磁盘驱动器悬架的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种磁盘驱动器悬架。其中，挠性件（22）的万向节部（30）设有第一支承部(70,71)和第二支承部（72,73），微型致动器元件（31,32）的第一端部(31a,32a)固定到第一支承部，而第二端部(31b,32b)固定到第二支承部。第一舌部(91)形成于该对第一支承部(70,71)之间。滑动件（11）的前侧部（11a）可动地设置在第一舌部（90）上。第二舌部(92)形成于该对第二支承部(72,73)之间。滑动件（11）的尾侧部(11b)固定到第二舌部(92)。铰接部(93)形成于第一和第二舌部(91,92)之间。舌部(91,92)通过铰接部(93)可枢转地连接。凹窝的远端在接触点（P1）与铰接部（93）接触。
【专利说明】磁盘驱动器悬架【技术领域】
[0001]本发明涉及一种磁盘驱动器悬架(suspension),该磁盘驱动器悬架包括为例如错钛酸铅(PZT)的微型致动器元件。
【背景技术】
[0002]人们在诸如个人计算机之类的信息处理设备中使用硬盘驱动器(HDD)。硬盘驱动器包括可绕芯轴旋转的磁盘、可绕枢轴转动的托架等。包括致动器臂在内的托架构造成通过诸如音圈马达之类的定位马达相对于盘的轨道横向地绕枢轴转动。
[0003]悬架安装在致动器臂上。悬架包括负载梁以及叠置于其上的挠性件。构成磁头的滑动件安装在形成于挠性件的远端部附近的万向节部上。滑动件设置有用于访问数据、即读取或写入数据的元件(转换器)。负载梁、挠性件、滑动件等构成磁头万向节组件。
[0004]为了克服盘的记录密度增大的问题，磁头应相对于各个盘的记录表面更精确地定位。为了实现这一目的，已开发了两级致动器(DSA)悬架，这些悬架将定位马达(音圈马达)和由诸如锆钛酸铅(PZT)之类的压电材料制成的微型致动器元件结合。
[0005]悬架的远端可通过向致动器元件施加电压并由此使致动器元件变形来沿摆动方向(或相对于轨道横向)快速运动极小距离。如在日本专利申请特许公开第2003-059219号(专利文献I)和第2010-146631号(专利文献2)中公开的那样，此外，已知微型致动器元件设置在挠性件的万向节部上的DSA悬架。
[0006]专利文献I中公 开的微型致动器被称为背驮式微型致动器。在背驮式微型致动器中，PZT等的微型致动器元件叠置在滑动件的背面上。在此情况下，微型致动器元件的厚度加到滑动件的厚度上。因此，磁头万向节组件的磁头部的厚度增大，从而使得难以减小磁盘驱动器的厚度。在一些背驮式微型致动器中，由机械冲击引起的、施加于磁头万向节组件的负载(如果有的话)会作用于滑动件和微型致动器元件。因此，诸如PZT的易碎材料所制成的微型致动器元件易于断裂。
[0007]另一方面，专利文献2中公开的微型致动器包括固定到舌形件的一个表面(面向负载梁)的微型致动器元件和固定到舌形件的另一表面的滑动件。在这种微型致动器的情况下，形成于负载梁上的凹窝的远端与舌形件的一个表面接触。因此，有必要使微型致动器元件的厚度小于凹窝的突出高度。由此，存在由诸如PZT的易碎材料所制成的微型致动器元件容易断裂的问题。此外，在这种类型的传统微型致动器元件中，当驱动该元件时，滑动件的枢转之处(圆弧)的中心不与凹窝的位置重合。由此，凹窝的远端与舌形件摩擦，由此产生摩擦力，该摩擦力会阻碍滑动件的运动或引起诸如颗粒物质的污染。
【发明内容】
[0008]由此，本发明的目的是提供一种磁盘驱动器悬架，该磁盘驱动器悬架包括位于万向节部上的由PZT等制成的微型致动器元件，并构造成在微型致动器元件被驱动时使滑动件的枢转中心可以与凹窝位置匹配，并且能增大微型致动器元件的厚度的设计灵活性。[0009]根据实施例的磁盘驱动器悬架包括负载梁和挠性件。挠性件包括固定到负载梁的固定部分和其上安装有滑动件的万向节部。各自包括第一和第二端部的一对微型致动器元件设置在滑动件的两侧。挠性件包括一对第一支承部、一对第二支承部、第一舌部、第二舌部和铰接部。微型致动器元件的对应第一端部各自固定到该对第一支承部。微型致动器元件的对应第二端部各自固定到该对第二支承部。第一舌部形成于该对第一支承部之间，且滑动件的前侧部设置在第一舌部上，以进行运动。第二舌部形成于该对第二支承部之间，滑动件的尾侧部固定在第二舌部上。铰接部形成于第一和第二舌部之间。铰接部比第一和第二舌部窄，并可枢转地连接这些舌部。此外，悬架包括支承突出部(例如，凹窝的凸表面)，该支承突出部相对于负载梁可摆动地支承铰接部。
[0010]根据这种设置，在驱动微型致动器元件时可枢转的滑动件的枢转中心能与支承突出部的位置匹配，以使滑动件能平稳枢转。此外，该对微型致动器元件在万向节部的一个表面上设置在滑动件的两侧。由此，各个微型致动器元件的厚度无须小于支承突出部的突出高度，因而，各个微型致动器元件的厚度的设计灵活度可提高。
[0011]铰接部可形成于滑动件的中心位置(沿前后方向的中心或者重心)。狭缝可以在铰接部的相对两侧分别形成于第一和第二舌部之间。较佳地，开口应限定在第一和第二支承部之间，由此防止微型致动器元件的沿前后方向的中间部与第一和第二舌部接触。
[0012]根据一个实施例，磁盘驱动器悬架包括挠性件的第一固定部分、挠性件的第二固定部分、一对第一臂和一对第二臂，第一固定部分固定到负载梁，第二固定部分固定在比第一固定部分更接近于挠性件的远端的位置，上述一对第一臂使第一固定部分和第一支承部连接，而上述一对第二臂使第二固定部分和第一臂连接。在此实施例中，悬架可包括连接到第二支承部和第二臂的限制构件。
[0013]在下面的说明书中将提出本发明的其它目的和优点，这些其它目的和优点部分地将从说明书中变得明白，或可通过对本发明的实践来学到。借助于在下文中特别指出的手段和组合，可实现和达到本发明的目的和优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]包含于此并构成本说明书一部分的附图示出本发明的实施例，它与上面给出的总体描述和下面给出的对实施例的详细描述一起用来揭示本发明的原理。
[0015]图1是示出磁盘驱动器的一个示例的立体图；
[0016]图2是图1中所示的磁盘驱动器的局部剖视图；
[0017]图3是根据第一实施例的悬架的立体图；
[0018]图4是从一侧看的图3的悬架的微型致动器安装部段的立体图；
[0019]图5是从另一侧看的图4的微型致动器安装部段的立体图；
[0020]图6是图5的微型致动器安装部段的平面图；
[0021]图7是悬架的挠性件的导电电路部的局部剖视图；
[0022]图8是图4的微型致动器安装部段的剖视图；
[0023]图9是示出位于负载梁上的凹窝和万向节部的一部分的局部剖视图；
[0024]图10是图5的微型致动器安装部段的挠性件的万向节部的平面图；
[0025]图11是示意地示出微型致动器元件被驱动的微型致动器安装部段的平面图；[0026]图12是根据第二实施例的微型致动器安装部段的挠性件的万向节部的平面图；
[0027]图13是根据第三实施例的微型致动器安装部段的挠性件的万向节部的平面图；以及
[0028]图14是根据第四实施例的微型致动器安装部段的挠性件的万向节部的平面图。【具体实施方式】
[0029]现将参照图1至11描述根据本发明的第一实施例的磁盘驱动器悬架。
[0030]图1中所示的磁盘驱动器(HDD)I包括壳体2、可绕芯轴3转动的磁盘4、可绕枢轴5转动的托架6、用于致动托架6的定位马达(音圈马达)7等。用盖子(未示出)来密封壳体2。
[0031]图2是示意地示出磁盘驱动器I的一部分的剖视图。如图1和2中所示，托架6包括臂(托架臂)8。在各个臂8的远端部上安装有悬架10。构成磁头的滑动件11设置在该悬架10的远端上。在各个磁盘4以高速旋转的状态下，当空气流入磁盘4和滑动件11之间时，在磁盘与滑动件11之间形成有空气轴承。如果定位马达7使托架6转动，则悬架10相对于磁盘4径向运动。此时，滑动件11运动到磁盘4的所期望的轨道。
[0032]图3示出两级致动器(DSA)型的悬架10。该悬架10包括固定到托架6的对应臂8 (图1和2)上的基板20、负载梁21、具有导体的挠性件22、位于悬架10的远端附近的微型致动器安装部段23等。在基板20上形成有将插入各个臂8中的孔8a (图2)内的凸台部 20a。
[0033]在图3中，箭头X和Y分别表示负载梁21的纵向、即悬架10的纵向(前后方向)和摆动方向(滑动件11的横向)。在负载梁21的近侧部(后端部)上形成有能沿厚度方向弹性变形的弹性部25。挠性件22沿负载梁21设置。
[0034]图4是从滑动件11的那侧看的、微型致动器安装部段23的立体图。微型致动器安装部段23设置在悬架10的远端部上。能在磁信号和电信号之间转换的诸如磁阻(MR)元件之类的元件28设置在构成磁头的滑动件11端部上。这些元件28用于访问数据，即，将数据写入磁盘4或从磁盘4读出数据。滑动件11、负载梁21、挠性件22等构成磁头万向节组件。
[0035]微型致动器安装部段23包括形成于挠性件22的远端部上的万向节部30和一对微型致动器元件31和32。这些微型致动器元件31和32各自设置在万向节部30上的滑动件11的相对两侧。微型致动器元件31和32由PZT等的压电板构成，并具有借助后文详细描述的结构来使滑动件11沿摆动方向枢转的功能。
[0036]图5是从与图4相对的一侧看的挠性件22的远端部上的万向节部30的立体图。微型致动器元件31和32设置在万向节部30上。图6是示出万向节部30和微型致动器元件31和32的平面图。挠性件22包括由不锈钢板制成的金属基部40和导电电路部41。导电电路部41沿金属基部40设置。导电电路部41包括与金属基部40交叠的部分和不与金属基部40交叠的部分。
[0037]金属基部40固定到负载梁21。固定装置的示例包括通过激光焊接形成的第一焊点Wl (图3、6等)和第二焊点W2 (图3到6)。挠性件22包括第一和第二固定部分22a和22b。第一固定部分22a通过焊点Wl在悬架10的沿前后方向的中间部分处固定到负载梁21。第二固定部分22a通过焊点W2在挠性件22的远端部附近的位置处固定到负载梁21。挠性件22的后部22c (图3)从基板20向后延伸。
[0038]如图5、6等中所示，挠性件22的金属基部40包括一对第一臂51和52以及一对第二臂53和54。第一臂51和52与第一固定部分22a连接，而第二臂53和54与第二固定部分22b连接。第一臂51和52的对应远端部51a和52a为U形。第二臂53和54的对应后端连接到远端部51a和52a附近。
[0039]图7示出金属基部40和导电电路部41的剖视图的示例。导电电路部41包括绝缘层60、写入导体61、读出导体62和覆盖层63。绝缘层60和覆盖层63由诸如聚酰亚胺的弹性绝缘树脂制成。导体61和62形成于绝缘层60上。覆盖层63覆盖导体61和62。写入导体和读出导体61和62连接到滑动件11的元件28，这些元件对应于端子部41a定位(图4)。例如，金属基部40为20微米(12到25微米)厚；绝缘层60为10微米(5到20微米)厚；导体61和62为9微米(4到15微米)厚；以及覆盖层63为5微米(2到10微米)。金属基部40的厚度小于负载梁21的厚度(例如，30微米)。
[0040]该对微型致动器元件31和32设置在挠性件22的万向节部30上。万向节部30包括面向负载梁21的第一表面30a (图5和9)以及与第一表面30a相对的第二表面30b(图4和9)。滑动件11和微型致动器元件31和32设置在第二表面30b上。
[0041]微型致动器元件31和32分别包括第一端部31a和32a以及第二端部31b和32b。图4和6中的箭头Xl和X2分别表示关于微型致动器元件31和32的前进和后退方向。微型致动器元件31和32的第一端部31a和32a分别固定到形成于万向节部30上的一对第一支承部70和71。第一支承部70和71分别通过挠性第一臂51和52与挠性件22的第一固定部分22a连接。第一臂51和52的远端部51a和52a分别通过第二臂53和54与挠性件22的第二固定部分22b连接。因此，第一支承部70和71通过第一臂部51和52以及第二臂部53和54支承在固定部分22a和22b上，这些臂部能相对于负载梁21弹性变形。微型致动器元件31和32的第二端部31b和32b分别固定到形成于万向节部30上的一对第二支承部72和73。
[0042]图8示出(该对微型致动器元件31和32的)一个微型致动器元件31的接头部的剖视图。微型致动器元件31的相对端部31a和31b固定到万向节部30，并通过接头部电连接到导电电路部41。由于另一微型致动器元件32的相对端部32a和32b处的接头部以与图8中所示相同的方式构造，所以下面将代表性地描述一个微型致动器元件31。
[0043]如图8中所示，微型致动器元件31包括PZT元件80和形成于PZT元件80的周缘表面上的第一和第二电极81和82。第一电极81形成为范围从PZT兀件80的一个端表面到其下表面。第二电极82形成为范围从PZT元件80的另一端表面到其上表面。微型致动器元件31的第一端部31a通过电绝缘的粘结剂层85固定到万向节部30的第一支承部70。微型致动器元件31的第二端部31b通过另一粘结剂层85固定到第二支承部72。
[0044]图8中所示的第一电极81通过第一支承部70上的导电的粘结剂层(例如，银膏)86导通到导电电路部41的导体87。第二电极82通过第二支承部72上的另一粘结剂层86导通到接地侧导体88。接地侧导体88固定于并导通到金属基部40。
[0045]如图5、6等中所示，挠性件22的万向节部30包括位于固定侧的第一舌部91、可动的第二舌部92和形成于舌部91和92之间的铰接部93。第一舌部91形成于第一支承部70和71之间，而第二舌部92形成于第二支承部72和73之间。铰接部93形成于第一和第二舌部91和92之间。第一支承部70和71、第二支承部72、第一和第二舌部91和92以及铰接部93构成金属基部40的一部分，且例如通过蚀刻来形成它们各自的轮廓。第一和第二舌部91和92以及铰接部93构成舌形件90，该舌形件90构造成将滑动件11承载于其上。
[0046]图9是在铰接部93所在位置处剖取的负载梁21和万向节部30的局部剖视图。图10是万向节部30的平面图。铰接部93的宽度LI比第一和第二舌部91和92中每个舌部的宽度L2小得多。狭缝94和95在舌部91和92之间各自形成于铰接部93的相对两侧。舌部91和92通过受限的铰接部93相对可枢转地连接在一起。由此，可动的第二舌部92构造成沿由图10中的箭头A和B所示方向、相对于固定侧上的第一舌部91运动。
[0047]滑动件11设置在第一和第二舌部91和92以及铰接部93上。此外，滑动件11的前侧部Ila设置成相对于第一舌部91运动。滑动件11的尾侧部Ilb固定到第二舌部92。文中所述的“前侧”是当磁盘转动时空气流入滑动件11和磁盘4之间的那侧。另一方面，“尾侧”是滑动件11与磁盘4之间的空气流出的那侧。铰接部93形成于滑动件11的中心位置11c，例如，滑动件11的重心或者滑动件关于横向和纵向的中心。
[0048]在负载梁21的远端附近形成有凹窝100 (图9)。凹窝100包括由向着万向节部30突出的凸表面构成的支承突出部100a。支承突出部IOOa的远端与铰接部93邻接。换言之，铰接部93由凹窝100的凸表面可摆动地支承。由此，将万向节部30支承为可相对于负载梁21绕铰接部93和凹窝100的远端之间的接触点Pl摆动。
[0049]或者，凹窝可形成于铰接部93上，因而，其远端与负载梁21邻接。简而言之，诸如凹窝之类的支承突出部IOOa应仅形成于负载梁21和铰接部93对应的相面对的表面中的一个上，以使它与另一面对的表面邻接。
[0050]一个开口 110 (位于图10的右侧)形成于第一和第二支承部70和72之间。开口110与一个狭缝94连通。另一开口 111 (位于图10的左侧)形成于第一和第二支承部71和73之间。开口 111与另一狭缝95连通。
[0051]由于开口 110和111由此分别形成于舌部91和92的相对两侧，可防止元件31和32的沿前后方向(纵向)的中间部与舌部91和92接触。如果悬架10受到外部机械冲击，则因此可防止元件31和32的纵向中间部被舌部91和92撞击。因此，可防止元件31和32由于被撞击而被破坏。文中所述的微型致动器元件31和32的纵向是微型致动器元件31和32的伸出和缩回行程的方向。
[0052]如图4和5中所示，本实施例的万向节部30包括限制构件120和121。一个限制构件120连接到一个第一臂51的远端部51a、第二臂53和第二支承部72。另一限制构件121连接到另一第一臂52的远端部52a、第二臂54和第二支承部73。
[0053]限制构件120和121是聚酰亚胺等制成的树脂绝缘层60的一部分，该树脂绝缘层构成了导电电路部41的一部分。由于这些限制构件120和121从万向节部30上方看是波形的，所以它们沿行程方向的刚度较低。由此，当驱动微型致动器元件31和32时，第二舌部92的运动并不受阻碍。如果悬架10受到外部机械冲击，限制构件120和121具有使铰接部30不远离凹窝100 (凹窝分离)的功能。
[0054]下面说明本实施例的悬架10的操作。
[0055]如果托架6 (图1和2)由定位马达7转动，悬架10相对于磁盘4径向运动。此时，磁头的滑动件11运动到磁盘4的记录表面的所期望的轨道上。如果将电压施加到微型致动器元件31和32，微型致动器元件31和32关于电压而彼此相对地扭曲。这样，负载梁21可沿摆动方向(由图3中的箭头Y所示)运动极小的距离。
[0056]如图11中示意性的示出的，例如，当一个和另一个微型致动器元件31和32分别缩回和伸出时，第二舌部92沿箭头A的方向运动。因此，滑动件11上的元件28 (图4)可快速而精确地沿摆动方向定位。实际上，滑动件11沿摆动方向的运动距离范围从几纳米到几十纳米。然而，在图11中，为了更好地理解滑动件11和第二舌部92的运动，夸张地示出万向节部30的变形程度。
[0057]在本实施例的微型致动器安装部段23中，如果驱动微型致动器元件31和32，可动的第二舌部92绕铰接部93、相对于固定侧的第一舌部91横向枢转。滑动件11的尾侧部Ilb固定到第二舌部92。与此相对，滑动件11的前侧部Ila相对于第一舌部91可动。如图9中所示，凹窝100的远端在接触点Pl处与铰接部93邻接。
[0058]如果通过施加电压而驱动微型致动器元件31和32，则因此第二舌部92和滑动件11绕与凹窝100的接触点Pl枢转。因此，滑动件11的枢转中心可与接触点Pl的位置匹配。这样，凹窝100的远端可以在驱动微型致动器元件31和32 (或当滑动件11枢转)时不与挠性件22摩擦。由此，可以抑制在第二舌部92的枢转期间产生高摩擦阻力或致污染作用。
[0059]根据悬架的规格，凹窝100的位置可相对于滑动件11的中心有针对性地向前或向后移动(所谓的凹窝移动)。即便是这种设计，通过根据凹窝的位置在向前或向后移动的位置中形成铰接部93，滑动件11的枢转中心也可容易地与凹窝100的接触位置匹配。
[0060]此外，微型致动器元件31和32在与滑动件11相同的一侧设置在万向节部30的第二表面30b上。因此，无须使微型致动器元件31和32中每个微型致动器元件的厚度比凹窝100的突出部高度小。由此，可将较厚的结构用于微型致动器元件31和32。由此，可用的微型致动器元件31和32提供高输出负载和机械强度，并难以断裂。
[0061]图12示出根据第二实施例的微型致动器安装部段23A。本实施例的微型致动器安装部段23A与呈第一臂31和52以及第二臂53和54形式的第一实施例的微型致动器安装部段23略不同。具体来说，图12的微型致动器安装部段23A的第二臂53和54分别位于第一臂51和52内侧。此外，第一臂51和52的对应远端部51a和52a分别连接到第二臂53和54。由于其它构造和效果对于第一和第二实施例的微型致动器安装部段23和23A来说是相同的，用同样的符号来表示第一和第二实施例的相同部分，并且省却对这些部分的说明。
[0062]图13示出根据第三实施例的微型致动器安装部段23B。该实施例的第二臂53和54分别连接到第一臂51和52。第二臂53和54不固定到负载梁。第一支承部70和71、第一舌部91和第二臂53和54通过第一臂51和52支承于挠性件22的固定部分22a上。由于其它构造和效果对于第一和第三实施例的微型致动器安装部段23和23B来说是相同的，用相同的符号来表示第一和第三实施例的相同部分，并且省却对这些部分的说明。
[0063]图14示出根据第四实施例的微型致动器安装部段23C。本实施例的第一支承部70和71以及第一舌部91仅通过第一臂51和52支承于挠性件22的固定部分22a上。由于其它构造和效果对于第三(图13)和第四实施例的微型致动器安装部段23B和23C是相同的，用相同的符号来表示第三和第四实施例的相同部分，并且省却对这些部分的说明。
[0064]应理解到，为了实施本发明，可以对包括挠性件的第一和第二舌部和铰接部在内的微型致动器安装部段以及微型致动器元件的组成元件的具体形式作各种修改。
[0065]对本领域的技术人员来说还可易于有其它优点和更改。因此，本发明在其更广泛方面并不限于本文所示和所述的具体细节和代表性实施例。因此，可以作出各种修改而不脱离如所附权利要求书所限定的本总体发明概念的精神或范围。
【权利要求】
1.一种磁盘驱动器悬架(10)，所述磁盘驱动器悬架包括负载梁(21)和挠性件(22)，所述挠性件包括固定到所述负载梁(21)的固定部分(22a，22b)和其上安装有滑动件(11)的万向节部(30)，所述磁盘驱动器悬架(10)的特征在于还包括: 一对微型致动器元件(31，32)，所述一对微型致动器元件设置在所述滑动件(11)的两侦U，并各自包括第一端部(31a，32a)和第二端部(31b，32b)； 所述万向节部(30)的一对第一支承部(70，71)，所述一对第一端部(31a，32a)各自固定到所述一对第一支承部，且所述一对第一支承部由所述固定部分(22a，22b)支承； 所述万向节部(30)的一对第二支承部(72，73)，所述一对第二端部(31b，32b)各自固定到所述一对第二支承部； 第一舌部(91)，所述第一舌部形成于所述一对第一支承部(70，71)之间，且所述滑动件(11)的前侧部(I Ia)设置在所述第一舌部上，以进行运动； 第二舌部(92)，所述第二舌部形成于所述一对第二支承部(72，73)之间，且所述滑动件(11)的尾侧部(Ilb)设置在所述第二舌部上； 铰接部(93)，所述铰接部形成于所述第一和第二舌部(91，92)之间、比所述舌部(91，92)窄，并可枢转地连接所述舌部(91，92);以及 支承突出部(100a)，所述支承突出部相对于所述负载梁(21)可摆动地支承所述铰接部(93)。
2.如权利要求1的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述万向节部(30)包括面向所述负载梁(21)的第一表面(30a)和与所述第一表面(30a)相对的第二表面(30b)，且所述滑动件(11)和所述微型致动器 元件(31，32)设置在所述第二表面(30b)。
3.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述支承突出部(IOOa)是形成于所述负载梁(21)上的凹窝(100)的凸表面，所述凹窝(100)的凸表面与所述铰接部(93)邻接。
4.如权利要求2所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述支承突出部(100a)是形成于所述负载梁(21)上的凹窝(100)的凸表面，所述凹窝(100)的凸表面与所述铰接部(93)邻接。
5.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述支承突出部(IOOa)形成于所述铰接部(93)上，并与所述负载梁(21)邻接。
6.如权利要求2所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述支承突出部(100a)形成于所述铰接部(93)上，并与所述负载梁(21)邻接。
7.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述铰接部(93)形成于所述滑动件(11)的中心位置(11C)。
8.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，所述挠性件(22)包括狭缝(94，95)，所述狭缝各自形成于所述铰接部(93)的相对两侧上的所述第一和第二舌部(91，92)之间。
9.如权利要求8所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于，开口(110，111)限定于所述第一和第二支承部(70，71，72，73)之间，由此，防止所述微型致动器元件(31，32)的沿前后方向的中间部与所述第一和第二舌部(91，92)接触。
10.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于包括所述挠性件(22)的第一固定部分(22a)、所述挠性件(22)的第二固定部分(22b)、一对第一臂(51，52)和一对第二臂(53，54)，所述第一固定部分固定到所述负载梁(21)，所述第二固定部分固定在比所述第一固定部分更接近于所述挠性件(22)的所述远端的位置，所述一对第一臂使所述第一固定部分(22a)和所述第一支承部(70，71)连接，而所述一对第二臂使所述第二固定部分(22b)和所述第一臂(51，52)连接。
11.如权利要求10所述的磁盘驱动器悬架(10)，其特征在于包括限制构件(120，121)，所述限制构件连接 到所述第二支承部(72，73)和所述第二臂(53，54)。
【文档编号】G11B5/48GK103578490SQ201310304022
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月18日 优先权日:2012年7月19日
【发明者】泷川健一, 安藤利树 申请人:日本发条株式会社