盘中读取和写入数据的功能。操作中，装有读/写头的磁头与旋转的磁盘之间的空气互动会产生一个提升力。所述提升力是与驱动臂施加的弹力大小相等、方向相反的反作用力，从而在驱动臂的全径行程(full radial stroke)中可在旋转磁盘表面上保持一个预定的飞行高度。
然而，由于音圈马达(VCM)和磁头悬臂件组合固有的容差(Tolerance)，磁头203无法获得快速而准确的位置控制从而影响读/写头从磁盘中准确读写数据的能力。因此我们用上述压电微驱动器205来改进磁头和读/写头的位置控制。具体来讲，与音圈马达相比，压电微驱动器205可以较小的幅度调整磁头203的位移，从而补偿音圈马达和磁头悬臂组合所产生的共振公差。例如，压电微驱动器205能利用更小的记录磁迹间距(track pitch)，并增加50％的磁盘驱动单元的TPI值(‘tracks per inch’value)，同时有效降低磁头寻轨和定位时间(seeking and settling time)。这样，压电微驱动器205可使磁盘驱动装置中的信息存储磁盘的表面记录密度明显增加。
如图1a所示，常见的一种微驱动器是U形微驱动器205。这种U形微驱动器205设有两侧臂，所述两侧臂将磁头保持在其间，并通过两侧臂的移动实现磁头位移(displace)。然而，所述两侧臂的移动会在安装区产生一个反作用力，该反作用力将传递到悬臂舌，进而到达悬臂件自身。所述作用力会引起悬臂件共振(resonance)或者振动(vibration)，从而损害磁头折片组合的动态性能。微驱动器在工作时产生的悬臂件共振是限制磁盘驱动装置伺服带宽(bandwidth)的因素之一。
参照图1b，传统的压电微驱动器205包括一个陶瓷U形框297，其由两个陶瓷梁或陶瓷臂207构成，每个陶瓷梁或陶瓷臂207上含有一个压电元件。参照图1a和1b，压电微驱动器205被物理连接到挠性件214上。三个电连接球(金球或锡球(gold ball bonding或solder ball bonding，GBB或SBB))将微驱动器205与位于陶瓷梁207两侧的悬臂电缆210(suspension trace)相连。另有四个金属球208(金球或锡球)将磁头203与电缆210相连接。
图1c总体演示了磁头203与微驱动器205的组装过程。如图1c所示，磁头203通过环氧胶点212以预定位置206部分连接在两个陶瓷梁207上。这样的连接方式使得磁头203的运动以一种简单有效的方式与微驱动器205的陶瓷梁207保持同步运动。附于微驱动器的每个陶瓷梁207上的压电元件可以通过被激发而控制磁头203的移动。具体来讲，当通过悬臂电缆210施加电压时，压电元件膨胀或收缩致使U形框架297的两个陶瓷梁207变形，从而使磁头203为了微调(fine tune)读/写头的位置而在磁盘磁轨上移动。通过这种方式，可实现磁头203的位移控制以达到精确的位置微调。
虽然上面提到的压电微驱动器可以为磁头的精确定位提供一个有效可靠的解决方案，同时也会产生一些不利影响。具体来讲，由于压电微驱动器205和磁头203均固定在悬臂舌上，当压电微驱动器205被激发时便会产生一个悬臂件共振。换句话说，由于微驱动器U形框297的限制，用于磁头203定位的微驱动器的平动将引起悬臂件的振动。悬臂件振动与悬臂基板被激发引起的共振相对应，因而导致的明显的振动限制了磁盘驱动装置伺服带宽(servo bandwidth)以及容量的提高。
图2展示了激发悬臂件基板和激发微驱动器压电元件的共振增益-频率图。如图2所示，数字201表明悬臂件基板被激发时的共振曲线，数字202表明微驱动器205被激发时的共振曲线。图2表明在20千赫兹的频率下，当基板和微驱动器被激发时，悬臂件频率响应在正向和反向都呈现明显的增益峰值，这说明了磁盘驱动装置具有较差的共振特性。图2也同样表明基板共振和微驱动器共振之间的响应对磁盘驱动装置的有害振动。
因此，提供一种用于磁头折片组合和磁盘驱动单元上，不但能消除上述振动问题还可微调读/写头的改进型微驱动器实为必要。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种改良的微驱动器及磁头折片组合，可以实现良好的磁头位置调整，并且具有良好的共振性能。
本发明的另一目的在于提供一种用于微驱动器的减振系统，可以简单而有效地引入磁头折片组合。
本发明的再一目的在于提供一种改良的磁盘驱动单元，其具有较大伺服系统带宽和存储容量，同时可使用微驱动器进行磁头位置微调整。
本发明的又一目的在于提供一种使用压电元件、用于微驱动器的减振系统。
为达到上述目的，根据本发明一个实施例，一种用于磁头折片组合的微驱动器，包括和一个悬臂件连接的基部片；一对和基部片相连、并以第一方向从基部片上延伸出的驱动器侧臂，其中至少一个驱动器侧臂上具有压电元件；一个至少可部分消除由驱动器侧臂移动而引起的振动的减振器。
根据本发明另一个实施例，一种磁头折片组合包括磁头、具有减振系统的微驱动器、以及支撑磁头和微驱动器的悬臂件。所述微驱动器调整磁头位置，所述减振系统消除由于微驱动器工作而引起的悬臂件振动。在本发明这个实施例中，所述微驱动器包括一个底框，具有至少一个用于驱动磁头的压电元件，和至少一个用于消除由于微驱动器工作而引起的悬臂件振动的压电元件。所述微驱动器的底框最好有一个基部片和两个驱动器臂。磁头通过例如环氧胶等和驱动器臂部分相连。所述微驱动器的底框最好由金属(例如不锈钢)、陶瓷(例如氧化锆)、硅或聚合物制成，但是其他合适的材料亦可使用。压电元件最好为薄膜压电元件或陶瓷压电元件。
根据本发明另一实施例，一种磁盘驱动单元包括磁头折片组合、与所述磁头折片组合相连接的驱动臂、磁盘以及用以旋转所述磁盘的主轴马达。所述磁头折片组合包括磁头、具有减振系统的微驱动器(最好具有至少一个压电元件)以及支撑磁头和微驱动器的悬臂件。所述微驱动器调整磁头位置，所述减振系统的至少一个压电元件用于至少部分消除由于微驱动器工作而引起的悬臂件振动。
根据本发明，所述减振系统可有多种构造，每一种都能消除至少一部分由于微驱动器工作而引起磁头运动所导致的悬臂件振动。磁头和所述微驱动器的驱动器臂相连，所述微驱动器的基部片装在悬臂件上。这样，当所述微驱动器被激发后，驱动器臂将被弯曲进而使磁头以控制方式位移以进行磁头位置微调。同时，减振系统可消除由于微驱动器工作而引起的悬臂件共振。结果，悬臂件共振性能被改善，磁盘驱动装置具有更大的伺服带宽及存储容量。
为使本发明更加容易理解，下面将结合附图进一步阐述本发明不同的具体
图1a为现有磁头折片组合(HGA)的立体图；图1b为图1a的放大局部视图；图1c展示了将磁头插入图1a中磁头折片组合(HGA)的微驱动器中的一般过程；图2展示了图1a中磁头折片组合的共振曲线(resonance curve)；图3a为本发明磁头折片组合(HGA)第一实施例的立体图，所述磁头折片组合在微驱动器上设有减振器(vibration canceller)；图3b为图3a中磁头折片组合的放大局部立体图；图4a为图3b中磁头折片组合的分解图；图4b及4c为设有减振器的微驱动器的局部俯视图，用于描述图4a中的压电元件。
图5为图3b中磁头折片组合微驱动器区域的侧视图。
图6a为图3a中设有磁头和减振器的微驱动器的立体图，此时其处于第一工作状态；图6b为图3a中设有磁头和减振器的微驱动器的立体图，此时其处于第二工作状态；根据本发明一个实施例，图7a展示了图3a中设有减振器的微驱动器的两个对应压电元件间的电连接关系；根据本发明另一个实施例，图7b展示了图3a中设有减振器的微驱动器的两个对应压电元件间的电连接关系；图7c展示了分别加在图7b所示两个压电元件上的两个电压的波形图；图7d展示了分别加在图7a所示两个压电元件上的电压的波形图；图7e为图3a中设有磁头和减振器的微驱动器的另一视图；图8a和8b展示了图3a中所示实施例的共振测试结果；图9a为本发明设有减振器的微驱动器的第二实施例的立体图；
图9b为本发明设有减振器的微驱动器的第三实施例的立体图；图10a为本发明设有减振器的微驱动器的第四实施例的立体图；图10b展示了图10a中第四实施例的装配过程；图10c为图10a中第四实施例装配后的立体图；图11a、11b、11c和11d为本发明第五实施例的装有磁头的设有减振器的微驱动器的立体图；图12为本发明设有作为一个实施例的微驱动器和减振器的磁盘驱动单元的立体图。
具体实施例方式
下面将参考附图阐述本发明几个不同的最佳实施例，其中不同的图中相同的标号代表相同的部件。如上所述，本发明被设计成激发含压电元件的微驱动器用于微调读/写头时，用于消除或者至少减少从微驱动器传给磁头折片组合悬臂件的振动。本发明一个主要方面是提供一个减振系统，所述减振系统在微驱动器被激发时而被激发，从而产生一个或多个力用于抵消磁头在微驱动器被激发时运动而生成的反作用力。在一种较佳实施方式中，减振系统具有与微驱动器上使用的压电元件类似的压电元件。减振系统上的压电元件相对于微驱动器上的压电元件进行结构设计，以使其能产生与微驱动器压电元件所产生的力相反的力。单独工作时，微驱动器和减振系统产生一个可传递至悬臂件的振动。然而，根据本发明，当微驱动器和减振装置同时工作时，各自产生的振动方向相反并相互抵消。通过消除微驱动器带来的振动，磁盘驱动装置的共振特征得到了改善，并且扩大其伺服带宽和存储容量。
下面阐述本发明几种减振系统的具体实施方式
。一些实施例被显示在图中并被阐述，如同上述如图1a和1b所示的类型的传统磁头折片组合。但本发明不限于这些应用。亦即，本发明的减振系统可以应用在任何一个适当的含有微驱动器的磁盘驱动装置上，用于改善微驱动器的共振特性而不管磁头折片组合的具体结构。
图3a展示了本发明设于磁头折片组合3上的减振系统的第一个实施例。所述第一个实施例显示在图3a和3b中，如同被应用于图1a和1b所示的传统类型的磁头折片组合上。如上解释，此种传统类型的磁头折片组合包括一个磁头31、一个微驱动器32、以及负载磁头31和微驱动器32的悬臂件8。所述悬臂件8包括负载杆17、挠性件13、枢接件15和基板11。负载杆17上设有一个凸起329(见图5)。在挠性件13上，复数连接触点308一端与控制系统(未图示)相连，另一端与复数电缆309、311相连。磁头折片组合通过基板11与磁盘驱动装置的驱动臂相连。磁盘驱动装置上的音圈马达可控制地驱动驱动臂以及磁头折片组合，从而使磁头折片组合可将具有读/写头的磁头在磁盘驱动装置内的磁盘上的任何特定信息磁轨上进行定位。如上所述，微驱动器32可使磁盘驱动装置的位置控制更快更准确，并且可减少操作中磁头寻轨和定位时间(seeking and settling time)。因此，当磁头折片组合3被引入磁盘驱动装置中时，一个双重驱动器系统形成了，其中音圈马达驱动器进行大的位置调整而微驱动器32对读/写头进行位置微调。图3b是图3a中磁头折片组合的局部放大图，由此能更清楚的了解本发明该实施例中的微驱动器32和减振系统的细节，如后详述。
参照图4a，所述挠性件13还包括一个用以连接磁头31并支撑其移动的活动片323，以及一个用于支撑微驱动器32和磁头31的悬臂舌328。所述悬臂舌片328被设计成使得承载力总是通过负载杆17上的小突起329施加于磁头31的中心区域。
回到图3b中磁头折片组合的详图，位于负载杆17上的限位装置355穿过悬臂舌328，用于防止磁盘驱动装置在正常工作时以及受到振动或振动时悬臂舌328过度弯曲。同时参照图4a，所述悬臂舌片328上设有复数电极触点310。磁头31一端对应于活动片323上的电极触点113设有复数电极触点204。
现在让我们更仔细观察图4a中磁头折片组合的分解图，根据本发明的第一个实施例，微驱动器32包括一个H形框320以及装于其上的四个压电元件321a/321b/321c/321d。H形框320可以由金属(例如不锈钢)、陶瓷(例如氧化锆)、硅、聚合物或其他任一种合适的材料制成。H形框320包括一对驱动器臂322a/322b、基部片352和一对减振臂325a/325b。驱动臂322a和减振臂325a与驱动器臂322b和减振臂325b通过基部片352相连。此外，微驱动器32的每一边(321a-321c或321b-321d)上的压电元件有三个与悬臂舌328上的电连接触点310相对应的电连接触点333。
从图4b能更清楚地看到，压电元件321a和321c，或者压电元件321b和321d共享一个接地触点，其余触点用于压电元件自身的电压输入。三个电连接球将压电元件连接在悬臂件的每一侧。磁头31被保持在微驱动器32的H形框320的两个驱动器臂322a/322b之间。
尽管磁头31和微驱动器32可以以任一合适的方式组合，但通常倾向于用与图1c中所示的方式组合。具体来讲，再一次参照图4a，磁头31被插入微驱动器32的H形框320。两个驱动器臂322a和322b利用例如环氧胶一类的东西与磁头31相连。然后，基部片352被装于悬臂舌328上，这样在微驱动器32和悬臂舌328之间就形成了一个平行间隙。在另一种可选择的组装程序中，在磁头31插入微驱动器32中并与之连接前，微驱动器32就被装在悬臂件之上。本发明的一个优点，如图3b和4a中所清楚显示，是对传统磁头折片组合作小小的修改，即引入本发明的减振器。
图4b进一步展示了本发明压电元件的一个较佳实施例。如图4b所示，每个压电元件321a/321b或321c/321d直接粘附于或层合(laminate)在驱动器臂322a/322b或减振臂325a/325b上。在图4c所示的一种可选择的实施例中，H形框320的每一侧均设有包括两个压电元件(321a/321c或321b/321d)的压电单元。与图4b中的实施例中附着单个的压电元件相反，本实施例在单独的驱动器臂322a/322b和减振臂325a/325b上附着压电单元。所述每个压电单元包括一个基底层360，设在H形框320每侧上的每对压电元件321a/321c或321b/321d分别设在所述基底层360上。正如下详述，压电元件321a、321b用来磁头微调，另两个压电元件321c和321d用来减少微驱动器操作中产生的悬臂件振动。每一种功能的实现是通过电源选择性地激发压电元件使其选择性地膨胀及收缩，从而导致每个驱动器臂322a、322b、减振臂325a和325b选择性地移动。优选地，每对压电元件321a/321c或321b/321d在其中部共有一个接地触点，两个分离的触点用于每个单独压电元件各自的电流输入。通常倾向采用陶瓷、金属(例如不锈钢)或聚合物材料制成基底层360，但其他任何适合的材料都可以。压电元件一般由陶瓷块或薄膜压电片制成。所述压电元件可以是单层或多层压电片。
图5是本发明磁头折片组合一个较佳实施例的侧视图。如图5及4a所示，微驱动器32的基部片352装于悬臂舌328之上，负载杆上的凸起(dimple)329支撑悬臂舌328和微驱动器32。为了使磁头31和微驱动器32可自由移动以及使减振装置可自由工作，在微驱动器32和悬臂舌328之间形成有平行间隙505和507。
图6a和6b展示了本发明减振器第一实施例是如何工作的。参照图6a，当电压输给微驱动器32后，第一驱动器臂322a在其上压电元件的收缩作用下向外弯曲，如箭头601所示。驱动器臂322a向外弯曲的动作有利于磁头进行位置微调的运动。然而驱动器臂322a的收缩会在基部片352上产生一个应力(stress)602，并可能通过基部片352传给悬臂舌328，从而使悬臂件发生振动。根据本发明，电压同样被输给减振器，从而使得减振臂325b朝箭头603的方向向外弯曲。这个附加的向外弯曲同样给基部片352将基部片352上产生应力604，进而使悬臂件发生振动。但由于所述附加的振动与微驱动器工作引起的悬臂件振动的相位相反，这样，所述振动将相互抵消而形成一个非常明晰(clear)的共振曲线。
图6b展示了当磁头31被微驱动器反向移动时的一个类似操作，如图6a中的箭头603’所示。如图6b所示，朝方向603’的运动引起的在基部片352上的应力604’，根据本发明，抵消了驱动器臂向外运动产生的应力602’，如箭头601’所示。
这样，利用本发明的减振器在基部片上产生一个抵消应力或力(例如604，602’)，即使在微驱动器对磁头位置进行微调时仍能获得一个非常明晰(clear)的共振曲线。另外，为更好地减振，减振臂325a和325b的尾部可使用一个支撑片，如图11a和11b中的实施例中的支撑片1102或1103。具体来讲，在驱动器臂322a或322b工作时，支撑片会使减振臂325a、325b产生与微驱动器相反的运动惯性，从而进一步减少振动。
图7a-7d展现了应用本发明的典型操作方法。图7c和7d展示了用于每一种工作方式的频率-电压图。根据本发明第一实施例，图7e从另一个角度展示了具有减振器和磁头31的微驱动器32，用于解释所述工作方式。图7b展示了减振臂325b与驱动器臂322a极化方向相反时的第一种工作方式。第一种工作方式的工作电压输入如图7c所示，其中微驱动器输入电压701a是一个正弦电压708，减振器输入电压701b是一个反向正弦电压706。图7a展示了减振臂325b与驱动器臂322a极化方向相同时的第二种工作方式。第二种工作方式的工作电压输入如图7d所示，其中减振器的输入电压701b和微驱动器输入电压701a为相同的正弦电压709。标号703代表图7a和7b中的共同接地。
图8a和8b显示了本发明具有减振器的微驱动器的共振测试结果。在图8a中，线条802显示微驱动器工作时的共振(其具有图8b中的相位线806)，线条803显示减振器工作时的共振(其具有图8b中反向相位线804)。根据本发明，由于两个相反相态的振动，减振器能消除悬臂件的振动。图8a中的线条805显示了合成共振增益，图8b中的线条808显示了合成共振相位。从这些测试结果中可以看出，本发明以促进磁头微调、增加伺服带宽和磁盘存储容量的方式显著改进了磁盘驱动装置的工作。
图9a是本发明的第二具体实施例，其中在微驱动器上仅设有一个单一减振臂902。换句话说，在该实施例中，减振器具有有一个共同的基底层902，其相反两侧设有压电元件903和904。图9b是本发明第三个实施例，与第二个实施例类似，不同之处在于共同基底层902位于微驱动器基部片352的中部而不是端部。在其他实施例中，单一或复数用于界定本发明减振器的具有压电元件的基底层的位置可加以改变。微驱动器、基底层和/或压电元件的形状与构造也能随外观设计的选择以及为适合不同的应用需要而做出变动。图7a-7d中的工作方式也能同理应用于这里描述或由本发明所衍生的其他具体实施例中。
与这里的其他具体实施例的基部片352相比，附图10a-10c显示的第四实施例中的基部片1007具有不同构造。图10a显示了一个为微驱动器和减振器准备的具有四个压电元件1001、1002、1003和1004的H形铁框。在基部片1007的侧面形成两个侧臂1006和1008。图10b展示了将磁头31装进微驱动器的组装过程。图10c展示了本发明第四实施例的具有减振器和磁头并被完整组装的微驱动器。此外，上述图7a-7d中的工作方式也能用于第四实施例。
图11a和11b展示了本发明第五具体实施例，其中微驱动器的减振臂325a和325b的顶端通过支撑片1102或1103相连。图11a中的支撑片1102与减振臂325a和325b垂直相连。与之相对，图11b中的支撑片与减振臂325a和325b水平相连。另外，两个驱动器臂322a和322b可通过与支撑片1102或1103相似的另一个支撑片(未图示)相连。使用支撑片连接微驱动器臂有益于减少磁盘驱动装置的振动。
图11c和11d展示了本发明的第六实施例，其中减振臂1002和1004的端部与支撑片1107或1108相连。除支撑片1107和1108之外，第六实施例与图10a-10c中的实施例类似。如第五实施例，图11c中的支撑片1107与减振臂1002和1004垂直相连，而图11d中的支撑片1108与减振臂1002和1004水平相连。同样，支撑片1107，1108有益于进一步减少振动。如果需要的话，可能还有其它的支撑片(未图示)被用于此种或这里的其他实施例中，亦用于将驱动臂(例如，322a，322b)连接在一起。
这里阐述了带有减振器的微驱动器的不同的具体实施例，本领域普通技术人员可以从本发明以上说明中看出微驱动器和/或减振器的其它构造同样可行。例如，减振器可以脱离微驱动器而单独存在。此种情况下，减振器拥有独立安置于悬臂舌(或别处)的基部片，来达到所需的减振效果。
图12展示了引入本发明减振技术的磁盘驱动单元实例。此磁盘驱动单元包括壳体108、磁盘101、主轴马达102、以及带有依本发明设计的、在微驱动器作位置微调时具有良好共振性能的磁头折片组合3的音圈马达107。具体来讲，图12中的磁头折片组合3采用这里所述的微驱动器和减振器的一个具体实施例。由于磁盘驱动单元的这种结构、工作和组装工艺为本领域普通技术人员所知悉，在使本发明明确的前提下，对此不再详述。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
1.一种用于磁头折片组合的微驱动器，包括和一个悬臂件连接的基部片；一对和基部片相连、并以第一方向从基部片上延伸出的驱动器侧臂，其中至少一个驱动器侧臂上具有压电元件；一个至少可部分消除由驱动器侧臂移动而引起的振动的减振器。
2.如权利要求1所述的微驱动器，其特征在于所述减振器包括至少一个从基部片上以与第一方向相反的第二方向延伸出的减振臂，所述至少一个减振臂上包含有至少一个压电元件。
3.如权利要求2所述的微驱动器，其特征在于所述减振器包括一对以所述第二方向延伸出的减振臂，每个减振臂上具有一个压电元件。
4.如权利要求3所述的微驱动器，其特征在于所述驱动器侧臂和减振臂上的压电元件设在其外侧面上。
5.如权利要求2所述的微驱动器，其特征在于所述第一方向和第二方向均垂直于基部片。
6.如权利要求2所述的微驱动器，其特征在于所述减振器包括两侧部均有压电元件的单一减振臂。
7.如权利要求6所述的微驱动器，其特征在于所述单一减振臂从基部片的中部或侧部延伸出来。
8.如权利要求2所述的微驱动器，其特征在于所述至少一个减振臂由陶瓷、不锈钢、硅或聚合物制成。
9.如权利要求2所述的微驱动器，其特征在于所述压电元件为陶瓷或薄膜压电元件。
10.如权利要求2所述的微驱动器，其特征在于所述压电元件为单层或多层压电元件。
11.如权利要求3所述的微驱动器，其特征在于所述减振臂通过支撑片相互连接。
12.一种磁头折片组合(head gimbal assembly)，其特征在于包括微驱动器；和微驱动器相连的磁头；以及用于支撑所述微驱动器的悬臂件(suspension)；其中所述微驱动器包括和所述悬臂件连接的基部片；一对和基部片相连、并以第一方向从基部片上延伸出的驱动器侧臂，其中至少一个驱动器侧臂上具有压电元件；以及一个至少可部分消除由驱动器侧臂移动而引起的振动的减振器。
13.如权利要求12所述的磁头折片组合，其特征在于所述减振器包括至少一个从基部片上以与第一方向相反的第二方向延伸出的减振臂，所述至少一个减振臂上包含有至少一个压电元件。
14.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述减振器包括一对以所述第二方向延伸出的减振臂，每个减振臂上具有一个压电元件。
15.如权利要求14所述的磁头折片组合，其特征在于所述驱动器侧臂和减振臂上的压电元件设在其外侧面上。
16.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述第一方向和第二方向均垂直于基部片。
17.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述减振器包括两侧部均有压电元件的单一减振臂。
18.如权利要求17所述的磁头折片组合，其特征在于所述单一减振臂从基部片的中部或侧部延伸出来。
19.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述微驱动器的基部片装在悬臂件上，在微驱动器的所有臂和悬臂件间存在一个平行间隙。
20.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述至少一个减振臂由陶瓷、不锈钢、硅或聚合物制成。
21.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述压电元件为陶瓷或薄膜压电元件。
22.如权利要求13所述的磁头折片组合，其特征在于所述压电元件为单层或多层压电元件。
23.一种磁盘驱动单元，包括磁头折片组合；其包括磁头、微驱动器以及支撑微驱动器的悬臂件；与所述磁头折片组合相连接的驱动臂；磁盘；及用以旋转所述磁盘的主轴马达；其特征在于所述微驱动器包括和一个悬臂件连接的基部片；一对和基部片相连、并以第一方向从基部片上延伸出的驱动器侧臂，其中至少一个驱动器侧臂上具有压电元件；一个至少可部分消除由驱动器侧臂移动而引起的振动的减振器。
24.一种如权利要求23所述的磁盘驱动单元，其特征在于所述减振器包括至少一个从基部片上以与第一方向相反的第二方向延伸出的减振臂，所述至少一个减振臂上包含有至少一个压电元件。
25.一种如权利要求23所述的磁盘驱动单元，其特征在于所述微驱动器的基部片装在悬臂件上，在微驱动器的所有臂和悬臂件间存在一个平行间隙。
全文摘要
一种用于磁盘驱动单元的磁头折片组合，包括微驱动器、磁头及用于支撑所述磁头和微驱动器的悬臂件(suspension)。所述微驱动器包括一个减振器，该减振器可抵消由于微驱动器被激发进行磁头位置调整而产生的内在应力。所述减振器具有压电元件，可在微驱动器底板产生对抗力而消除因微驱动器内在应力产生的振动，从而为磁盘驱动单元提供良好的共振性能。
文档编号G11B21/10GK1797550SQ200410082329
公开日2006年7月5日 申请日期2004年12月30日 优先权日2004年12月30日
发明者姚明高, 白石一雅 申请人:新科实业有限公司