专利名称：减小存储单元写入扰乱的方法
技术领域：
本发明涉及半导体存储单元，特别涉及减小存储单元写入扰乱的方法。
背景技术：
非易失性(non-volatile)半导体存储器由包括字线和位线的存储单元阵列 构成，通常场效应晶体管是存储单元的基本组成单元。字线连接晶体管的栅 极，而位线连接晶体管的漏极。通过打开某一字线和位线，就能对于选定的 存储单元(selected cell)进行写入操作。在实际应用中发现，当对于某一选 定的存储单元进行写入操作时，其相邻的受同 一字线控制的存储单元可能也 会产生写入操作。这种现象被称为"写入扰乱"。
美国专利号为6469933的发明公开了一种减小存储单元写入扰乱的方法。 对于共用字线的相邻存储单元，当存储单元阵列开始进行写入操作时，通过 对于需要进行写入操作的存储单元上的位线加接地电压，而对于相邻的不需 要进行写入操作的存储单元上的位线加高电压，从而形成互补位线以减小写 入扰乱的影响。这种方法的本质是从对存储单元进行写入操作的过程进行控 制这一角度来减小写入扰乱，因此不仅要控制需要进行写入操作的存储单元 上的位线电压，还要额外控制相邻的不需要进行写入操作的存储单元上的位 线电压，所以操作不方便。
发明内容
本发明解决的问题是解决现有技术中减小存储单元写入扰乱操作需要进 行控制的地方较多，操作不方便的问题。
为解决上述问题，本发明提供一种减小存储单元写入扰乱的方法，包括 以下步骤
寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件；
挑选初始写入条件中的两个参数作为写入扰乱测试的变量；
至少针对该两个参数的两个组合值，对存储单元进行写入扰乱测试；
根据写入扰乱测试结果，得到使存储单元写入扰乱最小的最小扰乱写入 条件；
应用得到的最小扰乱写入条件作为存储单元进行写入操作时的写入条件。
与现有技术相比，本发明具有以下优点通过写入扰乱测试得到使存储 单元写入扰乱最小的最小扰乱写入条件并应用于存储单元的写入操作，从而 在保证存储单元能够正常写入的基础上，使写入扰乱最小，并且在对存储单 元进行写入操作的时候不必再进行额外控制，因而搮作方便。
图1是本发明减小存储单元写入扰乱的方法寻找能保证存储单元正常写 入的初始写入条件的结果柱状图2是本发明减小存储单元写入扰乱的方法测试脉冲个数与脉冲宽度组 合值与写入扰乱关系的结果柱状图3是本发明减小存储单元写入扰乱的方法测试脉冲个数与脉冲宽度组 合值的写入扰乱结果比较柱状图4是本发明减小存储单元写入扰乱的方法流程图5寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件的方法流程图6是写入扰乱测试流程图。
具体实施例方式
本发明减小存储单元写入扰乱的方法通过写入扰乱测试得到使存储单元写入扰乱最小的最小扰乱写入条件并应用于存储单元的写入操作中，从而使存储单元进行写入操作时的写入扰乱最小。本发明减小存储单元写入扰乱的 方法包括以下步骤
步骤sl，寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件；
步骤s2，挑选初始写入条件中的两个参数作为写入扰乱测试的变量；
步骤s3,至少针对该两个参数的两个组合值，对存储单元进行写入扰乱测试；
步骤s4,根据写入扰乱测试结果，得到使存储单元写入扰乱最小的最小 扰乱写入条件；
步骤s5,应用得到的最小扰乱写入条件作为存储单元进行写入操作时的写入条件。
所述寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件的步骤包括，
步骤sll,测量存储单元中晶体管的阈值电压初始值；
步骤sl2，保持存储单元中晶体管的基极接地，断开源极，对存储单元中 晶体管的栅极施加电压值为IOV、脉沖宽度大于0.5微秒的电压，对漏极施加 脉冲宽度为0.5微秒、脉冲个数为1个的脉冲电压，设定脉冲电压值对存储单元进行写入操作；
步骤s13,再次测量存储单元中晶体管的阈值电压；
步骤s14，判断存储单元中晶体管的阈值电压差值是否大于对应于存储单元中晶体管规格的标称值；
步骤sl5,如阈值电压差值小于标称值，则设定的漏极脉冲电压值不能够使存储单元正常写入，对存储单元进行擦除操作，使存储单元的阈值电压降 到初始值，返回步骤sl2;
步骤sl6,如阈值电压差值达到标称值，则设定的漏极脉冲电压值能够使存储单元正常写入，对存储单元进行擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初始值；
步骤s17,记录使存储单元能够正常写入的漏极脉冲电压至少2个和脉冲 个数和宽度以及源极、基极和栅极的电压，作为初始写入条件。
所述的两个参数是脉冲宽度和脉冲个数。
所述标称值为2V。
所述的使存储单元能够正常写入时的漏;波电压是3.6V、 3.8V、 4.0V和 4.2V。
所述的初始写入条件是存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，栅极 施加10V的电压，漏极施加脉冲宽度为0.5微秒、脉冲个数为1个，脉冲电 压值为3.6V、 3.8V、 4.0V和4.2V的电压。
所述的写入扰乱测试包括以下步骤，
步骤s31,取所述组合的一个值，保持初始写入条件中的其他参数的值不 变，对存储单元进行写入操作；
步骤s32,测量并记录写入扰乱；
步骤s33，判断是否还有未取的组合值； 若还有未取的组合值，则返回步骤s31;
若没有未取的组合值，则写入扰乱测试完成。
所述的最小扰乱写入条件是分别使得存储单元写入扰乱最小的各个写入 条件参数的对应值的集合。
所述组合值是脉沖个数1个和脉冲宽度0.5微秒、脉沖个数1个和脉沖宽 度1微秒、脉冲个数1个和脉冲宽度1.5微秒、脉冲个数1个和脉冲宽度2微 秒、脉冲个数2个和脉沖宽度1微秒以及脉沖个数2个和脉冲宽度2微秒。
下面通过具体的操作过程来详细说明本发明减小存储单元写入扰乱的方 法，如图4所示
第一步，寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件，如图5所示
首先，测量存储单元中晶体管的阈值电压初始值；
接着，保持存储单元中晶体管的基极接地，断开源极，对存储单元中晶体管的栅极施加电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为0.5微秒、脉冲个数为1个的脉冲电压，设定脉冲电压值为3.4V对存储单元进行写入操作；
当写入操作完成后，再次测量存储单元中晶体管的阈值电压；
将再次测量的阈值电压值减去测得的阈值电压初始值得到阈值电压差值，判断阈值电压差值是否大于2V;
如图1所示，当漏极电压为3.4V时，对应的阈值电压差值没有达到2V，说明漏极电压为3.4V时存储单元不能够正常写入,对存储单元进行擦除操作，使存储单元中晶体管的阈值电压降到初始值，这样做的目的是保证后续的写 入操作是在存储单元的同一电压状态上进行的，提高测量的精确度；
接着，仍保持存储单元中晶体管的基极接地，断开源极，对存储单元中晶体管的栅极施加电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为0.5微秒、脉冲个数为1个的脉冲电压，设定脉冲电压值为3.6V对存储单元进行写入操 作；
如图1所示，当漏极电压为3.6V时，对应的阈值电压差值达到了2V, 说明漏极电压为3.6V时存储单元能够正常写入，对存储单元进行擦除操作，使存储单元中晶体管的阈值电压降到初始值；
接下来，仍保持存储单元中晶体管的基极接地，断开源极，对存储单元 中晶体管的栅极施加电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为0.5微秒、 脉冲个数为i个的脉冲电压，再分别设定漏极脉冲电压为3.8V、4.0V和4.2V, 对存储单元进行写入才乘作，如图i所示，当漏+及脉冲电压为3.8V、4.0V和4.2V 时，存储单元都能够正常写入。然后记录漏极脉冲电压值3.6V、3.8V、4.0V 和4.2V以及源极、基极接地和栅极的电压，即将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，栅极施加10V的电压，漏极施加3.6V、3.8V、4.0V和4,2V的脉冲电压作为初始写入条件。
第二步，挑选初始写入条件中的脉冲宽度和脉冲个数作为变量；
第三步，设定组合值为脉沖个数1个和脉冲宽度0.5微秒、脉冲个数1个 和脉冲宽度1微秒、脉冲个数1个和脉冲宽度1.5微秒、脉沖个数1个和脉沖 宽度2微秒、脉冲个数2个和脉冲宽度1微秒以及脉冲个数2个和脉冲宽度2 微秒。，对存储单元进行写入扰乱测试，如图6所示
首先，将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，对栅极施加脉冲宽 度大于0.5微秒、电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为0.5微秒，脉 冲个数为1个、电压值为3.6V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录 写入扰乱；接着，只改变漏极电压，保持源极断开，保持基极接地，保持对 栅才及施加脉冲宽度为0.5樣i秒、电压值为IOV的电压，保持漏极上的脉冲电 压宽度为0.5微秒，脉冲个数为1个，分别对漏极施加3.8V的电压对存储单 元进行写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.0V的电压对存储单元 进行写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.2V的电压对存储单元进 行写入操作，测量并记录写入扰乱。其中，在每一次改变漏极电压进行写入 操作之前都要对存储单元进行一次擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初 始值以保证后续的写入操作是在存储单元的同一电压状态上进行的，提高测 量的精确度。
接着，将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，对栅极施加脉沖宽 度大于l微秒、电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为l微秒，脉冲 个数为1个、电压值为3.6V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录写 入扰乱；接着，只改变漏极电压，保持源极断开，保持基极接地，保持对栅 极施加脉冲宽度为l微秒、电压值为10V的电压，保持漏极上的脉冲电压宽 度为l微秒，脉冲个数为l个，分别对漏极施加3.8V的电压对存储单元进行 写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.0V的电压对存储单元进行写
入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.2V的电压对存储单元进行写入
操作，测量并记录写入扰乱。其中，在每一次改变漏极电压进行写入操作之 前都要对存储单元进行一次擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初始值以 保证后续的写入操作是在存储单元的同一电压状态上进行的，提高测量的精 确度。
然后，将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，对栅极施加脉冲宽
度大于1.5微秒、电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为1.5微秒，脉 沖个数为1个、电压值为3.6V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录 写入扰乱；接着，只改变漏极电压，保持源极断开，保持基极接地，保持对 栅极施加脉冲宽度为1.5樣i秒、电压值为IOV的电压，保持漏极上的脉冲电 压宽度为1.5微秒，脉沖个数为1个，分别对漏极施加3.8V的电压对存储单 元进行写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.0V的电压对存储单元 进行写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.2V的电压对存储单元进 行写入操作，测量并记录写入扰乱。其中，在每一次改变漏极电压进行写入 操作之前都要对存储单元进行一次擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初 始值以保证后续的写入操作是在存储单元的同一电压状态上进行的，提高测 量的精确度。
接下来，将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，对栅极施加脉冲 宽度大于2微秒、电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为2微秒，脉 冲个数为1个、电压值为3.6V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录 写入扰乱；接着，只改变漏极电压，保持源极断开，保持基极接地，保持对 栅极施加脉冲宽度为2微秒、电压值为IOV的电压，保持漏极上的脉冲电压 宽度为2微秒，脉冲个数为l个，分别对漏极施加3.8V的电压对存储单元进 行写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.0V的电压对存储单元进行 写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.2V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录写入扰乱。其中，在每一次改变漏极电压进行写入操作 之前都要对存储单元进行一次擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初始值 以保证后续的写入操作是在存储单元的同一电压状态上进行的，提高测量的 精确度。
接下来，将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，对栅极施加脉沖宽度大于l微秒、电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为1微秒，脉 冲个数为2个、电压值为3.6V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录 写入扰乱；接着，只改变漏极电压，保持源极断开，保持基极接地，保持对 栅极施加脉冲宽度为1微秒、电压值为IOV的电压，保持漏极上的脉冲电压 宽度为1微秒，脉冲个数为2个，分别对漏极施加3.8V的电压对存储单元进 行写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.0V的电压对存储单元进行 写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.2V的电压对存储单元进行写 入操作，测量并记录写入扰乱。其中，在每一次改变漏极电压进行写入操作 之前都要对存储单元进行一次擦除操、作，使存储单元的阈值电压降到初始值 以保证后续的写入操作是在存储单元的同 一 电压状态上进行的，提高测量的 精确度。
最后，将存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，对栅极施加脉冲宽 度大于2微秒、电压值为IOV的电压，对漏极施加脉沖宽度为2微秒，脉沖 个数为2个、电压值为3.6V的电压对存储单元进行写入操作，测量并记录写 入扰乱；接着，只改变漏极电压，保持源极断开，保持基极接地，保持对栅 极施加脉冲宽度为2微秒、电压值为10V的电压，保持漏极上的脉冲电压宽 度为2微秒，脉沖个数为2个，分别对漏极施加3.8V的电压对存储单元进行 写入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.0V的电压对存储单元进行写 入操作，测量并记录写入扰乱；对漏极施加4.2V的电压对存储单元进行写入 操作，测量并记录写入扰乱。其中，在每一次改变漏极电压进行写入操作之前都要对存储单元进行一次擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初始值以 保证后续的写入操作是在存储单元的同 一 电压状态上进行的，提高测量的精确度。
从图2中可以看到，当脉冲个数为1个，而脉冲宽度增大时，写入扰乱 也随着脉冲宽度的增大而越来越大，而从图3中可以看到，当施加于存储单 元晶体管漏极的脉冲宽度固定时，脉冲个数越少，写入扰乱也越小。
第四步，综合上述数据结果可以看到，在对存储单元进行写入操作时， 施加于存储单元中晶体管的漏极的脉冲电压个数为1，脉沖宽度为l微秒，能 使得写入扰乱最小，因此设定施加于存储单元中晶体管的漏极的脉冲电压个 数为l，脉冲宽度为l微秒为最小扰乱写入条件。
第五步，在对存储单元进行写入操作时，设定施加于存储单元中晶体管 的漏极的脉冲电压个数为1,脉冲宽度为l微秒。
综上所述，本发明减小存储单元写入扰乱的方法通过写入扰乱测试得到 使存储单元写入扰乱最小的最小扰乱写入条件，并应用于存储单元的写入操 作，从而在保证存储单元能够正常写入的基础上，使写入扰乱最小，并且在 对存储单元进行写入操作的时候不必再进行额外的控制，因而操作方便。
权利要求
1. 一种减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，包括下列步骤，(1)寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件；(2)挑选初始写入条件中的两个参数作为写入扰乱测试的变量；(3)至少针对该两个参数的两个组合值，对存储单元进行写入扰乱测试；(4)根据写入扰乱测试结果，得到使存储单元写入扰乱最小的最小扰乱写入条件；(5)应用得到的最小扰乱写入条件作为存储单元进行写入操作时的写入条件。
2. 如权利要求1所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述寻 找能保证存储单元正常写入的初始写入条件的步骤包括，(11) 测量存储单元中晶体管的阈值电压初始值；(12) 保持存储单元中晶体管的基极接地，断开源极，对存储单元中晶体管 的栅极施加电压值为IOV的电压，对漏极施加脉冲宽度为0.5微秒、脉冲个 数为1个的脉冲电压，设定脉冲电压值对存储单元进行写入操作；(13) 再次测量存储单元中晶体管的阈值电压；(14) 判断存储单元中晶体管的阈值电压差值是否大于对应于存储单元中 晶体管规格的标称值；(15) 如阈值电压差值小于标称值，则设定的漏极脉冲电压值不能够使存储 单元正常写入，对存储单元进行擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初始 值，返回步骤(12);(16) 如阈值电压差值达到标称值，则设定的漏极脉冲电压值能够使存储单 元正常写入，对存储单元进行擦除操作，使存储单元的阈值电压降到初始值；(17) 记录使存储单元能够正常写入的漏极脉沖电压至少2个和脉冲个数 和宽度以及源极、基极和栅极的电压，作为初始写入条件。
3. 如权利要求1所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述的 两个参数是脉冲宽度和脉冲个数。
4. 如权利要求1所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述的 写入扰乱测试包括以下步骤，(31) 取所述组合的一个值，保持初始写入条件中的其他参数的值不变，对存储 单元进行写入操作；(32) 测量并记录写入扰乱；(33) 判断是否还有未取的组合值； 若还有未取的组合值，则返回步骤(31);若没有未取的组合值，则写入扰乱测试完成。
5. 如权利要求1所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述的 最小扰乱写入条件是分别使得存储单元写入扰乱最小的各个写入条件参数的 对应值的集合。
6. 如权利要求2所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述标 称值是2V。
7. 如权利要求2所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述的 使存储单元能够正常写入时的漏极电压是3.6V、 3.8V、 4.0V和4.2V。
8. 如权利要求2所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述的 初始写入条件是存储单元中晶体管的基极接地，源极断开，栅极施加10V的 电压，漏极施加脉冲宽度为0.5微秒、脉冲个数为1个，脉冲电压值为3.6V、 3.8V、 4.0V和4.2V的电压。
9. 如权利要求4所述的减小存储单元写入扰乱的方法，其特征在于，所述组 合值是脉冲个数1个和脉冲宽度0.5微秒、脉冲个数1个和脉冲宽度1微秒、 脉冲个数1个和脉冲宽度1.5微秒、脉冲个数1个和脉沖宽度2微秒、脉冲个数2个和脉冲宽度1微秒以及脉冲个数2个和脉冲宽度2微秒。
全文摘要
本发明公开了一种减小存储单元写入扰乱的方法，包括以下步骤寻找能保证存储单元正常写入的初始写入条件；挑选初始写入条件中的两个参数作为写入扰乱测试的变量；至少针对该两个参数的两个组合值，对存储单元进行写入扰乱测试；根据写入扰乱测试结果，得到使存储单元写入扰乱最小的最小扰乱写入条件；应用得到的最小扰乱写入条件作为存储单元进行写入操作时的写入条件。通过本发明减小存储单元写入扰乱的方法使得存储单元写入操作时的写入扰乱最小，并且操作方便。
文档编号G11C16/10GK101206921SQ200610147709
公开日2008年6月25日 申请日期2006年12月21日 优先权日2006年12月21日
发明者刘鉴常, 缪威权, 灿 钟, 陈良成 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司