一种用于提高SRAM读电流的结构的制作方法

一种用于提高sram读电流的结构
技术领域
1.本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种用于提高sram读电流的结构。


背景技术：

2.对于双端口sram，写字线和写位线与标准8t sram相同，但为读操作指定了一个额外的读取上拉管pd(rpd)和读取通过门pg(rpg)，这可以提高读速度并避免读干扰。
3.读取电流由rpd和rpg控制。为了增加读取电流，我们需要增加rpd或rpg驱动能力。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种用于提高sram读电流的结构，用于解决现有技术中标准8t sram中rpd或rpg驱动能力低下的问题。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种用于提高sram读电流的结构，至少包括：
6.横向对称分布的两个相同的第一、第二读取上拉管；横向对称分布的两个相同的第一、第二读取通过门；所述第一、第二读取通过门位于所述第一、第二读取上拉管的纵向一侧；
7.所述第一、第二读取上拉管分别包括第一至第三fin结构；
8.所述第一读取上拉管还包括第一栅极；所述第一栅极置于所述第一读取上拉管的所述第一至第三fin结构上；
9.所述第二读取上拉管还包括第二栅极；所述第二栅极置于所述第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构上；
10.所述第一、第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构的一端通过第一金属条形结构连接；
11.第一、第二读取通过门分别包含第一至第三fin结构；第三栅极；所述第三栅极置于所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构上；第四栅极；所述第四栅极置于所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构上；所述第三栅极和所述第四栅极通过第一栅极金属连接；
12.所述第一读取上拉管的所述第一至第三fin结构的另一端通过第二金属条形结构与所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构的一端连接；
13.所述第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构的另一端通过第三金属条形结构与所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构的一端连接；
14.所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构的另一端通过第四金属条形结构相互连接；所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构的另一端通过第五金属条形结构相互连接。
15.优选地，所述第一金属条形结构连接电压vss。
16.优选地，第一读取上拉管的所述第一栅极的功函数层为nulvt管的功函数层；所述
第二读取上拉管的所述第二栅极的功函数层为nulvt管的功函数层。
17.优选地，所述第三、第四栅极的功函数层为nulvt管的功函数层。
18.优选地，所述第一、第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构中至少有一个fin结构设有阈值电压离子注入。
19.优选地，所述第一、第二读取通过门的所述第一至第三fin结构中至少有一个fin结构设有阈值电压离子注入。
20.优选地，所述第一、第二读取上拉管为nlvt管。
21.优选地，所述第一、第二读取通过门为nlvt管。
22.如上所述，本发明的用于提高sram读电流的结构，具有以下有益效果：本发明的结构中。rpd和rpg中的至少一个改变为nlvt或nulvt后，读取电流可以得到明显的改善，同时对读取干扰问题没有任何副作用。这不会增加新的光罩，由于rpd和rpg之间的间距足够大，可以进行工艺修改，因此工艺余量对于2端口sram来说是足够的。
附图说明
23.图1显示为本发明的用于提高sram读电流的结构的版图示意图。
具体实施方式
24.以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
25.请参阅图1。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
26.本发明提供一种用于提高sram读电流的结构，如图1所示，图1显示为本发明的用于提高sram读电流的结构的版图示意图，至少包括：
27.横向对称分布的两个相同的第一、第二读取上拉管；横向对称分布的两个相同的第一、第二读取通过门；所述第一、第二读取通过门位于所述第一、第二读取上拉管的纵向一侧；
28.所述第一、第二读取上拉管分别包括第一至第三fin结构；
29.所述第一读取上拉管还包括第一栅极；所述第一栅极置于所述第一读取上拉管的所述第一至第三fin结构上；
30.所述第二读取上拉管还包括第二栅极；所述第二栅极置于所述第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构上；
31.所述第一、第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构的一端通过第一金属条形结构连接；
32.第一、第二读取通过门分别包含第一至第三fin结构；第三栅极；所述第三栅极置于所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构上；第四栅极；所述第四栅极置于所述第
二读取通过门的所述第一至第三fin结构上；所述第三栅极和所述第四栅极通过第一栅极金属连接；
33.所述第一读取上拉管的所述第一至第三fin结构的另一端通过第二金属条形结构与所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构的一端连接；
34.所述第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构的另一端通过第三金属条形结构与所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构的一端连接；
35.所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构的另一端通过第四金属条形结构相互连接；所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构的另一端通过第五金属条形结构相互连接。
36.本实施例中，所述用于提高sram读电流的结构至少包括以下结构：
37.横向对称分布(图1中位于左右对称分布，本实施例中的横向指的是左右方向)的两个相同的第一读取上拉管rpd(图1中位于左侧的rpd)、第二读取上拉管rpd(图1中位于左侧的rpd)；本发明所述的两个相同的第一、第二读取上拉管指的是二者结构相同。
38.横向对称分布的两个相同的第一读取通过门rpg(图1中位于左侧的rpg)、第二读取通过门rpg(图1中位于右侧的rpg)；所述第一、第二读取通过门位于所述第一、第二读取上拉管的纵向一侧；也就是说，本发明中的所述纵向在本实施例中指的是上下方向，亦即所述第一、第二读取上拉管位于所述第一、第二读取通过门的上方。
39.所述第一读取上拉管rpd包括第一至第三fin结构(fin1～fin3)、第二读取上拉管rpd包括第一至第三fin结构(fin1～fin3)；
40.所述第一读取上拉管rpd还包括第一栅极gt1；所述第一栅极gt1置于所述第一读取上拉管rpd的所述第一至第三fin结构(fin1～fin3)上；
41.所述第二读取上拉管rpd还包括第二栅极gt2；所述第二栅极gt2置于所述第二读取上拉管rpd的所述第一至第三fin结构(fin1～fin3)上；
42.所述第一、第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构的一端通过第一金属条形结构m1连接；本发明进一步地，本实施例的所述第一金属条形结构m1连接电压vss。
43.第一读取通过门rpg包含第一至第三fin结构(fin1～fin3)、第二读取通过门rpg包含第一至第三fin结构(fin1～fin3)；第三栅极gt3；所述第三栅极gt3置于所述第一读取通过门rpg的所述第一至第三fin结构(fin1～fin3)上；第四栅极gt4；所述第四栅极gt4置于所述第二读取通过门rpg的所述第一至第三fin结构(fin1～fin3)上；所述第三栅极gt3和所述第四栅极gt4通过第一栅极金属gm1连接；
44.所述第一读取上拉管rpd的所述第一至第三fin结构(fin1～fin3)的另一端通过第二金属条形结构m2与所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构的一端连接；
45.所述第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构的另一端通过第三金属条形结构m3与所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构的一端连接；
46.所述第一读取通过门的所述第一至第三fin结构的另一端通过第四金属条形结构m4相互连接；所述第二读取通过门的所述第一至第三fin结构的另一端通过第五金属条形结构m5相互连接。
47.本发明进一步地，本实施例的所述第一、第二读取上拉管为nlvt管(n
‑
type low vt，n型低阈值电压)。当本发明的所述第一、第二上拉读取管取代现有技术中的nsvt管(n型
标准阈值电压管)成为nlvt管(n
‑
type low vt，n型低阈值电压)时，本实施例的所述第一读取上拉管的所述第一栅极的功函数层为nulvt管(n
‑
type ultra
‑
low vt，n型超低阈值电压)的功函数层；所述第二读取上拉管的所述第二栅极的功函数层为nulvt管(n
‑
type ultra
‑
low vt，n型超低阈值电压)的功函数层。并且所述第一读取上拉管的所述第一至第三fin结构中至少有一个fin结构设有阈值电压vt离子注入。所述第二读取上拉管的所述第一至第三fin结构中至少有一个fin结构设有阈值电压vt离子注入。
48.本发明进一步地，本实施例的所述第一、第二读取通过门为nlvt管(n
‑
type low vt，n型低阈值电压)。当本发明的所述第一、第二读取通过门取代现有技术中的nsvt管(n型标准阈值电压管)成为nlvt管(n
‑
type low vt，n型低阈值电压)时，本实施例的所述第三、第四栅极的功函数层为nulvt管的功函数层。并且所述第一、第二读取通过门的所述第一至第三fin结构中至少有一个fin结构设有阈值电压离子注入。
49.当本发明的所述第一、第二上拉读取管取代现有技术中的nsvt管(n型标准阈值电压管)成为nulvt管(n
‑
type ultra
‑
low vt，n型超低阈值电压)时，所述第一读取上拉管的所述第一栅极的功函数层为nulvt管(n
‑
type ultra
‑
low vt，n型超低阈值电压)的功函数层；所述第二读取上拉管的所述第二栅极的功函数层为nulvt管(n
‑
type ultra
‑
low vt，n型超低阈值电压)的功函数层。
50.当本发明的所述第一、第二读取通过门取代现有技术中的nsvt管(n型标准阈值电压管)成为nulvt管(n
‑
type ultra
‑
low vt，n型超低阈值电压)时，所述第三、第四栅极的功函数层为nulvt管的功函数层。
51.综上所述，本发明的结构中。rpd和rpg中的至少一个改变为nlvt或nulvt后，读取电流可以得到明显的改善，同时对读取干扰问题没有任何副作用。这不会增加新的光罩，由于rpd和rpg之间的间距足够大，可以进行工艺修改，因此工艺余量对于2端口sram来说是足够的。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
52.上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。