专利名称：改进的磁头折片组合、磁盘驱动器及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种信息记录磁盘驱动器，尤其涉及一种改进的磁头折片组 合及其制造方法，从而使薄膜压电纟鼓致动器更精确地进行位置调整。
背景技术：
一种常见的信息存储设备是磁盘驱动系统，其使用磁性媒介来存储数据及 设置于该磁性媒介上方的可移动读写头来选择性地从磁性媒介上读取数据或 将数据写在磁性媒介上。
消费者总是希望磁盘驱动器的存储能力越大越好，同时也希望读写操作更 加的快速和准确。因此磁盘驱动器制造商一直不断的开发更高容量的磁盘驱 动器。比如通过减少磁盘上的磁轨宽度或磁轨间距的方式增加磁轨的密度， 进而间接增加磁盘的存储容量。然而，每增加一次磁盘密度，磁盘驱动器就 需要相应的增加读写头的位置控制，以便在高密度磁盘中实现更快速更精确 的读/写操作。随着磁轨密度的增加，使用传统技术来实现更快更精确将读写 头定位于磁盘上适当的磁轨变得更加困难。因此，磁盘制造商一直寻找提高 对读写头位置控制的方式，以便利用不断增加的磁轨密度所带来的益处。
磁盘制造商经常使用的一种提高读写头在高密度盘上位置控制精度的方 法为采用第二个驱动器，也叫微致动器。该微致动器与一个主驱动器配合共 同实现对读写头的定位精度及速度的控制。包含微致动器的磁盘驱动器被称 为双驱动器系统。
在过去曾经开发出许多用于提高存取速度及读写头在高密度磁盘的磁轨 上定位精度的双驱动器系统。这种双驱动器系统通常包括一主音圈马达驱动 器及一副微致动器，比如压电微致动器。该音圈马达驱动器由伺服控制系统 控制，该伺服控制系统导致驱动臂旋转，该驱动臂上承载读写头以便将读写
头定位于存储盘上适当的磁轨上。压电微致动器与音圈马达驱动器配合使用 共同提高存取速度及实现读写头在磁轨上位置的微调。音圏马达驱动器对读 写头的位置粗调，而压电微致动器对读写头相对于磁盘的位置的精调。通过 两个驱动器的配合，共同实现数据在存储盘上高效而精确的读写梯:作。
一种已知的微致动器依靠压电元件实现对读写头位置的微调。该压电微 致动器具有相关的电子装置，该电子装置可导致微致动器上的压电元件选择 性的收缩或扩张。当对压电元件施加适当电压时，所述压电元件产生收缩或 扩张动作，进而引起读写头的运动。相对于仅仅使用音圏马达驱动器的磁盘 系统，该读写头的运动可以实现对读写头位置更快更精确的调整。这类范例
性的压电孩吏致动器揭露于许多公开文献中，比如日本专利2002-133803号、美 国专利6,671,131和6,700,749号、及美国专利公开第2003/0168935号，这些 专利公开的内容并入于此作为参考。
图la所示为传统的磁盘驱动单元，磁盘101安装在主轴马达102上并由 其旋转。音圈马达臂104上连接有磁头折片组合，该磁头折片组合上设置有 具有磁头的孩i致动器105，该磁头上安装有读写头103。 一音圈马达控制音圈 马达臂104的运动，进而控制磁头在磁盘101的表面上的磁轨之间的移动， 最终实现读写头在磁盘101上数据的读写。
由于音圏马达和磁头折片组合之间存在固有的容差(例如，动态累积效 应)，磁头不能实现快速及精确的位置控制，在仅仅使用伺服驱动系统时，这 会影响读写头从磁盘精确的读取和写入数据。上述压电微致动器是用来提高 读写头103的位置控制。亦即，相对于所迷音圏马达，所述压电微致动器105 以 一个较小的幅度调整磁头的位移，从而补偿音圈马达及磁头折片组合的容 差。这样，可以使得磁轨宽度变得更小，可以增加磁盘驱动单元的表面记录 密度值(tracks per inch, TPI),同时减少了磁头寻找及定位时间。因此，使用 压电微致动器105可以大大增加磁盘驱动器中磁盘的表面记录密度。
图lb-d为传统压电微致动器和支撑结构的各种视图。图lb为一种压电微
致动器及支撑臂的局部分解立体视图，图lc为图lb所示压电微致动器及支撑 臂的俯视图，图ld为图lb所示的压电微致动器及支撑臂的侧视图。根据美
国专利公开第2003/0168935号揭露的技术，具有读写感应器的磁头103部分 安装于悬臂件的磁头支撑板121。所述磁头支撑板121上形成一凸起127,该 凸起支撑于所述》兹头的后表面的中心。具有若干电迹的挠性电缆122可操作 的连结所述》兹头支撑板121及金属基底的挠性部分123。具有凸点125的悬臂 负载杆124支撑所述磁头支撑板121和挠性部分123。所述磁头103部分装配 于所述挠性件107的顶端。悬臂负载杆124的凸点125支撑所述》兹头支撑板 121的凸起127,从而保证当所述磁头103在磁盘表面飞行时由所述负载杆124 施加的负载力能够均勻地作用于所述石兹头103的中心区域。两个薄膜压电片 IO连接于所述悬臂件的舌片区域，并且所述两薄膜压电片IO部分设置于所述 磁头下面。所述磁头的磁头安装面与所述压电片之间形成平行间隙111。当在 所述压电片IO上施加适当电压后，其中一个压电片收缩(比如图中箭头D所 示)，而另一个压电片膨胀(比如图中箭头E所示)，从而形成旋转扭矩，该 旋转扭矩导致所述磁头安装区域及磁头支撑板121产生运动(比如图中箭头C 所示)，进而导致^f兹头103产生运动。因为所述》兹头103部分安装于所述^f兹头 支撑板121和凸起127,所述》兹头与所述压电片之间形成平行间隙111。
通常地，所述磁头将会绕着所述凸点125旋转。不幸的是，当竖直震动 或其他振动发生时(例如，发生倾斜跌落震动时)，磁头很容易绕着负载杆的 凸点倾斜旋转，容易使磁头的前i^5並撞所述压电片，从而导致该压电片损坏， 比如破裂或断掉，进而影响压电片的工作特性，严重时可以导致压电片彻底 损毁。
图le为发生振动时磁头折片组合的侧视图。所述磁头绕着凸点旋转，磁 头的前边倾斜，与薄膜压电片10在区域130发生碰触。由振动产生的碰触有 可能会损坏所述薄膜压电片。由于所述磁头的前边部分为尖锐的棱角，因此 可能造成压电片表面区域130破裂或刮伤，从而导致该压电元件损坏，特别 是该压电片为薄膜材料制成时，更容易造成该压电片的损坏。
因此有必要提供一种改进的微致动器、磁头折片组合、磁盘驱动器及其 制造方法，以克服现有技术的不足。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种磁头折片组合，其改进磁头的安装位置， 使可以减少或消除磁头和悬臂舌片之间的间隙，减少悬臂舌片区域和压电元 件的尺寸，从而有效地避免或减弱磁头折片组合在受到震动或振动时磁头对 微致动器造成的破坏，从而提高了所述磁头折片组合的抗振性能。
本发明的另 一 目的在于提供一种具有较高抗振性能的磁盘驱动器。 本发明的又一目的在于提供一种磁头折片组合的制造方法，其改进磁头 的安装位置，使可以减少或消除磁头和悬臂舌片之间的间隙，减少悬臂舌片 区域和压电元件的尺寸，从而有效地避免或减弱磁头折片组合在受到震动或
振动时磁头对微致动器造成的破坏，从而提高了所述磁头折片组合的抗振性
6匕 月匕。
为了达到上述目的，本发明提供一种磁头折片组合。该磁头折片组合的 悬臂件包括悬臂挠性件，该悬臂挠性件设置于所述悬臂件的一端，所述悬臂 挠性件包括具有顶端区域和底部区域的舌片区域。至少一个微致动器安装于 所述悬臂挠性件的舌片区域的微致动器安装区域。具有前边和后边的磁头充 分完全地安装于悬臂舌片区域的绝缘层上，所述磁头的前边安装于所述舌片 区域的底部区域，所述磁头的后边安装于所述舌片区域的顶端区域。
本发明提供的磁盘驱动器包括磁头折片组合、连接该磁头折片组合的驱 动臂、磁盘及旋转所述磁盘的主轴马达。所述磁头折片组合包括悬臂件，该 悬臂件包括悬臂挠性件，该悬臂挠性件设置于所述悬臂件的一端，所述悬臂 挠性件包括具有顶端区域和底部区域的舌片区域。至少一个微致动器安装于 所述悬臂挠性件的舌片区域的微致动器安装区域。具有前边和后边的磁头充 分完全地安装于悬臂舌片区域的绝缘层上，所述磁头的前边安装于所述舌片 区域的底部区域，所述》兹头的后边安装于所述舌片区域的顶端区域。
本发明一种制造磁头折片组合的方法，其包括如下步骤提供悬臂件； 安装悬臂挠性件于所述悬臂件的一端，所述悬臂挠性件包括具有顶端区域和 底部区域的舌片区域；连接至少一个微致动器于所述悬臂挠性件的舌片区域 的微致动器安装区域；充分完全地安装具有前边和后边的磁头于悬臂舌片区域的绝缘层上，并使所述磁头的前边安装于所述舌片区域的底部区域，使所 述^f兹头的后边安装于所述舌片区域的顶端区域。
由于所述磁头的如上安装结构的方法使磁头的前边与微致动器之间没有 间隙，从而当振动发生时，提高了磁头折片组合及磁盘驱动器的整体抗振性 能，且这种安装结构和安装方法使可以减少或消除磁头和悬臂舌片之间的间 隙及减少悬臂舌片区域和压电元件的尺寸，进一步提高了磁头折片组合及磁 盘驱动器的整体抗振性能。
通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解 释本发明的实施例。
图la为传统磁盘驱动单元的局部立体图。
图lb为传统压电賴t致动器和支撑臂的局部立体分解图。
图lc为图lb所示压电微致动器和支撑臂的俯视图。
图ld为图lb所示压电微致动器和支撑臂的侧视图。
图le为发生振动时磁头折片组合的舌片区域的侧视图。
图2a为本发明具有薄膜压电微致动器的磁头折片组合的立体图。
图2b为图2a所示磁头折片组合的舌片区域的详细视图。
图2c为图2a所示磁头折片组合的舌片区域的侧视图。
图3a为本发明磁头折片组合的舌片区域的立体分解图。
图3b展示了图3a所示磁头折片组合的舌片区域的底部。
图4a展示了压电微致动器的工作原理。
图4b展示了压电微致动器的两种工作方法。
图5a为本发明磁头折片组合的局部立体分解图。
图5b展示了图5a所示磁头折片组合组装后的悬臂舌片区域。
图6a和图6b为本发明磁头折片组合进行共振测试后获得的测试数据。
图7a为本发明另一实施例之非双驱动器磁头折片组合的悬臂舌片阵域的 局部立体图。 图7b为过图7a的7b-7b线的非双驱动器磁头折片组合的舌片区域的剖视图。
图8为本发明磁盘驱动器的组合图，该磁盘驱动器包括具有微致动器的 磁头折片组合。
具体实施例方式
传统的磁头折片组合有一巨大的悬臂舌片区域，因此需要一平行间隙。 然而，如上所述，这样的结构容易损坏压电元件。因此，本发明旨在缩小所 述舌片区域的尺寸，缩小甚至消除对间隙的需求，即使振动发生时也可确保 磁头折片组合的性能。
现在参考附图描述本发明的实施例。图2a为本发明一个实施例之具有薄 膜压电微致动器的磁头折片组合的立体图。图2a所示的磁头折片组合200包 括负载杆204、挠性件209、枢接件213和基板212。磁头210部分安装于所 述挠性件209舌片的顶端区域及该挠性件209舌片的底部区域。两个压电元 件202安装于所述挠性件209的中间区域。
图2b为图2a所示本发明磁头折片组合的舌片区域的详细视图；图2c为 图2a所示本发明磁头折片组合的舌片区域的侧视图。所述磁头210部分安装 于所述挠性件209舌片的顶端区域及该挠性件209舌片的底部区域(比如通 过环氧树脂安装)。两个压电元件大致呈梯形且安装于所述挠性件209的中间 区域。每一所述压电元件均设有电连接触点215/217，两压电元件还具有一共 同的接地触点216。所述悬臂件上同样设置有与所述多个电连接触点电性连接 的电连接触点215a/217a。所述压电元件与所述悬臂件借助引线焊接或锡球焊 接(solder ball bonding, SBB) 218而实现两者之间的电连接。接地触点216 以类似的方法电连接到所述挠性件上的接地触点216a。所述磁头的前边与压 电元件之间没有间隙(例如，图Id现有技术所示的间隙)，从而当振动发生 时，提高了磁头折片组合的整体抗振性能。同样的，重量平衡于凸点。
当然，所述压电元件的尺寸和形状是以实施例的方式给出的，并不仅仅 局限于所例举的实施例。同样的，本发明也不限定为两个压电元件。比如，
如下面更详细的描述，这里揭露的才支术可以应用于4又具有单个压电元件的》兹 头折片组合。
图3a为本发明一个实施例^f兹头折片组合的舌片区域的立体分解图。所 述悬臂舌片区域包括顶端区域211和底部区域214。所述顶端区域211与底部 区域214于位于悬臂舌片区域中心的柔点连结。所述舌片的顶端区域设有与 所述磁头触点306电性连接的若干触点305。所述电迹304具有对称的形状并 位于所述舌片的周围，且于柔点附近弯曲。所述电迹304可才喿作地电性连接 位于所述挠性件末端的触点222。所述磁头210的后边安装于所述顶端区域 211，所述磁头210的前边安装于所述底部区域214。具有共同接地触点216 的两个压电元件202安装于所述悬臂挠性件的压电配置区域308。所述压电配 置区域308与所述底部区域214是分开的，所述压电配置区域308借助所述 电迹304和挠性件的聚合层于该悬臂舌片的柔点可操作地连结所述悬臂舌片。 所述悬臂挠性件(比如具有不锈钢支撑板的聚合层)支撑所述压电配置区域 308。
两触发区域(triggerregion) 303可操作地连结所述压电配置区域308。所 述挠性件的顶端区域211的形状相对凸点(dimple)对称。所述触发区域上安装
力矩到所述悬臂舌片。上述支撑结构设于所述舌片区域的下面，如图3b所示。 图3b为图3a所示的舌片区域的底部视图。所述支撑结构310、 311为如图3b 所示的类型，并由比如形成于底部聚合层的不锈钢层或覆盖于聚合层的铜层 等等制成。当然，也可以用其他形状和材料的结构来增加或代替图3b所示的 结构310、 311。
图4a帮助说明压电微致动器的工作原理。当施加电压到其中一压电元件 202，其中一侧收缩，而另一侧扩张。所述压电元件202上的箭头表明所述压 电元件扩张和收缩的方向。这样将会产生旋转扭矩，从而引起细微的受限的 运动。具体地，由于两个压电元件通过外触板(outer trigger)绕着所述凸点 (dimple)对称连结，所述扭矩导致所述磁头随着所述悬臂舌片旋转，因为所述 磁头安装于所述悬臂件的舌片上。所述磁头上的箭头表明旋转扭矩il起的整
个组合的运动方向。
图4b展示了所述压电微致动器工作的两种示例方法。左上方图展示了同 极性的电压施加到两个压电元件且具有共同接地的电路图，右上方图展示了 当施加相反相位正弦电压时相对应的电压波形。在第一个半周期内，使所述 压电元件(进一步使磁头)逐渐向左移动并返回到中间，在第二个半周期内， 4吏所述压电元件向右移动并返回到中间。在下面的一个实施例中，所述压电 元件具有方向相反的^l性且有共同的接地。在正弦电压的驱动下，在第一个 半周期内， 一个压电元件扩张至最大位置，而另一个压电元件收缩至最小位 置，并同时返回到中间。在第二个半周期内，以相反的情形发生。可以理解， 以上的实施例仅用于说明，而不是用于限制，例如，其他极性、配置、电压 波等也可用于揭露在此的技术中。
图5a为本发明一实施例^f兹头折片组合的局部分解立体图。^f兹头折片组 合包括负载杆204,基板212安装于所述负载杆204上，枢接件213设于所述 基板212与磁头折片组合的上面部分之间，所述磁头折片组合的上面部分包 括顶端区域及底部区域211、 214(所述^f兹头部分安装于这些区域上)、压电元件 202及若干触点222。
图5b为图5a所示的磁头折片组合的悬臂舌片区域的组合图。所述悬臂舌 片周围大块地减少或全部移除。在图3b中同样可以看到这样的情况，所述》兹 头103周围大块地被移除。这样的结构能更好的提高磁头折片组合的性能， 比如，提高了抗振性能、共振转移性能、旋转扭矩的精确性、强度等等。结 合参考图2c,可以明显地看出，与悬臂舌片区域充分完全地安装的磁头使舌 片结构能够改变，从而达到了类似的有益效果。同样的，舌片的前边和尾边 之间的重量通过例如增加其重量的传导材料得到更加平衡。更进一步，如上 述关于图2c的描述，由于所述压电元件不是位于所述^f兹头边缘的下面，所以 所述压电元件损坏的机会降低。当然，所述悬臂件仍将纵向突出并超出所述 磁头的末端。然而，所述挠性件本身充分完全位于所述磁头的下面。
图6a和图6b展示了本发明磁头折片组合一实施例进行共振测试 (resonance testing)后所获得的数据。具体地，图6a展示了增益(gain),图6b
展示了相关的相位(rdated phase)。曲线601 、 603对应于所述微致动器激励时 所述悬臂14l的共振，曲线602、 604对应压电元件的共振。因为所述^f兹头随 压电元件的驱动而旋转，传递到所述悬臂件的反作用力及产生的不同响被减 少(或消除)。这样，在低共振频率时，所述增益平滑(clear),从而大大的增 加了磁盘驱动器的表面记录密度(TPI)值。
任何类型的压电元件均可用于这里所描述的相关实施例中。例如，压电 元件可以是陶瓷压电元件、薄膜压电元件，铌镁酸铅晶体压电元件等等，但 并不限于这些。同样的，这里描述的技术可以应用于仅具有单个压电元件的 双驱动器磁头折片组合中，也可以用于无压电元件的磁头折片组合中(比如 不具有双驱动器的磁头折片组合，或非双驱动器磁头折片组合)。图7a和图 7b展示本发明另一实施例之不具有压电元件的非双驱动器磁头折片组合。具 体地，图7a为本发明非双驱动器磁头折片组合的悬臂舌片区域的局部立体图， 图7b为过图7a的7b-7b线的非双驱动器磁头折片组合的舌片区域的剖视图。
如聚酰亚胺(PI)块)，用于控制磁头安装材料(例如，粘结剂，环氧树脂， 或类似物)的^l^H殳置于所述块状结构220处。在前端，传导层707可才乘作 地连结于所述磁头。所述传导层707通过聚合层比如聚酰亚胺基底层701与 所述挠性件舌片的顶端区域211绝缘,且被聚酰亚胺覆盖层705至少局部覆盖。 类似地，在舌片的底部区域，设于挠性件底部区域214的传导层703及挠性 件的底部区域214有助于平衡所述顶端区域211和所述^F兹头的重量于所述凸 点。所述传导层703通过聚合层比如聚酰亚胺基底层701与所述挠性件舌片 的底部区域214绝缘，且被聚酰亚胺覆盖层705至少局部覆盖。图中标示了 所述凸点125。与图2c类似，所述重量均衡于所述凸点125。
图8为本发明一实施例之具有微致动器的磁头折片组合的磁盘驱动器。 简言之，所述》兹盘驱动器包括壳体801、 一个或多个》兹盘802以及旋转所述磁 盘的主轴马达803。音圈马达804控制磁头805飞行于所述磁盘802表面。由 于图8所示磁盘驱动器的结构为本领域的普通技术人员所熟知，故不i详述, 以免产生混淆。
所描述的具体实施例具有多个优点。 一些实施例改进了在振动过程中和 振动后磁头折片组合的性能，使其能抵抗振动或减少振动所带来的损坏。充 分地平衡所述舌片的重量和减少所述磁头和所述挠性件之间的间隙确保了所 述磁头更加稳定。在先前的技术中需要更精确的安装磁头，因为所述间隙有 可能会影响所述磁头的位置(例如，由于^兹头倾斜)/人而影响所述石兹头折片 组合的静态性能。因为分离所述压电元件和所述磁头的边缘,现有的安装有助 于实现更好的抗振性能。尺寸的相应减少使较少的材料受到振动，相应地使 磁头折片组合的成本得到降低(例如，每一晶片可生成压电元件的数量增加 了)。本发明减少了位于所述舌片区域的悬臂件尺寸，确保所述》兹头折片组合 的高共振性能，从而改进所述磁头折片组合的动态及静态性能。
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种才艮据本发明的本质进行的修改及等效组合。
权利要求
1.一种磁头折片组合，包括悬臂件，所述悬臂件包括设置于该悬臂件一端的悬臂挠性件，该悬臂挠性件包括舌片区域；至少一个微致动器，所述微致动器安装于所述悬臂挠性件的所述舌片区域的微致动器安装区域；及磁头，所述磁头具有前边和后边；其特征在于所述悬臂挠性件的所述舌片区域具有顶端区域和底部区域，所述磁头充分完全地安装于所述舌片区域的一绝缘层上，所述磁头的前边安装于所述舌片区域的底部区域，而所述磁头的后边安装于所述舌片区域的顶端区域。
2. 如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于所述舌片区域的顶端 区域和底部区域通过一柔点可操作地连结，所述柔点由形成于所述悬臂挠性 件上的凸点支撑。
3. 如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于进一步包括至少一个 形成于所述微致动器安装区域的支撑结构，该支撑结构提高所述悬臂挠性件 的硬度。
4. 如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于所述悬臂挠性件充分 完全地位于所述磁头的下面。
5. 如权利要求1所述的磁头折片组合，其特征在于进一步包括一形成于 所述悬臂件上的凸点，该凸点支撑所述悬臂挠性件。
6. 如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于所述悬臂挠性件的舌 片区域充分均等地受力于所述凸点。
7. 如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于进一步包括至少一聚 合层及聚合层包围的传导层，所述聚合层形成于所述悬臂挠性件上，所述传 导层于所述凸点处平衡所述舌片区域的重量。
8. —种磁盘驱动器，包括 磁头折片组合；连接该磁头折片组合的驱动臂； 磁盘；及驱动该石兹盘旋转的主轴马达； 所述磁头折片组合包括悬臂件，所述悬臂件包4舌i殳置于该悬臂件一端的悬臂挠性件，该悬臂 挠性件包括舌片区域；至少一个微致动器，所述微致动器安装于所述悬臂挠性件的所述舌片 区域的孩吏致动器安装区域；及磁头，所述磁头具有前边和后边； 其特征在于所述悬臂挠性件的所述舌片区域具有顶端区域和底部区域， 所述^f兹头充分完全地安装于所述舌片区域的一绝缘层上，所述磁头的前边安 装于所述舌片区域的底部区域，而所述磁头的后边安装于所述舌片区域的顶 端区域。
9. 如权利要求8所述的磁盘驱动器，其特征在于所述舌片区域的顶端区 域和底部区域通过一柔点可操作地连结，所述柔点由形成于所述悬臂挠性件 上的凸点支撑。
10. 如权利要求8所述的磁盘驱动器，其特征在于进一步包括至少一个 形成于所述微致动器安装区域的支撑结构，该支撑结构提高所述悬臂挠性件的硬度。
11. 如权利要求8所述的磁盘驱动器，其特征在于所述悬臂挠性件充分 完全地^f立于所述》兹头的下面。
12. 如权利要求8所述的^兹盘驱动器，其特征在于进一步包括一形成于 所述悬臂件上的凸点，该凸点支撑所述悬臂挠性件。
13. 如权利要求12所述的磁盘驱动器，其特征在于所述悬臂挠性件的舌 片区域充分均等地受力于所述凸点。
14. 如权利要求12所述的磁盘驱动器，其特征在于进一步包括至少一聚 合层及聚合层包围的传导层，所述聚合层形成于所述悬臂挠性件上，所述传 导层于所述凸点处平衡所述舌片区域的重量。
15. —种制造磁头折片组合的方法，其特征在于，包括如下步骤 提供一悬臂件；装配一悬臂挠性件到所述悬臂件的一端，所述悬臂挠性件包括具有顶端 区域和底部区域的舌片区域；连接至少 一个微致动器于所述悬臂挠性件的舌片区域的微致动器安装区域；充分完全地安装具有前边和后边的^f兹头于所述舌片区域的一绝缘层上， 并使所述磁头的前边安装于所述舌片区域的底部区域，使所述磁头的后边安 装于所述舌片区域的顶端区域。
16. 如权利要求15所述的制造磁头折片组合的方法，其特征在于进一步 包括于所述微致动器安装区域形成至少一个支撑结构的步骤，所述支撑结构 提高所述悬臂挠性件的硬度。
17. 如权利要求15所述的制造磁头折片组合的方法，其特征在于所述悬 臂挠性件充分完全地位于所述^f兹头的下面。
18. 如权利要求15所述的制造磁头折片组合的方法，其特征在于进一步 包括于所述悬臂件上形成凸点的步骤，所述凸点支撑所述悬臂挠性件。
19. 如权利要求18所述的制造磁头折片组合的方法，其特征在于所述悬 臂挠性件的舌片区域充分均等地受力于所述凸点。
20. 如权利要求15所述的制造磁头折片组合的方法，其特征在于进一步 包括提供一传导层；及于所述悬臂挠性件上形成至少一聚合层，所述聚合层包围所述传导层； 其中所述传导层在所述凸点处平衡所述舌片区域的重量。
全文摘要
本发明公开了一种薄膜压电微致动器的精确的位置调整系统及方法。一些实施例中提供了磁头折片组合，其包括悬臂件。所述悬臂件包括设置于所述悬臂件一端的悬臂挠性件，该悬臂挠性件包括舌片区域。至少一个微致动器装配于所述悬臂挠性件的舌片区域的微致动器安装区域。所述磁头和所述微致动器之间的间隙被减小或消除。所述磁头充分全部地装配到绝缘层上，该绝缘层分离所述磁头与所述微致动器。所述悬臂挠性件充分全部地位于所述磁头的下面，所述悬臂挠性件的舌片区域充分均等地受力于形成于所述悬臂件上的凸点。一个或多个支撑结转形成于所述悬臂挠性件上，用于提高该悬臂挠性件的硬度。
文档编号G11B5/596GK101202052SQ20061016899
公开日2008年6月18日 申请日期2006年12月15日 优先权日2006年12月15日
发明者姚明高 申请人:新科实业有限公司