专利名称：晶片盒翻转装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶片盒翻转装置，尤其涉及一种应用于离子注入机的晶片盒翻转装置，属于半导体器件制造领域。
背景技术：
近年来，随着半导体集成电路技术和芯片技术的发展，半导体集成电路制造技术中，集成度越来越高，电路规模越来越大，电路中单元器件尺寸越来越小，对各种半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也对它提出了很高的要求，要求离子注入机具有整机可靠性好、生产效率高、多种电荷态离子宽能量范围注入、精确控制束注入能量精度、精确控制束纯度、低尘粒污染、整机全自动控制、注片均匀性和平行度好等多种功能和特征。
目前的8英寸晶片的离子注入机靶室片库空间小、SMIF(标准机械接口)装置的机械手无法进入片库进行操作。
发明内容
为了解决上述存在的问题，本实用新型提供了一种能够使晶片在进入靶室的过程中处于全自动化操作状态，从而可以避免尘粒污染，并且使每次装卸晶片盒时，晶片盒都能处于片库之外，从而有足够的空间便于SMIF的机械手对晶片盒进行操作的晶片盒翻转装置。
本实用新型的技术方案和是这样实现的一种晶片盒翻转装置包括晶片盒托架、基座、转动轴、连杆、升降导杆和弯钩，其中基座固定在升降导杆上，晶片盒托架与转动轴连接并围绕基座能够做翻转运动，弯钩通过螺钉固定在连杆上面，两者能够围绕转动轴作旋转运动。
本实用新型具有如下显著优点1、由于该晶片盒翻转装置在每次装卸晶片盒时晶片盒都能处于片库之外，所以对于离子注入机靶室片库空间小、SMIF装置的机械手能够在片库之外进行操作。
2、原理简单，运动平稳，可靠性高。
图1为本实用新型的晶片盒翻转装置结构图，图2为本实用新型的晶片盒翻转装置使用状态结构图。
具体实施例
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，一种晶片盒翻转装置包括晶片盒托架1、基座2、一转动轴3、一转动轴4、连杆5、升降导杆6、弯钩7。其中基座2固定在升降导杆6上，而晶片盒托架1通过转动轴3围绕基座2能够做翻转运动。弯钩7通过螺钉固定在连杆5上面，两者能够围绕转动轴4作旋转运动。如图2所示，工作时，首先通过伺服电机机构带动转动轴4，从而带动连杆5和弯钩7向上翻转，弯钩7接触晶片盒托架1，使晶片盒托架1一起向上翻转。直到晶片盒托架1翻转90°，使之伸出片库8之外。这个时候SMIF就可以把晶片盒放在晶片盒托架1上面了。然后伺服电机反转，使晶片盒托架1连同上面的晶片盒反转90°回到片库8之内。
权利要求1.一种晶片盒翻转装置，其特征在于包括晶片盒托架、基座、转动轴、连杆、升降导杆和弯钩，其中基座固定在升降导杆上，晶片盒托架与转动轴连接并围绕基座能够做翻转运动，弯钩通过螺钉固定在连杆上面，两者能够围绕转动轴作旋转运动。
专利摘要本实用新型公开了一种晶片盒翻转装置包括晶片盒托架、基座、转动轴、连杆、升降导杆和弯钩，其中基座固定在升降导杆上，晶片盒托架与转动轴连接并围绕基座能够做翻转运动，弯钩通过螺钉固定在连杆上面，两者能够围绕转动轴作旋转运动；由于该晶片盒翻转装置在每次装卸晶片盒时晶片盒都能处于片库之外，能够实现SMIF装置的机械手能够在片库之外进行操作，该结构简单，运动平稳，可靠性高。
文档编号H01L21/67GK2867588SQ200520142508
公开日2007年2月7日 申请日期2005年12月5日 优先权日2005年12月5日
发明者唐景庭, 伍三忠, 郭健辉, 彭立波, 王迪平, 孙勇, 许波涛, 易文杰, 姚志丹, 孙雪平, 谢均宇 申请人:北京中科信电子装备有限公司