专利名称：微致动器、含其的磁头折片组合及其制造方法、以及硬盘驱动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种微致动器，尤其是涉及可进行磁头的微小定位的微致动器。另外，还涉及到使用该微致动器的磁头折片组合及其制造方法，以及硬盘驱动器。
背景技术：
硬盘驱动器作为一种信息存储装置，其上搭载有磁头折片组合，且该磁头折片组合上安装有对作为存储媒介的磁盘进行记录再生的磁头滑块。如图7所示，该图中示出了现有技术中的一种磁头折片组合100。
磁头折片组合100包括磁头滑块101、在前端部上安装该磁头滑块101的带有弹性的挠曲件102、形成在该挠曲件102上并进行对所述磁头滑块101的信号传送的FPC103(柔性印刷电路)、以及支撑所述挠曲件102的负载杆104。并且，该负载杆104介入基板(图未示)安装在磁头臂上。进而，多个磁头折片组合100通过各磁头臂用支架层积固定，并通过音圈马达可旋转驱动而被轴支撑，从而形成磁头驱动臂组合(图未示)。
通过使用音圈马达旋转驱动该磁头折片组合100，从而进行安装在其前端部的磁头滑块的定位。然而，由于近年来不断要求磁盘的高记录密度化，因此通过音圈马达进行的定位控制对磁头的定位精度存在不足之处。
由此，为了进行微小定位研究出了一种技术，其内容记载在专利文献1中。接下来，结合图7至图11对现有技术中的搭载在磁头折片组合100上的磁头用微致动器的组成进行说明。
如图7所示，磁头用微致动器110安装在挠曲件102的舌片面上。该磁头用的微致动器110大致呈U字形状，其在开口端侧支撑着磁头滑块101使得记录再生元件部位于其中。接下来进行进一步的说明。
如图8所示，该图示出了搭载有磁头滑块101的磁头用的微小定位微致动器110的组成。其中，图8A是俯视图，图8B是主视图。首先，磁头用微致动器110包括安装到挠曲件102上的基底部111、与该基底部111接合并在其两端延同一方向延伸的一对臂部112及113，该微致动器110大致呈U字形状，且在所述一对臂部112、113之间形成一空间。而且，位于该一对臂部112、113之间的空间部中收容有磁头滑块101，并由该臂部112及113支撑。此时的支撑方法，如图8A所示，各臂部112、113的前端部附近的内侧设置环氧树脂等的粘结剂114，通过该粘结剂114固定磁头滑块101前端附近的各侧面。而且，为了使磁头滑块101的记录再生元件侧的端面位于臂部112、113的前端附近而将其收容到该臂部112、113之间的空间部，因此将臂部112、113的长度形成为比磁头滑块101的长度方向的长度更长。
在此，如图8B所示，磁头滑块101的上方设置有与该磁头滑块的顶面相对的磁盘。而且，磁头滑块101的前端侧附近的磁盘相对面(图8B的顶面)上形成有记录再生元件部(图未示)，且其前端侧的端面(图8B的左侧端面)上形成有记录再生元件侧端子(图未示)。
另外，磁头用微致动器110的基底部111与一对臂部112、113由具有弹性的陶瓷烧结体一体形成。但是，与各臂部112、113的基底部111对应的接合部分(各臂部的根部)形成有规定的开口部(间隙)，而对该开口部填充环氧树脂等的弹性体115。
并且，位于各臂部112、113外侧的侧面上分别安装有PZT等的压电元件112a、113b(图8B中未示出)。这些压电元件112a、113b是根据被施加的电压而发生伸缩的元件。由此，带有弹性的臂部112、113则是基本沿着磁盘面曲折变形的。从而，可以使安装在一对臂部112、113的前端部上的磁头滑块101的记录再生元件部基本沿着磁盘面进行摆动驱动，并可以进行微小的定位控制。
接下来，结合图9至图11所示将对现有技术中的磁头用微致动器110安装到挠曲件102上时的状况进行详细说明。其中，图9及图10仅表示挠曲件102及微致动器110的构成，图9是俯视图，图10是主视图。另外，图11是FPC103的相关示意图。
如图9所示，挠曲件102由形成折片结构的舌片面102aa的挠曲件主体102a及连接在磁头滑块101的侧端子上形成挠曲件侧端子的分离部102b构成。如图11所示，这些部件通过FPC103连接组成为一体。
并且，首先，将带有弹性的环氧树脂115填充到形成在微致动器110的各臂部112、113的根部上的开口部中。之后，将微致动器110的基底部111固定到挠曲件102的舌片面的后端附近，同时利用粘结剂117将臂部112、113的前端侧也固定到分离部102b上。接着，利用金属焊等方式将把形成在臂部112、113的侧面上的图中未示出的压电元件侧端子与形成在舌片面上的线路侧端子相互连接。由此，如图11所示，介入FPC103、103b将把作为伸缩信号的电压施加到微致动器110的压电元件112a、113a上。
接下来，如图11所示，将磁头滑块101配置在一对臂部112及113之间，利用焊料116连接磁头滑块101的记录再生元件侧端子及分离部102b的线路侧端子103aa。并且，利用粘结剂114固定磁头滑块101与各臂部112、113，即，固定磁头滑块101前端附近的侧面与臂部112、113的前端附近的内侧侧面。由此，作为磁头滑块101的前端部的记录再生元件部伴随臂部112、113的伸缩，只有FPC103与连接在挠曲件主体102a上的分离部102b一同做图11中的箭头X所示方向上的摆动驱动，可以进行更高精度的微小定位控制。
专利文献1日本专利申请公开特开2002-74870号公报另一方面，随着近年来硬盘驱动器的大容量化，进一步推行磁盘的高记录密度化。为了与此相对应，所述现有技术中采用称之为皮克滑块(pico slider)(例如，长度＝1.25、宽度＝1.00、高度＝0.30)的磁头滑块，甚至还期望使用称之为分特滑块(femto slider)的更小(例如，长度＝0.85、宽度＝0.70、高度＝0.23)的磁头滑块。然而，分特滑块，由于其自身的尺寸过小，使得其强度较弱，而且，由于对应的微致动器也非常微小，因此如同该滑块，微致动器的强度也较弱，其可靠性下降。
根据于此，研究出了一种可维持强度的同时能够对应具有高记录密度的磁盘的，大小介于皮克滑块与分特滑块之间的磁头滑块(以下称之为片特滑块(pemto slider))。
其中，将现有技术中的所述皮克滑块安装到微致动器110上时，如图10所示，在与挠曲件102相对面的一侧，有微致动器110的臂部112、113与磁头滑块101位于基本上相同的平面上。而且，挠曲件主体102a与分离部102b位于基本上相同的平面上，分离部102b与磁头滑块101端子的连接较为容易。
但是，现有技术中的挠曲件102与磁头滑块101的连接技术应用到比皮克滑块的厚度更薄的具有新尺寸大小的片特滑块上，则会出现以下所述问题。首先，图12中示出了安装片特滑块101′时的状况。
该片特滑块101′，由于其尺寸没有分特滑块那样微小，因此其强度相对较高，且其厚度薄于皮克滑块。因此，如图12a、图12b所示，当把该片特滑块101′安装到臂部112、113上时，该片特滑块101′与挠曲件102的分离部102b之间的距离D变得较长，从而导致连接形成在该片特滑块101′上的记录再生元件侧端子与形成在分离部102b上的线路侧端子之间的难度加大了。其原因是，图12b中的片特滑块101′的顶面侧即是磁盘的相对面，而除此之外再没有办法将片特滑块101′配置在挠曲件102的一侧。
为解决以上所述问题，研究出一种片特滑块101′的挠曲件的相对面与臂部112、113的挠曲件的相对面位于同一平面上，并降低所述臂部112、113的高度的技术方案。然而，与使用分特滑块时的状况相同，仍出现了在支撑磁头滑块101′而进行微小定位的过程中起到重要作用的微致动器110的强度下降，并使硬盘驱动器的可靠性降低的问题。
发明内容
有鉴于此，为了改善上述的不足之处，本发明的目的在于提供一种可确保与高记录密度化的磁盘相对应的高精度的定位控制，并且能实现结构的高强度化，进而，利用现有技术中的制造工程而大幅降低制造成本的磁头用的微致动器。
下面将以实施例说明一种微致动器、使用该微致动器的磁头折片组合及硬盘驱动器、以及磁头折片组合的制造方法。
一种微致动器，包括有与挠曲件相接合的基底部、与该基底部相接合的一对臂部、以及安装在所述臂部的每个臂上且根据施加的驱动信号进行伸缩变形的PZT元件，并挟持着磁头滑块的侧面，所述每个臂的长度至少与所述磁头滑块的长度方向的长度相等或更短。
根据本实施例，首先，通过依据驱动信号进行伸缩变形的PZT元件一对臂部沿同一方向弯曲变形。由此，形成有由该臂部支撑的磁头滑块的记录再生元件的前端部随着臂部的变形，与相接合分离部一同进行摆动驱动。此时，由于形成的臂部较短，因而所述磁头滑块的记录再生元件部则从该臂部突出设置。以此，相对臂部的曲折变形量，记录再生元件部可以进行更大范围的摆动，并能维持其摆动范围。具体来讲，考虑到将磁头滑块的摆动所需的空间设置在基底部侧，则将臂部的长度形成为与磁头滑块长度方向的长度相等，或者比磁头滑块长度方向的长度短一些，最终使得磁头滑块对于臂部的前端突出设置，可以确保更广的摆动范围。另外，设计臂的长度较短，还可以得到提高微致动器强度的效果。
并且，如上所述，通过将使所述磁头滑块的记录再生元件侧从所述臂部的前端突出而配设，可以抑制连接到记录再生元件侧端子上的分离部与臂部之间的如接触等的抵触现象。从而可以实现稳定的定位驱动动作。另外，如同上述，即使将支撑磁头滑块的臂部的高度设定为比该磁头滑块的厚度更高也可以抑制与磁头滑块相结合的分离部与臂部之间的接触，维持稳定的摆动状态。如此，可以将臂部的高度设计得更高，可以提高微致动器的强度。
如上所述，可以确保磁头滑块的宽摆动范围的同时，可以将臂部设定为较短且较高，因此可以实现支撑磁头滑块的微致动器的高强度化，以及可以提高搭载了所述微致动器的可靠性。并且，与现有技术中的制造工程相比较，仅磁头滑块的配置及其分离部的配置有所不同，因此可以利用现有技术中的制造方法，从而可以大幅降低制造成本。
在此，对于所述臂长，在其臂部及基底部的接合处有切口时，其切口的长度不包括在该各臂长的范围内。换言之，收容由臂部及基底部所形成的磁头滑块的空间深度即成为臂长，而该臂长也可以小于磁头滑块的长度。
还有，一种磁头折片组合，其包括微致动器、挠曲件、及磁头滑块，其中，所述微致动器挟持着磁头滑块的侧面，并包括与挠曲件相接合的基底部、与该基底部相接合的一对臂部、以及安装在所述臂部的每个臂上且根据施加的驱动信号进行伸缩变形的PZT元件；所述挠曲件与所述微致动器的基底部相接合，并包括具有与所述磁头滑块的记录再生元件的侧端子相连接的线路侧端子的分离部；所述磁头滑块，为了使所述分离部不接触于所述臂部而突出于该臂部的一端侧，并保持在该臂部上。
而且，在所述结构中，所述磁头滑块从所述臂部的一端突出的距离至少是从形成在所述挠曲件的分离部上的线路侧端子的搭载位置到位于所述臂部侧面的所述分离部端部的距离。
另外，还通过搭载具有如上所述特征的磁头折片组合而形成硬盘驱动器也可。
如同上述微致动器，根据上述构成，由于所述磁头滑块的记录再生元件部相对臂部前端突出而设，因此可以缩短臂部的长度，同时还可以增宽记录再生元件部的摆动范围。并且，如上所述，通过将所述磁头滑块的记录再生元件侧配置为从所述臂部的前端突出，可以抑制连接到记录再生元件侧端部的分离部与臂部之间的如接触等的抵触现象。从而，即使将支撑所述磁头滑块的臂部的高度设定为比该滑块的厚度高，也不会影响其摆动动作。如上所述，可以确保磁头滑块的宽摆动范围的同时，可以将臂部设定为较短且较高，因此可以实现支撑磁头滑块的微致动器的高强度化，以及可以提高搭载了所述微致动器的可靠性。
还有，一种磁头折片组合的制造方法，是把利用一对臂夹持的微致动器安装到具有形成了线路侧端子的分离部的挠曲件上，从而制造出磁头折片组合的方法，其中该磁头折片组合的制造方法中省略了将所述分离部固定到所述臂部的工序。
由此，可以把分离部从臂部分离而与磁头滑块的记录再生元件的侧端子连接，从而，可以使磁头滑块突出于臂部所装配。如上所述，可以将臂部设定为较短且较高，因此可以实现支撑磁头滑块的微致动器的高强度化，以及可以提高搭载了所述微致动器的可靠性。
根据以上所述的结构及功能，本发明实施例通过支撑磁头滑块进行摆动驱动的微致动器，可确保其摆动范围，还可提高其强度。从而，可以抑制与所述磁头滑块连接的挠曲件的分离部与所述臂部相抵触的现象，实现稳定的微小的定位控制，因而相较于现有技术具有良好的效果。
图1是硬盘驱动器的结构示意图。
图2是磁头折片组合的结构示意图。
图3是支撑磁头滑块的微致动器的结构示意图，其中，图3a是俯视图，图3b是主视图。
图4表示将微致动器搭载到挠曲件上时其状态的俯视图。
图5是图4的主视图。
图6表示在设置有FPC的挠曲件上搭载磁头滑块时其状态的俯视图。
图7是现有技术中磁头折片组合的结构示意图。
图8是现有技术中支撑磁头滑块的微致动器的结构示意图，其中，图8a是俯视图，图8b是主视图。
图9表示现有技术中将微致动器搭载到挠曲件上时其状态的俯视图。
图10是图9的主视图。
图11表示现有技术中在设置了FPC的挠曲件上搭载磁头滑块时其状态的俯视图。
图12表示现有技术中将微致动器及磁头滑块搭载到挠曲件上时其状态的示意图，其中，图12a是俯视图，图12b是主视图。
具体实施例方式
下面，结合附图对本发明的具体实施例进行详细说明。根据本发明实施例，将磁头滑块相对一对臂部的前端突出而设并支撑，可以维持其摆动范围，还可以提高微致动器的强度。以下叙述具体实施例。
结合图1至图6所示对本发明的第一实施例进行说明。其中，图1是磁盘驱动器的结构示意图，图2是磁头折片组合的结构示意图。图3是磁头用微致动器的结构示意图。图4至图5是表示致动器安装工序的说明图。
如图1中所示的硬盘驱动器50在其壳体40中收容磁头折片组合20，且该磁头折片组合20上搭载有对作为存储媒介的磁盘30进行数据记录再生的磁头滑块1。而且，具有多个所述磁盘30，对应各磁盘30的多个磁头折片组合20通过支架层叠设置并形成磁头驱动臂组合。
该磁头驱动臂组合由轴支撑着使得可以通过音圈马达旋转驱动。通过音圈马达旋转驱动，进行安装到各磁头折片组合20的前端部的磁头滑块1的定位控制。还有，本实施例中各磁头折片组合20还包括利用其前端支撑所述磁头滑块1的磁头用微致动器10，可进行磁头滑块1的记录再生元件部的微小定位控制。以下，尤其针对磁头折片组合及微致动器进行详细说明。
图2中示出了本发明实施例提供的磁头折片组合20的结构。该磁头折片组合20包括磁头滑块1、前端部安装有所述磁头滑块1的带有弹性的挠曲件2、形成在该挠曲件2上并进行对所述磁头滑块1的信号传送的FPC103(柔性印刷电路)、以及支撑所述挠曲件3的负载杆4。该负载杆4通过基板(图未示)安装在磁头臂上。
而且，由于磁头滑块1通过所述可进行细小定位控制的微致动器10安装在所述挠曲件2上，因此该挠曲件2则形成为与其相对应的形状。参照图4说明上述组成结构。该图4是仅表示挠曲件2及微致动器10的示意图。另外，在该图示中省略了形成在挠曲件2上的FPC3。
所述挠曲件2装配在所述负载杆4上，并由形成有带弹性的舌片面2aa的挠曲件主体2a、以及从该挠曲件主体2a分离并与形成在所述磁头滑块1的前端部(图4的左侧端部)上的记录再生元件侧端子(图未示)焊接接合的分离部2b所形成。另外，挠曲件2的基本组成则与现有技术相同(参照图9)。
接下来，参照图3说明本实施例提供的具有技术特征的磁头用微致动器10的结构。图3是在支撑磁头滑块1的状态下表示微致动器10结构的示意图，其中图3a为俯视图，图3b为主视图。
首先，该微致动器10包括有配置在即将在后叙述的挠曲件2的微致动器固定部2b上的基底部11、以及与该基底部11的两端接合并沿同一方向延伸的一对臂部12及13，该微致动器10具有U字形状。该磁头用微致动器10的基底部11与一对臂部12、13由具弹性的陶瓷烧结体一体形成。另外，微致动器10自身基本的组成与上述的现有技术实施例提供的基本相同。即，与支持现有技术中利用的皮克滑块(具有Length＝1.25，Width＝1.00，Height＝0.30尺寸大小的磁头滑开)进行微小定位控制的情况基本相同。然而，各臂部12、13的长度或高度等的尺寸都存在着多种不同情况。对此将在后面部分进行说明。
而且，各臂部12、13的侧面分别安装有如PZT等的压电元件12a、13a(图3b中未示出)。这些压电元件12a、12b是根据施加的电压而发生伸缩变形的元件。由此，带有弹性的臂部12、13则基本沿着磁盘面曲折变形。与此同时，为了容许臂部12、13的变形，与各臂部12、13的基底部11对应的根部形成有规定的开口(间隙)，且该开口处由环氧树脂等弹性体15填充。因此由于具有所述组成，如后述的一对臂部12、13的曲折变形变得更圆滑，且可以将安装到所述前端部的磁头滑块1得记录再生元件部几乎沿着磁盘30面进行摆动驱动，并可进行微小的定位控制。
而且，大致呈U字形状的微致动器10的开口部内，即，一对臂部12及13之间形成的空间内收容有磁头滑块1，并被该臂部12、13支撑着。
其中，被本实施例中的微致动器10支撑的磁头滑块1，其尺寸大小介于皮克滑块与分特滑块之间(称之为片特滑块)，例如这种磁头滑块大小为Length＝1.25，Width＝0.70，Height＝0.23，特别是其厚度薄于皮克滑块。
另外，所使用的微致动器10与现有技术中使用在皮克滑块上的致动器具有基本相同的结构。从而，可以继续利用现有技术中制造磁头折片组合的制造工序等基本的技术事项制造本实施例涉及的磁头折片组合。但是，本发明实施例的技术方案还存在着对应磁头滑块1的微致动器10的尺寸、安装磁头滑块1及挠曲件2时的构成及方法与现有技术不同的地方，即如下说明。
首先，如图3a、图3b所示，将磁头滑块1的记录再生元件部的侧端面(前端部)相对臂部12、13的前端侧(一端侧)突出配置并保持。在该图中，突出磁头滑块1全长的1/6左右而保持。具体来讲，其突出来的距离为，从与形成在挠曲件2的分离部2b上的磁头滑块1对应的线路侧端子的搭载位置到位于臂部12、13侧的所述分离部2b的端部的距离。
因此，通过将磁头滑块1相对臂部12及13的前端突出设置，可以更广得设定由臂部12及13的曲折变形量引起的位于磁头滑块1前端的记录再生元件部的摆动范围。其结果，可以将臂部12及13的与基底部11对应的根部到前端的长度设定为相较于现有技术中的长度更短。即，根据磁头滑块1的摆动，考虑到将为了避免该磁头滑块1的后端侧与基底部11相接处而需要配置的空间形成在基底部11侧，则应将所述臂部12及13的长度设定为被基底部11的接合处(根部)所支撑的磁头滑块1的长度方向的长度相等，或更短。由此，使得磁头滑块1的记录再生元件部突出于臂部12及13的前端，从而确保其摆动范围。与此同时，还可以提高臂部12及13的刚性。
另外，此时的臂部12及13的长度不考虑各臂部12、13与基底部11的接合处上形成的开口部分。即，视为开口不存在，将基底部11的与磁头滑块1相对的面开始的臂长设定为与磁头滑块1的长度方向的长度相等，或更短。换言之，收容着由臂部12、13及基底部11形成的磁头滑块1的空间深度即成为臂12、13的长度，而该臂长也可以小于磁头滑块的长度。而且，如图3a中示出的开口(即被符号为15的物体填充的部分)是，为了使与基底部11的接合处不干涉臂部12、13的曲折变形，而更圆滑得实现其曲折动作而形成的。
另外，由于图3b中的上方为磁盘30的相对面，因此在磁头滑块1的顶面上形成有记录再生元件。从而，磁头滑块1的磁盘相对面(即顶面)相对于臂部12、13的位置不变。即，磁头滑块1比臂部12、13的磁盘相对面(臂部12、13的底面)以规定距离更靠近磁盘30的一侧(即上方)，因此从磁头滑块1的挠曲件相对面(即底面)到挠曲件2(挠曲件主体2a)的距离比搭载皮克滑块时更远(参照图12B)。
还有，如图5所示，在本实施例相关的磁头折片组合20上，对应于所述磁头滑块1的上下方向上的位置，并且，对应于突出在臂部12、13前端的磁头滑块1的挠曲件相对面，靠近所述磁头滑块1而设置了与该磁头滑块1的记录再生元件侧端子接合的挠曲件2的分离部2b。即，将分离部2b设置在比挠曲件主体2a更靠近磁头滑块1的位置上，并且将该磁头滑块1与分离部2b之间的距离设定为可进行焊接接合的距离。由此，记录再生元件侧端子与线路侧端子更容易被焊料5接合。
而且，如上所述，通过将分离部2b配置在臂部12、13的前端侧(参照图5)，可以避免所述挠曲件2的分离部2b配置在臂部12、13的基底部，也可以将臂部12、13的挠曲件相对面的高度(即沿磁头滑块1厚度方向的高度)设定成与现有技术的高度相同。根据于此，如所述片特滑块1，即使在该磁头滑块1的厚度较薄的情况下也可以确保并维持所述臂部12、13的刚性。
下面，一并参照图4至图6说明本发明实施例提供的磁头折片组合的制造方法。图4及图5是表示挠曲件2及微致动器10的组成的示意图，且省略了FPC3而在图中未示出。其中，图4是俯视图，而图5则是正视图。另外，图6则是FPC3的示意图。
如图4所示，首先，微致动器10的各臂部12、13的根部的开口部中填充有带有弹性的环氧树脂15。其次，将微致动器10的基底部11放置在挠曲件2的舌片面2aa的后端部，并用粘结剂等材料将其固定。接着，如图5所示，进行挠曲件2的分离部2b的位置设定。即，为了此后使被微致动器10支撑的磁头滑块1的记录再生元件侧端子与分离部2b的线路侧端子被焊料5相接合而进行位置调整。从该图的例子可以看出，分离部2b位于比臂部12、13的前端部分更向前的前端侧，且配置在靠近磁盘的一侧(上方)使得可以更靠近磁头滑块1。另外，挠曲件2上形成有FPC3(3a、3b)(图4及图5中未示出，图6中示出)，由此挠曲件主体2a与分离部2b一体形成。而且，FPC3带有弹性，因此对所述分离部2b的位置调整可以进行柔性调整。
其次，利用金焊等方法连接形成在微致动器10的臂部12、13的侧面上的压电元件侧端子(图未示)及形成在舌片面2aa上的线路侧端子。以此通过FPC3对所述压电元件12a、13a上施加驱动电压并使其进行伸缩。与此同时，所述臂部12、13也进行曲折变形。
接着，如图6所示，将磁头滑块1配置在一对臂部12及13之间。此时，该磁头滑块1则如上所述配置在突出于臂部12、13的前端侧的位置。并且，用焊料5连接磁头滑块1的记录再生元件的侧端子与分离部2b的端子。
其后，利用环氧树脂等粘结剂14固定磁头滑块1与各臂部12、13。而且，对分离部2b与磁头滑块1之间也用粘结剂填充并固定。
另外，在本发明实施例中，对所述微致动器10的臂部12、13与所述挠曲件2的分离部2b不进行固定。这是因为，依如上所述，磁头滑块1的记录再生元件部是相对臂部12、13的前端侧突出设置的，因而两者不在可固定的位置关系范围内。从而其制造工程更加简单。
下面结合具有上述组成的磁头折片组合20，再针对微致动器10的动作进行说明。
对压电元件12a、13a施加驱动电压，则会使该压电元件12a、13a根据该电压进行伸缩变形。而且，根据该伸缩变形，作为弹性体的臂部12、13也会大致沿着磁盘30面进行曲折变形。从而使得臂部12、13的前端部左右振动，根据于此，前端部一例被支撑着的磁头滑块1的记录再生元件部按图6中表示的箭头方向进行微小的摆动驱动。此时，接合在记录再生元件侧端子上的挠曲件2的分离部2b仅通过具有弹性的FPC3与挠曲件主体2a连接，因此该分离部2b可以追踪到磁头滑块1的前端部侧的摆动动作从而进行摆动。由此，磁头滑块1的记录再生元件部可以大致沿着磁盘30面进行摆动，也可以进行该录再生元件部的微小的定位控制。
另外，此时，分离部2b与臂部12、13的前端相比较位于更向前的位置并与磁头滑块1相接合，因此该分离部2b不会与臂部12、13相接触。
综上所述，根据本发明实施例提供的微致动器10，在维持磁头滑块自身刚性的同时为了对应于高记录密度化磁盘而采用薄厚度的磁头滑块1的情况下，也可以将挠曲件2的分离部2b配设在不会与臂部12、13相接触的位置并进行安装，从而实现稳定的定位驱动。具体来讲，由于磁头滑块1的前端突出于臂部12、13的前端而被支撑，因此，相应地结合分离部2b也设置于相对臂部12、13的前端突出的位置上。其结果，在维持磁头滑块1的摆动范围的同时可以相较于现有技术缩短所述臂部12、13的长度，也可以在避免与分离部2b接触的条件下提高臂部12、13的高度，并且可以提高微致动器10的强度。
另外，由于本发明实施例可以利用现有技术中的微致动器的组成或安装技术(安装工序)，因此可以大大降低制造成本。
在此，本发明实施例涉及的所述微致动器10的臂部12、13的长度、高度，以及与其相对应的磁头滑块1的支撑位置等并不局限在上述实施例或图示中的长度及支撑位置。并且，所述微致动器10在本发明实施例中大致呈U字形状，但该微致动器10的形状也不限定于所述的形状。
产业上的利用可能性本发明提供的磁头用微致动器可以使用在形成硬盘驱动器的磁头折片组合上，因而具有产业上的利用可能性。
权利要求
1.一种微致动器，夹持着磁头滑块的侧面，并包括有与挠曲件相接合的基底部、与该基底部相接合的一对臂部、以及安装在该臂部的每个臂上且根据施加的驱动信号进行伸缩变形的压电元件，其特征在于所述每个臂的长度至少与所述磁头滑块的长度方向的长度相等或更短。
2.如权利要求1所述的微致动器，其特征在于当在所述一对臂部及所述基底部的接合处有切口时，该切口的长度不包括在所述各臂长的范围内。
3.如权利要求1所述的微致动器，其特征在于所述各臂的高度大于所述磁头滑块的厚度。
4.一种磁头折片组合，其特征在于包括微致动器，该微致动器夹持着磁头滑块的侧面，并包括与挠曲件相接合的基底部、与该基底部相接合的一对臂部、以及安装在所述臂部的每个臂上且根据施加的驱动信号进行伸缩变形的压电元件；挠曲件，其与所述微致动器的基底部相接合，并包括具有与所述磁头滑块的记录再生元件的侧端子相连接的线路侧端子的分离部；以及使所述分离部不接触于所述臂部而突出于该臂部的一端侧、并保持在该臂部上的磁头滑块。
5.如权利要求4所述的磁头折片组合，其特征在于所述磁头滑块从所述臂部的一端突出的距离至少是从形成在所述挠曲件的分离部上的线路侧端子的搭载位置到位于所述臂部侧的所述分离部端部的距离。
6.一种硬盘驱动器，其特征在于该硬盘驱动器上搭载有权利要求4所述的磁头折片组合。
7.一种磁头折片组合的制造方法，是将利用一对臂夹持的微致动器安装到具有形成了线路侧端子的分离部的挠曲件上，从而制造出磁头折片组合的方法，其特征在于该磁头折片组合的制造方法中省略了将所述分离部固定到所述臂部的工序。
全文摘要
本发明提供微致动器、使用该微致动器的磁头折片组合及其制造方法、以及硬盘驱动器。本发明提供的微致动器包括与挠曲件相接合的基底部、与该基底部相接合的一对臂部、以及安装在所述臂部的每个臂上且根据施加的驱动信号进行伸缩变形的PZT元件，并挟持着磁头滑块的侧面，所述每个臂的长度至少与所述磁头滑块的长度方向的长度相等或更短。本发明提供的微致动器可以在对应高记录密度化的磁盘进行高精度的定位控制，同时实现结构的高强度滑，也可以利用现有技术中的制造工程从而可以大大降低制造成本。
文档编号G11B21/10GK1892825SQ20061010076
公开日2007年1月10日 申请日期2006年6月30日 优先权日2005年7月1日
发明者本田隆, 松井秀敏 申请人:新科实业有限公司