专利名称：真空锁差分抽气系统的制作方法
技术领域：
本实用新型专利涉及靶室真空锁差分抽气系统，这种测量方法适用于离子注入机，特别涉及一种具有自动装卸片系统的离子注入机，属于半导体器件制造领域。
背景技术：
近年来，随着半导体集成电路技术和芯片技术的发展，半导体集成电路制造技术中，集成度越来越高，电路规模越来越大，电路中单元器件尺寸越来越小，对各种半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也对它提出了很高的要求，要求离子注入机具有整机可靠性好、生产效率高、多种电荷态离子宽能量范围注入、精确控制束注入能量精度、精确控制束纯度、低尘粒污染、整机全自动控制、注片均匀性和平行度好等多种功能和特征。注入机性能的好坏，完全取决于所制造的IC器件的质量。而作为影响IC器件质量好坏原因之一的粒子污染，会使阀电压降低，使器件的速度下降，器件成品率下降，严重者根本不能做器件。从以前样品的背散射分析得出，晶片注入后，表面几体内均增加了一些其他粒子，表面微粒的产生归于低能离子，低速中性原子对晶片的碰撞及粘附，替内的微粒产生归于高能离子和高速中性原子对晶片的掺杂。要很好的控制粒子污染先必须保证靶室系统有好的高真空环境。在每一批晶片注入之后，靶室真空锁都会快速的开关一次，所以快速建立靶室高真空显得十分必要。
发明内容
本实用新型提供了一种针对靶室真空锁系统快速稳定的建立高真空，使真空锁转动轴实现转动快速密封的真空锁差分抽气系统。
本实用新型的技术方案是这样实现的一种真空锁差分抽气系统包括一差分抽气口、一密封板、一转动轴、一碗状密封环、一差分抽气法兰、一密封圈、一真空锁腔体、一密封圈，其中密封板与真空锁腔体通过螺钉连接起来，两零件之间通过密封圈密封，差分抽气法兰放置在密封板以内，转动轴穿过真空锁腔体和差分抽气法兰实现转动密封，差分抽气法兰外圈由密封圈密封真空，内圈由密封环抱轴密封，差分抽气法兰中间环的预抽真空空间与差分抽气口相通。
其中所述的内圈密封环为碗状密封环。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是使真空锁转动轴实现转动快速的密封，从而快速稳定的建立靶室系统所必须的高真空环境，这样也就避免了晶片在充氮的过程中低能粒子对它的污染。
图1为本实用新型真空锁差分抽气系统结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，一种真空锁差分抽气系统包括一差分抽气口1、一密封板2、一转动轴3、一碗状密封环4、一差分抽气法兰5、一密封圈6、一真空锁腔体7、一密封圈8。其中密封板2与真空锁腔体7通过螺钉连接起来，两零件之间通过密封圈8密封。差分抽气法兰5放置在密封板2以内，转动轴3穿过真空锁腔体7和差分抽气法兰5实现转动密封。差分抽气法兰5外圈由密封圈6密封真空，内圈由碗状密封环4抱轴密封。差分抽气法兰5中间环的预抽真空空间9与差分抽气口1相通。
当靶室真空锁正常工作的时候，差分抽气口1处有一泵为差分抽气法兰5中间环的预抽真空空间提供良好的低真空环境。这样，在大气环境和真空锁腔体7之间就形成了一个低真空缓冲空间。这样新型的结构，很大程度上增加了抱轴密封的可靠性，提高了真空锁的稳定性，减清了真空锁频繁工作给高真空泵带来的冲击，提高了真空锁的工作效率。从而快速稳定的建立了高真空。
权利要求1.一种真空锁差分抽气系统包括一差分抽气口、一密封板、一转动轴、一碗状密封环、一差分抽气法兰、一密封圈、一真空锁腔体、一密封圈，其特征是密封板与真空锁腔体通过螺钉连接起来，密封板和真空锁腔体之间通过密封圈密封，差分抽气法兰放置在密封板以内，转动轴穿过真空锁腔体和差分抽气法兰实现转动密封，差分抽气法兰外圈由密封圈密封真空，内圈由密封环抱轴密封，差分抽气法兰中间环的预抽真空空间与差分抽气口相通。
专利摘要本实用新型公开了一种真空锁差分抽气系统，它包括差分抽气口、密封板、转动轴、碗状密封环、差分抽气法兰、密封圈、真空锁腔体和密封圈，其中密封板与真空锁腔体通过螺钉连接起来，密封板和真空锁腔体之间通过密封圈密封。差分抽气法兰放置在密封板以内，转动轴穿过真空锁腔体和差分抽气法兰实现转动密封，差分抽气法兰外圈由密封圈密封真空，内圈由密封环抱轴密封。差分抽气法兰中间环的预抽真空空间与差分抽气口相通。使真空锁转动轴实现转动快速的密封，从而快速稳定地建立靶室系统所必须的高真空环境，这样也就避免了晶片在充氮的过程中低能粒子对它的污染。
文档编号H01L21/265GK2866522SQ20052014251
公开日2007年2月7日 申请日期2005年12月5日 优先权日2005年12月5日
发明者唐景庭, 伍三忠, 郭健辉, 彭立波, 王迪平, 孙勇, 许波涛, 易文杰, 姚志丹, 孙雪平, 谢均宇 申请人:北京中科信电子装备有限公司