专利名称：磁盘媒体和标线片以及磁记录再生装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及磁盘媒体(磁気ディスク媒体)和该磁盘媒体制造时所用的缩小曝光用标线片(レティクル)以及磁记录再生装置(磁気記録再生装置)。
背景技术：
磁记录装置、磁盘装置、硬盘驱动装置中的问题在于，由于磁盘媒体的记录密度随容量的提高而增加，由在磁盘媒体上相对移动的记录再生磁头记录的磁信息容易因热波动而给相邻的记录轨的记录带来不良影响。因此，可以采用通过使磁盘媒体内相邻的记录轨中的磁性体物理分离来消除上述不良影响这种手段。这样，具有记录轨或记录点形状的磁性体的磁盘媒体、或包括磁性体由非磁性体分区的图案的磁盘媒体称为带图案的媒体。而且，因为对记录轨进行分断，因而有时也称为分立的记录轨。(例如，参照美国专利说明书U.S.Pat.6,563,673、日本特开2004-110896号公报。)这种带图案的媒体的磁性体的加工技术，可以用例如母盘绘制装置在母盘上绘制所希望的磁性体图案，制作将该母盘上的图案记录为表面凹凸图案的压印母版，并利用包括使用该压印母版的纳米级压印法在内的制作方法来制作磁盘媒体(参照例如特开2003-157520号公报)。母盘制作过程中可利用汞灯、紫外线、电子束、X射线等化学线束使感光性树脂曝光来形成其图案。尤其是用电子束直接绘制的方法，比较适合于为了实现高记录密度而需要进行细微图案绘制的磁盘图案的形成。
举例来说，通过对正片型抗蚀剂进行电子束(EBElectron Beam)绘制来制作母盘的情况下，曝光部位成为显影后的凹部，对该母盘进行电铸来制作母版的话，便成为凸部。因而，经过曝光的分立记录轨槽部在母版化时便成为凸型的弧段。而且，母版表面的凸部，按照纳米级压印工艺成为抗蚀剂层上的凹部，并利用后续的蚀刻处理来蚀刻凹部底层所具有的媒体上的磁性膜或基底，结果是在磁盘媒体表面上形成磁性体图案和非磁性体图案、或者形成磁性体的凹凸图案。
用磁记录再生磁头记录再生该磁盘媒体的情况下，通过使记录再生磁头在磁盘媒体表面上相对移动，对媒体表面上的所需位置进行记录再生。
为了使记录再生磁头在磁盘媒体上移动至规定位置，磁盘媒体上有定位伺服区域存在。记录再生时，从记录再生磁头横向通过该伺服区域时由再生磁头所得到的位置信号来把握记录再生磁头在磁盘媒体上的位置。根据这样得到的位置信息，由记录再生装置对位置进行控制，使记录磁头移动至所需的记录位置。
上述带图案的媒体中，上述伺服区域的信号也与数据区域一同制作为磁性体图案，可得到以下优点可抑制媒体制作时的成本、与伺服定位信号一同制作记录图案可获得较高的位置精度。
现说明常规的HDD(Hard Disk Drive硬盘驱动器)所用的伺服区域的磁图案形状。伺服区域至少包含导引区域、地址区域、定位分段区域(或分段区域)。
导引区域在读出伺服数据之前调整信号放大器的放大倍数使振幅固定。导引区域在伺服区域中相对于磁头的扫描方向位于地址区域、定位分段区域的前面。导引区域具有横过记录轨方向的多个线状图案，以便磁头不论处于哪一记录轨位置均可得到同样的信号。
地址区域具有记录轨序号信息、扇区序号信息，给出磁头所位于的记录轨位置。地址信息可以按葛莱码(グレイコ一ド)写入以便在寻址过程中磁头与相邻记录轨错位的情况下也可读取数据。
分段区域具有在记录轨方向上并排有2个或以上其磁图案在横过记录轨方向上等间隔并排的图案区域这种结构，来自该区域的信号具有磁头位置在记录轨内的错位信息。
用悬浮磁头记录再生带图案的媒体的情况下，磁头和媒体两者间的气流对磁头悬浮稳定性带来较大影响。按带图案的媒体制作导引信号的情况下，同记录区域为与记录轨相平行的凹凸槽图案这种情形不同，导引图案为横过记录轨的凹凸槽图案。记录再生时，磁头从记录区域移至伺服区域之际，磁头下的媒体形状从与记录轨方向相平行的凹凸槽图案变化为横过记录轨的凹凸槽图案，磁头正下方的气流发生变动，磁头的悬浮稳定性则丧失。而且，记录轨间的槽产生圆周方向的层流，给磁头左右带来不同的外力，因而有损于磁头的悬浮稳定性。因此，存在磁头无法正确读取伺服信号以及数据信号的问题。
另一方面，对母盘进行电子束曝光时，电子束绘制装置存在绘制位置的精度误差，因而高记录密度所必需的细微图案绘制时因绘制精度误差而造成图案走样。作为解决该问题的其中一种方法，可以采用使用标线片(レティクル)的缩小投影曝光。
利用该电子束缩小曝光其优点在于，即便是标线片上的图案有某种程度的位置偏差的情况下，也可通过缩小投影使得其偏差的程度减小。
作为电子束缩小投影曝光技术来说，主要的可例举有S.D.BERGER等人在《应用物理报导(Applied Physics Letters)，57,153(1990)中所披露的SCALPEL(Scattering withAngular Limitation in Projection E1ectron Lithography电子束投影平版印刷术中具有角度限制的散射)方式、专利第2829942号公报中的PREVAIL(Projection Exposurewith Variable Axis Immersion Lens利用可变轴浸没透镜的投影曝光)方式，作为上述方式所用的掩模有模板型(ステンシルタィプ)和薄膜型(メンブレンタィプ)。模板掩模(ステンシルマスク)让电子束通过开口部，非开口部则散射。薄膜掩模(メンブレンマスク)则包括由容易让电子束透过的轻元素所形成的薄膜和在该薄膜上所形成的使电子束散射的重金属图案层。薄膜部采用硅膜(シリコン)、氮化硅膜(シリコン窒化膜)等，而图案部则采用铬(Cr)、钨(W)等。
模板掩模其让电子束通过的开口部由于贯通，因而不会发生薄膜掩模所存在的这种低散射、色像差问题，但其结构方面，环状图案等会发生脱落因而无法实现掩模作用。因此，可采取用辅助性掩模进行多次曝光来应对的方法等。这种应对存在位置吻合、通过量方面的问题。而且，悬臂图案、细长图案往往机械强度较低，容易发生破损。另一方面，薄膜掩模存在薄膜部分，即便是环状图案能够形成，但环状图案、悬臂图案同样是其机械强度往往较弱。此外，就薄膜掩模来说其缺点在于，电子束透过薄膜之际，尽管微小但会发生低散射，会有色像差出现。
因而，要一同对带图案的媒体中的导引图案进行投影曝光之际，需要制作其中平行并排且多个连续的带状图案部分形成开口的掩模，但这种细长的开口部存在掩模发生变形而成为投影方面的光学障碍、或掩模强度脆弱这种问题。
综上所述，带图案的媒体在记录再生磁头的悬浮稳定性方面存在问题。
此外，带图案的媒体制作时缩小投影曝光工序在曝光用标线片其导引部等细长图案部的强度方面有问题。
发明内容
本发明正是考虑上述情况，其目的在于提供一种强度高的标线片和用该标线片制造的磁盘媒体以及磁记录再生装置。
本发明第一方式的磁盘媒体，其特征在于，包括下列结构在圆周方向上划分的扇区的伺服区域内具有导引部，所述导引部具有多个磁性体所形成的带状的记录图案，而且磁性体所形成的带状的记录图案分别由非磁性体以周期性间隔分断。
本发明第二方式的磁盘媒体，其特征在于，具有在圆周方向上划分的扇区的数据区域内由在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨；以及相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带，相邻的所述记录轨间的一部分由与所述记录轨相同的磁性材料接合。
而且，本发明第三方式的磁盘媒体，其特征在于，包括下列结构在圆周方向上划分的扇区的伺服区域内具有导引部，所述导引部具有多个磁性体所形成的带状的记录图案，而且磁性体所形成的带状的记录图案分别由非磁性体以周期性间隔分断，而且具有在圆周方向上划分的扇区的数据区域内由在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨；以及相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带，相邻的所述记录轨间的一部分由与所述记录轨相同的磁性材料接合。
而且，本发明第四方式的磁记录再生装置，其特征在于，具有第一或第三方式所述的磁盘媒体；以及记录再生时在所述磁盘上相对移动的磁头，所述周期性间隔大体等于所述磁头的宽度。
而且，本发明第五方式的磁记录再生装置，其特征在于，具有第一或第三方式所述的磁盘媒体；以及记录再生时在所述磁盘上相对移动的磁头，所述周期性间隔大体等于所述磁头的执行宽度。
而且，本发明第六方式的磁记录再生装置，其特征在于，具有第一至第三方式中任一方式所述的磁盘媒体；以及记录再生时在所述磁盘上相对移动的磁头，所述记录图案呈岛状，所述记录图案间嵌埋有非磁性体，所述磁盘媒体表面被平坦化。
而且，本发明第七方式的标线片，用于制作磁盘媒体，该磁盘媒体包括数据区域，具有在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨和相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带；以及伺服区域，具有导引部，并在圆周方向上将所述数据区域的所述多条记录轨划分为扇区，其特征在于，与相邻的所述记录轨相对应的区域间的一部分接合。
而且，本发明第八方式的标线片，用于制作磁盘媒体，该磁盘媒体包括数据区域，具有在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨和相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带；以及伺服区域，具有导引部，并在圆周方向上将所述数据区域的所述多条记录轨划分为扇区，其特征在于，与所述导引部相对应的区域包括下列结构具有多个带状图案，而且所述带状图案分别以周期性间隔分断。
而且，本发明第四方式的磁记录再生装置，其特征在于，加载有上述磁盘媒体。
图1(A)、图1(B)示出的是本发明第一实施方式的磁盘媒体的导引部图案。
图2(a)、图2(b)是可从第一实施方式的磁盘媒体得到一固定再生信号这一情况的说明图。
图3是概要示出第一实施方式的磁盘媒体的俯视图。
图4(A)、图4(B)是沿半径方向剖切第一实施方式的磁盘媒体的剖面图。
图5是一例伺服区域的说明图。
图6是示出第一实施方式的数据区域的立体图。
图7(A)、图7(B)、和图7(C)是本发明第二实施方式的磁盘媒体的说明图。
图8是示出本发明第三实施方式的磁盘媒体的数据区域的立体图。
图9是缩小投影曝光技术的说明图。
图10(A)至图10(D)是示出本发明第一实施例的标线片制造方法的制造工序的剖面图。
图11(A)至图11(C)是示出本发明第一实施例标线片制造方法的制造工序的剖面图。
图12(A)至图12(G)是示出本发明第二实施例磁盘媒体制造方法的制造工序的剖面图。
图13(A)至图13(F)是示出本发明第二实施例磁盘媒体制造方法的制造工序的剖面图。
图14是示出本发明第三实施例磁记录再生装置的框图。
图15是第三实施例磁记录再生装置的磁头定位控制的框图。
图16示出的是第三实施例磁记录再生装置的通道地址再生处理。
具体实施例方式
下面参照
本发明实施方式。
(第一实施方式)参照图1(A)至图6说明本发明第一实施方式的磁盘媒体。本实施方式的磁盘媒体为带图案的媒体，图3至图5示出其概要构成。图3是带图案的媒体1的俯视图，图4(A)、图4(B)是沿半径方向剖切带图案的媒体1的数据区域情形的剖面图，图5是带图案的媒体1的伺服区域的说明图。
带图案的媒体1如图3所示包括数据区域11和伺服区域12。数据区域11为记录用户数据的区域，含有按圆环形状形成的磁性体所形成的记录轨通过非磁性部由以固定长度(记录轨间距Tp)周期并排的图案。圆环形状的磁性体所形成的记录轨由伺服区域12在圆周方向上按扇区划分。另外，图3中伺服区域12划分为15个扇区，但实际上也可以划分为50或以上扇区。
伺服区域12为由磁性体/非磁性体形成磁头定位用信息的区域，伺服区域12的形状呈为磁记录装置的磁头存取轨迹的圆弧形状，而且伺服区域的圆周方向长度形成为具有与半径位置成正比的长度(参照图3)。
带图案的媒体一般具有磁性体加工型媒体和基底加工型媒体的2种。
数据区域如图4(A)、图4(B)所示，为由磁头记录再生用户数据的区域，作为可记录的记录层6，可由其中磁性记录轨以强磁性体(例如CoCrPt)制成的磁性层来形成。图4(A)是沿其半径方向剖切磁性体加工型媒体的剖面图，图4(B)是沿其半径方向剖切基底加工型媒体的剖面图。
以强磁性体制成的记录层6，通过由基底2上形成的软磁性材料所制成的衬底层4来设置。基底2也可以是玻璃基底、铝基底。磁性体加工型媒体如图4(A)所示，存在记录层6利用蚀刻来形成相邻的记录轨间的槽状非磁性保护带7。而且，基底加工型媒体如图4(B)所示，在基底2表面的凹凸上成膜有由磁性层和软磁性材料所形成的衬底层4，基底2凸部上成膜的磁性层即记录层6和衬底层4记录数据。但基底2凹部上成膜的磁性层6a离开磁头位置，不能够由磁头进行记录再生，因而成为相邻记录轨间的非记录区域。也就是说，相邻记录轨间有槽状的非磁性保护带7存在。即便是磁性体加工型或基底加工型情形，相邻的磁性体所形成的记录轨间都有槽存在，如图4(A)、图4(B)所示，该槽中没有什么嵌埋的情况下空气即为非磁性体。而且，也可以构成为将非磁性体嵌埋于上述槽中。因而，相邻的磁性体所形成的记录轨6便成为由非磁性体分区的构成。举例来说，如图6所示，磁性体所形成的记录轨6便成为由非磁性体13分区的构成。
另外，图4(A)、图4(B)虽未图示，但媒体表面上按薄膜形状形成有DLC(类金刚石的碳)所制成的保护膜，并涂布有润滑剂。磁性记录轨的径向宽度Tw形成为比非磁性保护带7的宽度大，本实施方式的磁盘媒体中，该磁性体/非磁性体的径向比为2∶1，即属于磁性体占有率为67％的图案。另外，图4(A)、图4(B)中Tp给出数据记录轨间距。
下面参照图5具体说明伺服区域12的图案。
如图5所示，伺服区域12的两肋部位设置有先前说明的数据区域11。伺服区域12包括导引部12a、地址部12b、12c、位置偏差检测用分段部12d(下面也称为分段部12d)、以及间隙部12e，与数据区域11同样形成为磁性体/非磁性体的图案。从记录容量提高的观点考虑，希望数据区域11所占的比例较高，希望数据区域11为9成或以上，而伺服区域12则为1成或以下。
导引部12a的设置是用以相对于带图案的媒体1因旋转偏心等所产生的时间偏差，进行使伺服信号再生用时钟同步的PLL(Phase-Locked Loop锁相环)处理、使信号再生振幅确保为适当的AGC(Automatic Gain Control自动增益控制)处理。导引部12为由在半径方向上延伸的大致圆弧按辐射形状连续的磁性体/非磁性体所形成的、在圆周方向上重复的图案，在记录轨方向上磁性体和非磁性体两者之比大致为1∶1，也就是说以50％的磁性占有率来形成。此外，一条一条的线状磁性体图案以与再生磁头的宽度和偏斜角相对应的周期分断。
在地址部12b、12c，被称为柱面标记12的伺服信号识别码、扇区信息、柱面信息等以与导引部12a的圆周方向间距相同的间距按曼彻斯特码形成。具体来说，柱面信息12c为其信息随每一伺服记录轨变化的图案，因而进行所谓葛莱码即与相邻记录轨的变化为最小这种码变换，再通过进行曼彻斯特编码来记录，以便减小寻址动作时的地址判读误差的影响。该区域的磁性占有率同样为约50％。
分段部12d是用以对从柱面地址在轨状态的偏轨量进行检测的偏轨检测用区域，进一步形成有称为A、B、C、D分段的4个在半径方向图案相位错开的标记。上述各分段在圆周方向上以与导引部12a相同的间距周期配置有多个标记，径向周期取为与地址图案的变化周期成正比的周期，换言之取为与伺服记录轨周期成正比的周期。本实施方式的磁盘媒体中，各分段在圆周方向上形成为10周期，而半径方向则采取以伺服记录轨周期的2倍长周期重复的图案。而且，标记形状基本上形成方形，严格来说，可追求形成考虑到磁头存取时的偏斜角的平行四边形。而且，标记部形成为非磁性部。可通过运算处理该分段部12d的A、B、C、D各分段部的再生信号的平均振幅值来算出偏轨量。
下面参照图1(A)说明本实施方式磁盘媒体的特征。本实施方式的磁盘媒体中，导引部12a通过将非磁性体15介于其间来设置多个由磁性体14所形成的记录图案带(图1(A)中由在上下方向上延伸的磁性体所形成的图案)，各记录图案带以与再生磁头110的宽度相等的间隔由非磁性体15分断。
这样，本实施方式中，导引部12a的记录图案与现有情形不同，并非是横过记录轨的平行连续的带状记录图案多个并排的结构，而是具有相邻的磁性体14所形成的带状记录图案分别由非磁性体15以周期性间隔分断这种结构。由此可以解决以往成问题的磁头悬浮稳定性问题。具体来说，导引部12的带状图案以固定周期性间隔分断的话，磁头和磁盘媒体两者间的气流便与以往横过记录轨的平行连续的带状图案的状态有所不同，难以在记录轨的横过方向上流动。该气流状态接近于在数据区域中排列有沿记录轨的带状图案的状态。所以，记录再生时即便是悬浮磁头从磁盘媒体的数据区域移至伺服区域，也不会有气流的紊乱，可获得磁头稳定的悬浮性。
而且，具有相邻的磁性体所形成的带状记录图案分别由非磁性体15以周期性间隔分断这种结构，因而制造本实施方式的磁盘媒体所用的标线片与现有磁盘媒体用的标线片有所不同，由于并非具有细长的开口部分这种情形，因而强度高。
本实施方式磁盘媒体的导引部12a，就记录图案带分断的周期而言，希望是如图1(A)所示等于再生磁头110的宽度。导引部12a的记录图案带分断的周期性间隔等于再生磁头110宽度的情况下，再生磁头110通过各记录图案带时，再生磁头110和各记录图案带的磁性体14两者的重合面积，与图2(a)所示的磁头位置、磁头扫描方向无关大致为固定值，因而可获得图2(b)所示的始终固定的再生信号。由此，总可以得到导引部12a所必需的条件，即与磁头位置无关的固定强度的信号。
(变形例)另外，导引部12a的磁性体和非磁性体所形成的记录图案，即便是图1(A)所示的记录图案其磁性体14和非磁性体15反转(相反)的图1(B)所示的记录图案，也可得到与本实施方式同样的效果。具体来说，图1(B)所示的导引部12a的记录图案形成为，在磁性体14所形成的带内设有同一形状的多个非磁性体15在记录轨的大致正交方向上周期性地配置的多个列。而且，相邻列的非磁性体15形成为彼此排列各不相同的构成，各列非磁性体15的一周期间隔可构成为与再生磁头110的宽度相等的间隔。另外，图1(B)所示的导引部12a可以用与图1(A)所示导引相同的表现形式来表现。具体来说，如图1(A)所示情形那样由磁性体14所形成的各记录图案带由非磁性体15按周期性方式分断，该分断的周期性间隔大致等于再生磁头110的宽度，但与图1(A)所示的情形不同，相邻带形成为由磁性体14连接这种构成。
(第二实施方式)下面参照图7(A)、图7(B)、和图7(C)说明本发明第二实施方式的磁盘媒体。
一般，磁记录再生装置中通过支臂上装配的记录再生磁头在磁盘媒体上移动来记录再生磁盘媒体上的磁记录信息，但由于记录再生磁头的位置可改变磁盘媒体上记录轨方向和支臂两者间的相对角度即偏斜角。第一实施方式中，导引部12a的磁性体14所形成的各记录图案带由非磁性体15按周期性方式分断，该分断的周期性间隔与偏斜角无关，大致等于再生磁头110的宽度，但本实施方式构成为导引部12a的记录图案的周期性间隔等于随偏斜角变化而产生的再生磁头的执行宽度(读取宽度)的变化。
如图7(A)所示，磁记录再生装置中，记录再生磁头110装配于支臂130的前端，支臂130可通过由未图示的音频线圈电动机旋转，使记录再生磁头110移动至磁盘媒体1上任意的半径位置。这种情况下，相对于记录轨方向的记录再生磁头110的仰角即偏斜角随支臂130的旋转位置变化。
再生磁头110相对于记录轨方向的偏斜角一旦变化，再生磁头110相对于记录轨的执行宽度也随之如图7(A)所示变化。因而，本实施方式中导引部12a的记录图案的周期性间隔，如图7(B)、图7(C)所示，构成为与基于再生磁头110偏斜角的再生磁头110的执行宽度相对应从磁盘媒体1的内周至外周进行变化，不论是哪一记录轨位置都等于再生磁头110的执行宽度。图7(B)示出偏斜角没有(＝0)的情形，即与磁盘媒体1的半径方向呈直角的位置具有支臂130的情形，这种情况下导引部12a的记录图案的周期性间隔大致等于再生磁头110的宽度W即执行宽度。图7(C)示出偏斜角存在(≠0)的情形，即磁盘媒体1的半径方向和支臂130所成的夹角并非呈直角的情形，这种情况下导引部12a的记录图案的周期性间隔并非再生磁头110的实际宽度W，而是大致等于执行宽度W1。
通过如本实施方式那样使导引部12a的记录图案的周期性间隔如图7(B)、图7(C)所示与基于再生磁头110偏斜角的再生磁头110的执行宽度大致相等，可得到良好的再生信号。
另外，本实施方式的磁盘媒体也与第一实施方式同样，再生磁头的悬浮稳定性较好。而且，制造本实施方式磁盘媒体所用的标线片与第一实施方式同样，并非具有细长的开口部，因而为强度高的标线片。
另外，第一实施方式(含变形例，下同)和第二实施方式的磁盘媒体1中，导引部12a的记录图案带和相邻的记录图案带两者间的分断间隔d1(参照图1(A))以及相邻的记录图案间连接的间隔d2(参照图1(B))也可以至少与再生磁头110的读取宽度(执行宽度)相等，间隔d1或间隔d2为再生磁头110执行宽度的1/N(N为自然数)也行。这种情况下也可与再生磁头110的位置无关得到固定强度的再生信号。
(第三实施方式)下面参照图8说明本发明第三实施方式的磁盘媒体。本实施方式的磁盘媒体为带图案的媒体，如图8所示形成为数据区域的磁性体所形成的记录轨6由非磁性体13分区，并在相邻的磁性体所形成的记录轨6间的一部分上按记录轨宽度方向设置磁性体所形成的支持部6b这种构成。具体来说，相邻的记录轨6形成为由相同的磁性体所形成的支持部6b接合这种构成。支持部6b图示的是与记录轨部6相同高度的形状，但实际上支持部6b低于记录轨部分6也行。而且，非磁性体13图示的是与嵌埋有非磁性材料的磁性部6以及支持部6b相同高度的形状，但实际上覆盖在支持部6b上面也行，非磁性体为空气等气体情况下有凹凸存在也行。
制造本实施方式磁盘媒体所用的标线片，对数据区域设置与支持部6b相对应的部分，因而能够提高标线片的强度。
另外，本实施方式的磁盘媒体中，伺服区域的导引部也可以包括与现有磁盘媒体同样平行并排连续的带状磁性体所形成的记录图案。而且，与第一或第二实施方式的磁盘媒体同样，伺服区域的导引部也可以为磁性体所形成的各记录图案带由非磁性体以周期性方式分断这种构成。这种情况下，与第一以及第二实施方式情形同样，加载于磁记录再生装置上的情况下磁头和磁盘媒体两者间没有气流紊乱情况，可得到磁头的稳定悬浮性。
下面作为参考，参照图9说明使用了制造第一至第三实施方式磁盘媒体所用的标线片的缩小投影曝光。
所谓缩小投影曝光，是指如图9所示，采用具有规定图案并让电子束透过的标线片64，并将该标线片64插入电子枪60和缩小透镜66之间。从电子枪60出射的电子束62以某种截面积照射到标线片64上，并根据标线片64上的图案让电子束62透过，导向缩小透镜66。缩小透镜66具有使电子束62的辐射截面积进行数倍缩小的作用，通过缩小透镜66的电子束62照射到母盘68上。母盘68上由缩小透镜66将透过标线片64图案的电子束按若干分之一尺寸缩小投影。结果母盘68上曝光的电子束绘制图案根据缩小透镜66的倍率成为标线片64上图案的若干分之一尺寸的细微图案。另外，缩小投影曝光所用的光也可为电子束以外的化学束，举例来说，为KrF、ArF、F2等受激准分子激光、i线、或g线等汞灯光等。
现有磁盘媒体的导引部图案，由横过记录轨的平行连续的多个带状图案所构成，因而具有该带状图案的缩小投影曝光用标线片具有并列连续的细长开口部，因而有掩模发生变形而在投影方面造成光学障碍、掩模其强度脆弱这种问题。
但第一以及第二实施方式其中某一种磁盘媒体中，导引部的磁性体所形成的带状记录图案具有由非磁性体以周期性间隔分断这种结构。因此，制造该磁盘媒体所用的缩小投影曝光用标线片，以断续方式分断得到开口部，因而具有掩模能够充分保持强度的优点。所以，制造第一以及第二实施方式磁盘媒体所用的缩小投影曝光用标线片，可以使得掩模没有变形，而在母盘上绘制正确的图案。
母盘上的抗蚀剂为正片型的情况下，透过标线片的电子束等化学束所照射的部位成为显影后的凹部，以该母盘为基础通过Ni电铸来制作母版，用该母版或该母版的孙级母版进行压印，制作磁性体加工型磁盘媒体的情况下，以及用上述母版同样进行基底加工从而在该基底上形成磁性膜等情况下，标线片的开口部最终成为磁盘媒体的凹部(非磁性部)，因而可以通过在标线片上设置断续的开口部，在磁盘媒体上形成图1(B)所示这种导引部。
另一方面，母盘上的抗蚀剂为负片型的情况下，透过标线片的电子束等化学束所照射的部位成为显影后的凸部，以该母盘为基础通过Ni电铸来制作母版，用该母版或该母版的孙级母版进行压印，制作磁性体加工型磁盘媒体的情况下，以及用上述母版同样进行基底加工从而在该基底上形成磁性膜等情况下，标线片的开口部最终成为磁盘媒体的凸部(磁性部)，因而可以通过在标线片上设置断续的开口部，在磁盘媒体上形成图1(A)所示这种导引部。
而且，也可以利用其凹凸与上述情形相反的母版来形成磁性部/非磁性部有所不同的磁盘媒体。
另外，制造第三实施方式磁盘媒体所用的缩小投影曝光用标线片也与上述情形同样，具有掩模可以充分保持强度的优点，掩模没有变形，可以在母盘上绘制正确的图案，在磁盘媒体上形成所需的图案。
(实施例)下面说明本发明实施例。
(第一实施例)参照图10(A)至图11(C)说明本发明第一实施例的标线片的制造方法。本实施例的制造方法所制造的标线片(掩模)为模板型，用于制造第一以及第二实施方式其中某一种磁盘媒体。
首先，如图10(A)所示，制备硅基底50上形成有作为蚀刻时阻挡层的硅氧化膜51、并在其上形成有SOI(Silicon on Insulator绝缘体上的硅)层52的SOI基底。以茴香醚按1.5倍稀释日本ZEON(ゼオン)公司制造的抗蚀剂(ZEP-520)，用0.2μm薄膜滤器过滤后，进行旋涂，以200℃预烘焙3分钟，在SOI层52上形成0.2μm厚度的抗蚀剂层53(参照图10(A))。
接下来，利用电子束绘制装置的输送系统将该基底输送至电子束绘制装置(未图示)内的规定位置，在真空下用电子束在抗蚀剂层53上曝光转印对硬盘图案进行4倍放大的图案。该图案其记录轨间距为150nm，再生磁头灵敏宽度为100nm。因而，标线片上的记录轨间距宽度为600nm。而且，以电子束绘制装置曝光，标线片上的导引部的相邻的带状图案的开口部，在半径方向上磁头宽度为100nm、而在标线片上则为400nm的磁头宽度以根据偏斜角调制的周期进行连接的结构。曝光后，将上述硅基底浸渍于ZED-N50(日本ZEON(ゼオン)公司制造)中90秒钟来显影，然后浸渍于冲洗液(ZMD-B(日本ZEON(ゼオン)公司制造))中90秒钟进行冲洗，利用空气吹风风干法来干燥，形成抗蚀剂图案53a(参照图10(B))。
接着，以抗蚀剂图案53a为掩模对SOI层52进行各向异性蚀刻直至硅氧化膜51露出(参照图10(C))，得到形成了图案的SOI层52a。然后去除抗蚀剂图案53a。
接下来，在硅基底50的背面涂布抗蚀剂，用平版照相技术形成抗蚀剂图案54(参照图10(D))。然后以抗蚀剂图案54为掩模用KOH(氢氧化钾)对硅基底50蚀刻直至硅氧化膜51露出(参照图11(A))。接着，去除抗蚀剂图案54(参照图11(B))。接下来，用氟酸去除硅基底50与形成了图案的SOI层52a两者间露出的硅氧化膜51，得到标线片(模板掩模)(参照图11(C))。
采用该标线片的缩小投影曝光，与现有标线片相比，可进行开口部没有失真的、稳定的图案绘制。
为了对比，采用导引部的磁性体所形成的记录图案未利用非磁性体按周期性方式分断的标线片、并利用4倍的EB缩小投影曝光来制作母盘的情况下，标线片的导引部在多条并列的带状开口部位有图案失真发生，标线片制作后即破损。
与之相反，第一实施例制造方法制造的标线片不会造成上述标线片导引部的破损，而且可利用缩小投影曝光得到包括角的弧度小的地址信号、分段信号的母盘。加载了由此制作的带图案的媒体的磁记录再生装置其磁头稳定悬浮。
(第二实施例)下面参照图12(A)至图13(F)说明本发明第二实施例磁盘媒体的制造方法。本实施例的制造方法用第一实施例所制造的模板掩模(标线片)来进行。
如图12(A)所示，以茴香醚按2倍稀释抗蚀剂(ZEP-520)，用0.2μm薄膜滤器过滤后，在硅基底22上进行旋涂。然后立即以200℃预烘焙3分钟，得到0.1μm厚度的抗蚀剂24。
通过上述第一实施例制造方法所得到的掩模(标线片)，用缩小投影电子束曝光装置将缩小为掩模尺寸的1/4的图案利用曝光转印到抗蚀剂24上(参照图12(B))。曝光后，将上述硅基底浸渍于显影液(ZED-N50)中90秒钟来显影，然后浸渍于冲洗液(ZMD-B(日本ZEON(ゼオン)公司制造))中90秒钟进行冲洗，利用空气吹风风干法来干燥，得到具有抗蚀剂图案24a的抗蚀剂母盘(参照图12(C))。
接下来，如图12(D)所示，利用溅射法在抗蚀剂母盘上形成较薄的导电膜26。靶标使用纯镍，并抽吸真空至8×10-3Pa后，导入氩气，对调整为1Pa的腔室内施加400W的直流电功率进行40秒钟的溅射，得到30nm的导电膜26。
然后，对带有导电膜26的抗蚀剂母盘使用氨基磺酸镍电镀液(昭和化学公司制造的NS-160)电铸90分钟，形成电铸膜28(参照图12(E))。电铸浴条件如下氨基磺酸镍600g/L硼酸40g/L表面活性剂(月桂醇硫酸钠)0.15g/L液温55℃PH4.0电流密度20A/dm2这时得到的电铸膜28其厚度为300μm。
此后，通过从抗蚀剂母盘上剥离电铸膜28，得到包括导电膜26和电铸膜28以及剩余抗蚀剂的图案30(参照图12(F))。接着，以氧等离子灰化法去除剩余抗蚀剂(参照图12(G))。氧等离子灰化法在以100ml/分钟流量导入氧气、调整为4Pa真空的腔室内进行100W、20分钟的等离子灰化处理。由此，得到包括导电膜26和电铸膜28的母版30。然后，通过用金属刀刃敲打掉所得到的母版中的不要部分，便形成为压印用母版。
用丙酮对母版30进行15分钟的超声波清洗后，为了提高压印时的脱模性能，浸入到用乙醇将氟烷基硅烷(CF3(CF2)7CH2CH2Si(OMe)3)(GE东芝硅公司制造的TSL8233)稀释为5％的溶液中30分钟，用鼓风机将溶液吹散后，以120℃退火1小时。
(磁性体加工型磁盘媒体的制作)另一方面，如图13(A)所示，准备0.85英寸环型玻璃基片的待加工基底31上形成有垂直记录用磁记录层32的基底，在该磁记录层32上以3800rpm转速旋涂酚醛类抗蚀剂(ロ一ム·アンド·ハ一ス公司制造的S1801)，并形成抗蚀剂膜34。然后，通过进行上述母版30相对于待加工材基底31的对位，以2000bar对母版30按压1分钟，将其图案转印到抗蚀剂膜34上(参照图13(B))。对转印有图案的抗蚀剂膜34照射UV(紫外线)5分钟后，按160℃加热30分钟。
对如上所述压印的基底，用ICP(感应结合等离子)蚀刻装置，在2mTorr的蚀刻压强下对抗蚀剂膜34进行氧元素RIE，来形成抗蚀剂图案34a(参照图13(C))。接着，以抗蚀剂图案34a为掩模，用Ar离子碾磨工艺对磁记录膜32进行蚀刻，形成有离散的磁记录层32a(参照图13(D))。形成磁记录层32a后，为了对作为蚀刻掩模的抗蚀剂图案34a进行剥离，以400W、1Torr进行氧元素RIE(参照图13(E))。
磁记录层32a形成后，以CVD(化学气相成膜法)形成3nm厚度的DLC膜作为保护膜(参照图13(F))。此外，以浸渍法将润滑剂涂布为1nm厚度，得到磁性体加工型磁盘媒体。另外，磁记录层32a形成后，利用溅射等将SiO2等非磁性材料嵌埋于槽中形成后，形成DLC膜作为保护膜，在对表面形状进行平坦化调整以便磁头悬浮稳定方面也较为理想。
上述说明涉及的是磁性体加工型磁盘媒体的制造方法，但下面说明基底加工型磁盘媒体的制造方法。
(基底加工型磁盘媒体的制造方法)首先，准备0.85英寸环型玻璃基片作为待加工材基底，在该玻璃基片上以3800rpm转速旋涂酚醛类抗蚀剂(ロ一ム·アンド·ハ一ス公司制造的S1801)，并形成抗蚀剂膜。然后，通过进行上述母版相对于待加工材基底的对位，以2000bar对母版按压1分钟，将其图案转印到上述抗蚀剂膜上。对转印有图案的抗蚀剂膜照射UV(紫外线)5分钟后，按160℃加热30分钟。
对如上所述压印的基底，用ICP(感应结合等离子)蚀刻装置，在2mTorr的蚀刻压强下对上述抗蚀剂膜进行氧元素RIE，来形成抗蚀剂图案。接着，以该抗蚀剂图案为掩模，用Ar离子碾磨工艺对玻璃基底进行蚀刻。玻璃基片蚀刻后，为了对原来作为蚀刻掩模的抗蚀剂图案进行剥离，以400W、1Torr进行氧元素RIE。以溅射法在这样得到的表面加工基底上形成磁记录层。以CVD(化学气相成膜法)形成3nm厚度的DLC膜作为保护膜。此外，以浸渍法将润滑剂涂布为1nm厚度，得到基底加工型磁盘媒体。另外，与磁性体加工型同样，磁记录层形成后，利用溅射等将SiO2等非磁性材料嵌埋于槽中形成后，形成DLC膜作为保护膜，在对表面形状进行平坦化调整以便磁头悬浮稳定方面也较为理想。
本实施例制作的磁盘媒体的记录轨间距为150nm，再生磁头宽度为100nm。为了对比，对与本实施例相同尺寸的磁盘媒体并非用缩小投影，而是用束径为50nm的电子束绘制装置制作母盘，并制造磁盘媒体，加载于磁记录再生装置上的情况下，磁头悬浮性能不稳定，磁头与媒体相接触而造成了磁头碰撞。
(第三实施例)下面参照图14至图16说明本发明第三实施例的磁记录再生装置。本实施例的磁记录再生装置加载有第一至第三实施方式的磁盘媒体。
图14示出本实施例的磁记录再生装置。图14是1条磁头所形成的构成的概念图，但本实施例的磁盘装置为由2条磁头在两面记录再生1张将两面加工为DTR(discrete trackrecording分立的记录轨记录)用途的垂直磁化2层膜的小直径带图案媒体这种驱动器，分别在上下两面设置朝下磁头/朝上磁头。
另外，磁记录再生装置的构成，除了磁盘媒体为第一至第三实施方式其中某一种磁盘媒体这一方面以外，基本上与现有构成相同。
盘片驱动器包括下列构成也称为磁头盘片组件(HDA)100的主体部；以及也称为PCB的印刷电路板200。
HDA具有两面加工为DTR用途的盘片140；使该盘片140旋转的主轴电动机(SPM)150；磁头110；磁头移动机构；以及未图示的磁头放大器(HIC)。
磁头110在磁头主体即滑动体(ABS)上安装有具有再生元件(GMR元件)和写入元件的磁头元件，因而可加载于磁头移动机构上。
磁头移动机构具有支持磁头110的悬臂130；以旋转自如的方式支持该臂130的转轴139；以及VCM 131。VCM 131使该臂130发生绕转轴的转矩，在盘片140的半径方向上移动磁头110。此外，用以放大磁头110输入输出信号的磁头放大器(HIC(未图示))固定于臂130上，并由软线缆(FPC(未图示))与PCB 200一侧电连接。另外，本实施例为了使磁头信号的SN降低，属于将HIC设置于磁头移动机构上这种构成，但也可以是与主体部固定的构成。
DTR盘片媒体140如前文所述，具有正反两面，按磁头移动轨迹和盘片140的伺服区域图案中的圆弧形状大体一致这种正反方向组装。盘片规格与现有盘片相同，当然是满足适应于驱动的外径、内径、记录再生特性等的规格，但作为伺服区域圆弧形状给出的是，在以盘片旋转中心至转轴中心的距离为半径位置所具有的圆周上，形成为具有圆弧中心，而圆弧半径为转轴至磁头元件的距离。
(PCB)PCB主要加载4个系统LSI。为盘片控制器(HDC)210、读出/写入通道IC 220、MPU 230、以及电动机驱动IC 240。
MPU 230为驱动系统的控制部，为包含实现本实施方式涉及的磁头定位控制系统的ROM、RAM、CPU、以及逻辑处理部的构成。逻辑处理部为硬件电路所构成的运算处理部，用于高速运算处理。而且，该动作软件(FW)保存于ROM，MPU 230按照该FW对驱动器进行控制。
HDC 210为硬盘内的接口部，管理盘片驱动器和主机系统(例如个人计算机)两者间的接口、MPU、读出/写入通道IC、或对电动机驱动IC进行信息交换的驱动器整体。
读出/写入通道IC 220为与读出/写入相关联的磁头信号处理部，由HIC通道切换、或处理读出/写入等记录再生信号的电路所构成。
电动机驱动IC 240为VCM及SPM的驱动部，将主轴电动机驱动控制为匀速旋转，或将来自MPU 230的VCM操作量作为电流值提供给VCM来驱动磁头移动机构。
(磁头定位系统)下面用图15简要说明磁头定位系统。
图15是磁头定位控制的模块构成图。控制对象260具体来说相当于包含VCM的磁头移动手段，信号处理部265具体来说是由通道IC和MPU(偏轨量检测处理其中一部分为MPU)实现的组成。
控制处理部，包括反馈控制部250(下面称为第一控制器)和同步抑压补偿部255(下面称为第二控制器)，具体来说由MPU实现。
信号处理部265的具体动作下文将说明，但以包含磁头位置(HP)正下方的、盘片伺服区域当中的地址信息等的再生信号为基础，生成盘片上的记录轨当前位置(TP)信息。
第一控制器250以盘片上的目标记录轨位置(RP)和磁头在盘片上的当前位置(TP)两者间的位置误差(E)为基础，在位置误差减小的方向上输出FB操作值U1。
第二控制器255为对盘片上的记录轨形状、与盘片旋转同步的振动等进行修正用的FF补偿部，事先将经过修正的旋转同步补偿值保存于存储器表格中。第二控制器255通常不用位置误差(E)，而是基于信号处理部S所提供的未图示的伺服扇区信息，通过进行表格参照来作为FF操作值U2输出。
控制处理部将第一和第二控制器250、255的输出U1、U2相加作为控制操作值U通过HDC提供给VCM，进行磁头驱动。
另外，同步补偿值表在初始动作时进行修正处理，但位置误差(E)一旦大到为设定值或以上，便开始重新修正处理，对同步补偿值进行更新处理。
(驱动器的动作及位置信息检测处理)下面用图16简要说明如何根据再生信号检测位置误差。
盘片由SPM 150按固定旋转速度旋转。磁头110通过悬臂130上设置的万向架得到弹性支持，而且悬浮设计成与伴随盘片旋转产生的空气压平衡而保持微小间隙。由此，磁头再生元件可以以一固定的磁空隙，检测来自磁盘磁性层的漏磁通。
磁盘媒体140的伺服区域信号，通过该旋转以固定周期经过磁头正下方，通过根据该伺服区域再生信号检测记录轨位置信息，可以执行固定周期的伺服处理。
HDC一旦识别称为伺服标记的伺服区域识别标志，由于是固定周期，因而可预测伺服区域到达磁头正下方的时刻。因此，HDC以导引部到达磁头正下方的时刻，提示通道开始伺服处理。
(通道的信号处理)图16示出通道中的地址再生处理构成。再生磁头的磁头放大器IC的输出信号读取到通道IC中，进行模拟滤波处理(纵向信号均衡处理)，由ADC取样为数字值。
来自磁盘媒体的漏磁场为垂直磁化，而且为磁性/非磁性的图案，但由于HIC所具有的旁路特性和纵向均衡用的通道IC前段部的均衡器处理，可完全去除DC偏置成分，来自导引部的经过模拟滤波的输出大体呈近似正弦波。与现有垂直磁化媒体不同之处在于，信号振幅的大小为减半这种量级。
另外，磁盘媒体不限于带图案的媒体，但由于会因伺服区域的漏磁通方向取向如何而误识别1、0，进而造成通道中码检测失误，因而磁头极性适当设定为与图案漏磁通相符合。
通道IC根据其再生信号相位切换其处理。进行使再生信号时钟与媒体图案周期同步的同步引入处理、读取扇区柱面信息的地址判读处理、以及用以检测偏轨量所必需的信息即分段部处理等。
尽管同步引入处理的具体细节省略，但使ADC取样的定时与正弦波状再生信号同步，并且进行数字取样值的信号振幅与某个电平对齐的AGC处理。以4点对媒体图案的1、0周期进行取样。
接下来，地址信息的再生则用FIR对取样值降噪，通过基于最似然推定(最尤推定)的维特比解码处理、葛莱码逆变换处理，变换为扇区信息和记录轨信息。由此，可以取得磁头的伺服记录轨信息。
接着就分段部来说，通道过渡到对偏轨量的检测处理。该处理虽未图示，但按脉冲序列信号(バ一スト信号)图案A、B、C、D依次对各信号振幅进行取样保持积分处理，将与平均振幅相当的电压值输出给MPU，对MPU发出伺服处理中断。MPU一旦受理该中断，便通过内部ADC按时序读取各脉冲序列信号，由DSP进行变换为偏轨量的处理。可根据该偏轨量信息和伺服记录轨信息来精密检测出磁头的伺服记录轨位置。
(第四实施例)下面说明本发明第四实施例磁盘媒体的制造方法。本实施例的制造方法为制造第三实施方式的磁盘媒体的制造方法。
首先，用第一实施例的制造方法制作第三实施方式的磁盘媒体用标线片。接下来使用该标线片用第二实施例说明的制造方法制作图8所示的磁盘媒体。
将本实施例制造方法所制造的磁盘媒体组装到磁记录再生装置中进行信号评价，发现尽管数据区域的再生信号当中检测出被视为由记录轨6间的支持部6b所产生的若干不同信号部分存在，但上述信号的差异属于实际使用上不成问题的程度。
按照本发明各实施方式，可以得到强度高的标线片和用该标线片制造的磁盘媒体，也可以使磁头的悬浮稳定。
权利要求
1.一种磁盘媒体，其特征在于，包括下列结构在圆周方向上划分的扇区的伺服区域内具有导引部，所述导引部具有多个磁性体所形成的带状的记录图案，而且磁性体所形成的带状的记录图案分别由非磁性体以周期性间隔分断。
2.如权利要求1所述的磁盘媒体，其特征在于，在圆周方向上相邻的所述带状的记录图案由所述非磁性体分断。
3.如权利要求1所述的磁盘媒体，其特征在于，在圆周方向上相邻的所述带状的记录图案由磁性体连接。
4.如权利要求1所述的磁盘媒体，其特征在于，还具有在圆周方向上划分的扇区的数据区域内由在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨；以及相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带，相邻的所述记录轨间的一部分由与所述记录轨相同的磁性材料接合。
5.一种磁盘媒体，其特征在于，具有在圆周方向上划分的扇区的数据区域内由在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨；以及相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带，相邻的所述记录轨间的一部分由与所述记录轨相同的磁性材料接合。
6.如权利要求5所述的磁盘媒体，其特征在于，所述非磁性保护带由非磁性材料嵌埋，所述被嵌埋的非磁性材料其表面和所述记录轨的表面基本上为同一面。
7.一种磁记录再生装置，其特征在于，具有权利要求1所述的磁盘媒体；以及记录再生时在所述磁盘上相对移动的磁头，所述周期性间隔实际上等于所述磁头的宽度。
8.如权利要求7所述的磁记录再生装置，其特征在于，在圆周方向上相邻的所述带状的记录图案由所述非磁性体分断。
9.如权利要求7所述的磁记录再生装置，其特征在于，在圆周方向上相邻的所述带状的记录图案由磁性体连接。
10.如权利要求7所述的磁记录再生装置，其特征在于，所述磁盘媒体还具有在圆周方向上划分的扇区的数据区域内由在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨；以及相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带，相邻的所述记录轨间的一部分由与所述记录轨相同的磁性材料接合。
11.如权利要求7所述的磁记录再生装置，其特征在于，所述记录图案呈岛状，所述记录图案间嵌埋有非磁性体，所述磁盘媒体表面被平坦化。
12.一种磁记录再生装置，其特征在于，具有权利要求1所述的磁盘媒体；以及记录再生时在所述磁盘上相对移动的磁头，所述周期性间隔实际上等于所述磁头的执行宽度。
13.如权利要求12所述的磁记录再生装置，其特征在于，在圆周方向上相邻的所述带状的记录图案由所述非磁性体分断。
14.如权利要求12所述的磁记录再生装置，其特征在于，在圆周方向上相邻的所述带状的记录图案由磁性体连接。
15.如权利要求12所述的磁记录再生装置，其特征在于，所述磁盘媒体还具有在圆周方向上划分的扇区的数据区域内由在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨；以及相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带，相邻的所述记录轨间的一部分由与所述记录轨相同的磁性材料接合。
16.如权利要求12所述的磁记录再生装置，其特征在于，所述记录图案呈岛状，所述记录图案间嵌埋有非磁性体，所述磁盘媒体表面被平坦化。
17.一种标线片，用于制作磁盘媒体，其特征在于，该磁盘媒体包括数据区域，具有在圆周方向上设置的磁性体所形成的多条记录轨和相邻的所述记录轨间设置的非磁性保护带；以及伺服区域，具有导引部，并在圆周方向上将所述数据区域的所述多条记录轨划分为扇区，并且，相邻的所述记录轨间的一部分接合。
18.如权利要求17所述的标线片，其特征在于，所述导引部包括下列结构具有多个带状图案，而且所述带状图案分别以周期性间隔分断。
全文摘要
本发明能够得到强度高的标线片和用该标线片制造的磁盘媒体。本发明的磁盘媒体包括下列结构在圆周方向上划分的扇区的伺服区域内具有导引部，所述导引部具有多个磁性体所形成的带状的记录图案，而且磁性体所形成的带状的记录图案分别由非磁性体以周期性间隔分断。
文档编号G11B5/60GK1877703SQ20061009157
公开日2006年12月13日 申请日期2006年6月8日 优先权日2005年6月10日
发明者冲野刚史, 森田成二, 樱井正敏, 杉村忍 申请人:株式会社东芝