半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置的制作方法

文档序号:21710074发布日期:2020-08-05 00:55阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:包括连通至老化测试板卡的隔热腔体的老化测试板卡侧接头组件(10)以及连接至气源的气源侧接头组件(20),所述气源侧接头组件(20)包括同轴设置的堵头(23)、压缩弹簧(24)、气源密封座(25)及气管接口(27),所述堵头(23)及所述压缩弹簧(24)设置在所述气源密封座(25)中,所述压缩弹簧(24)受压设置在所述堵头(23)与所述气管接口(27)之间,所述气源密封座(25)与所述气管接口(27)固定连接,所述老化测试板卡侧接头组件(10)在连接时对所述堵头(23)施加与所述压缩弹簧(24)相反的力,所述老化测试板卡侧接头组件(10)与所述气源侧接头组件(20)的接触端面之间设置有第一密封圈(12)。

2.根据权利要求1所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述老化测试板卡侧接头组件(10)包括与隔热腔体连通的气管接头(11),所述气管接头(11)的前端凸伸出可插入所述气源侧接头组件(20)中的接头嘴(112)。

3.根据权利要求2所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述气管接头(11)上接头嘴(112)外侧开设有供所述第一密封圈(12)卡入的密封圈槽(111)。

4.根据权利要求2所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述气源侧接头组件(20)包括与所述气源密封座(25)同轴连接的气源法兰(21),所述气源法兰(21)上开设有可供所述接头嘴(112)伸入的法兰孔(211)。

5.根据权利要求4所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述气源法兰(21)与所述气源密封座(25)接触的端面上开设有法兰槽(212),所述法兰槽(212)内放置有第二密封圈(22)。

6.根据权利要求5所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述堵头(23)包括外径较小的堵头凸起(231)及外径较大的堵头座(232),所述堵头凸起(231)的外径使其可伸入所述法兰孔(211)中,所述堵头座(232)的外径使其端面可与所述第二密封圈(22)挤压实现密封。

7.根据权利要求6所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述气管接口(27)朝向气源密封座(25)的一头凸伸出弹簧座(271),所述压缩弹簧(24)安装在所述堵头座(232)与弹簧座(271)之间。

8.根据权利要求1所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述老化测试板卡侧接头组件(10)和所述气源侧接头组件(20)分别设置有多个一对一对应的接头。

9.根据权利要求1所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述气源密封座(25)与所述气管接口(27)之间设有第三密封圈(26)。

10.根据权利要求1所述的半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,其特征在于:所述气源侧接头组件(20)进一步包括与提供气源的气管连接的直通接头(28),所述直通接头(28)的外壁上开设有卡槽(281)。


技术总结
本发明公开了一种半导体存储器老化测试设备中老化测试板卡散热供气装置,包括连通至隔热腔体的老化测试板卡侧接头组件以及气源侧接头组件,气源侧接头组件包括同轴设置的堵头、压缩弹簧、气源密封座及气管接口,堵头及压缩弹簧设置在气源密封座中,压缩弹簧受压设置在堵头与气管接口之间,气源密封座与气管接口固定连接,老化测试板卡侧接头组件在连接时对堵头施加与压缩弹簧相反的力,老化测试板卡侧接头组件与气源侧接头组件的接触端面之间设置有第一密封圈。本发明采用老化测试板卡侧接头组件与气源侧接头组件进行插入配合并用密封圈进行密封,确保隔热效果;本发明采用压缩弹簧结构,机构失效率较低,提升整体的结构性能及工作寿命。

技术研发人员:杨轶;邓标华;裴敬;杜建
受保护的技术使用者:武汉精鸿电子技术有限公司
技术研发日:2020.03.28
技术公布日:2020.08.04
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